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Einsatz mikromechanischer Verfahren zur Realisierung eines intensitätsmodulierenden optischen Mikrofons auf Siliziumbasis

Einsatz mikromechanischer Verfahren zur Realisierung eines intensitätsmodulierenden optischen Mikrofons auf Siliziumbasis
利用微机械工艺实现基于硅的强度调制光学麦克风
批准号：
5248408
负责人：
Professor Dr. Gerhard M. Sessler
金额：
$0.0万
依托单位：
Institut für Nachrichtentechnik
依托单位国家：
德国
项目类别：
Research Grants
财政年份：
1996
资助国家：
德国
项目状态：
已结题
起止时间：
1995-12-31 至 2001-12-31
来源：
https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5248408?language=en
关键词：
EinsatzmikromechanischerVerfahrenzurRealisierung

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  • 批准号：
    65963412
  • 项目类别：
    Research Grants
  • 资助金额：
    $0.0万
  • 财政年份：
    2008
  • 负责人：
    Professor Dr. Gerhard M. Sessler
  • 依托单位：
    Institut für Nachrichtentechnik
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  • 批准号：
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  • 项目类别：
    Research Grants
  • 资助金额：
    $0.0万
  • 财政年份：
    2005
  • 负责人：
    Professor Dr. Gerhard M. Sessler
  • 依托单位：
    Abteilung Physik weicher Materie (SoMaP)
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  • 批准号：
    5385896
  • 项目类别：
    Research Grants
  • 资助金额：
    $0.0万
  • 财政年份：
    2002
  • 负责人：
    Professor Dr. Gerhard M. Sessler
  • 依托单位：
    Institut für Nachrichtentechnik
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