Fügen mikromechanischer Bauteile durch Glimmentladungsplasmen

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Die Problemstellung des Fertigens mikromechanischer Getriebe sowie des Montierens bzw. Installierens mikromechanischer Bauteile durch stoffschlüssiges Fügen ist im wesentlichen durch eine genaue Positionierung der Komponenten, eine geeignete Oberflächenkonditionierung das partielle Erwärmen der Bauteile sowie das engtoleriert konturgetreue Gestalten der Fügestelle geprägt. Die Zielsetzung, komplexe, mikromechanisch bewegliche Systeme zu fertigen, läßt sich mit plasmaunterstützten Verfahren der Oberflächentechnik effizient realisieren. Aus der Reihe der plasmaunterstützten Verfahren soll im Rahmend dieses Vorhabens das Glimmentladungsplasma als engfokussierbare Wärmequelle eingesetzt werden, um eine thermische Beeinträchtigung der Umgebung ausschließen zu können. Im Mittelpunkt des Interesses sollen im Rahmen dieses Forschungsvorhabens allerdings zunächst nur die Prozeßschritte "Reinigen" und flußmittelfreies "Hartlöten" stehen.