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Einsatz mikromechanischer Verfahren zur Realisierung eines intensitätsmodulierenden optischen Mikrofons auf Siliziumbasis
利用微机械工艺实现基于硅的强度调制光学麦克风
基本信息
- 批准号：5248408
- 负责人：
- 金额：--
- 依托单位：
- 依托单位国家：德国
- 项目类别：Research Grants
- 财政年份：1996
- 资助国家：德国
- 起止时间：1995-12-31 至 2001-12-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
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项目成果
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Professor Dr. Gerhard M. Sessler其他文献
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-- - 项目类别：
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5283148 - 财政年份：2001
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Research Grants
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5155496 - 财政年份：1998
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Metall-Kapillardruck-Feingießen mikromechanischer Bauteile
微机械部件的金属毛细管压力熔模铸造
- 批准号：
5155502 - 财政年份：1998
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单晶镍基合金微机械材料模型均匀化的数学研究（A 8）
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5347753 - 财政年份：1997
- 资助金额：
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Collaborative Research Centres
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- 批准号：
5277244 - 财政年份：1996
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-- - 项目类别：
Priority Programmes