Fügen mikromechanischer Bauteile durch Glimmentladungsplasmen

使用辉光放电等离子体连接微机械部件

• 批准号: 5283148
• 负责人: Professor Dr.-Ing. Friedrich-Wilhelm Bach (†)
• 金额: --
• 依托单位: Institut für Werkstoffkunde (IW)
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 2001
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2000-12-31 至 2002-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5283148?language=en
• 关键词: gen; mikromechanischer; Bauteile; durch; Glimmentladungsplasmen

Die Problemstellung des Fertigens mikromechanischer Getriebe sowie des Montierens bzw. Installierens mikromechanischer Bauteile durch stoffschlüssiges Fügen ist im wesentlichen durch eine genaue Positionierung der Komponenten, eine geeignete Oberflächenkonditionierung das partielle Erwärmen der Bauteile sowie das engtoleriert konturgetreue Gestalten der Fügestelle geprägt. Die Zielsetzung, komplexe, mikromechanisch bewegliche Systeme zu fertigen, läßt sich mit plasmaunterstützten Verfahren der Oberflächentechnik effizient realisieren. Aus der Reihe der plasmaunterstützten Verfahren soll im Rahmend dieses Vorhabens das Glimmentladungsplasma als engfokussierbare Wärmequelle eingesetzt werden, um eine thermische Beeinträchtigung der Umgebung ausschließen zu können. Im Mittelpunkt des Interesses sollen im Rahmen dieses Forschungsvorhabens allerdings zunächst nur die Prozeßschritte "Reinigen" und flußmittelfreies "Hartlöten" stehen.

水稻微机械施肥问题的探讨安装微机械部件时，通过部件的一般位置，部件的局部位置和部件的一般位置，使部件的公差达到部件的整体尺寸。Zielsetzung，komplex，mikromechanisch bewegliche Systeme zu fertigen，läßt sich mit plasmaunterstützten Verfahren der Oberflächentechnik effizient realisieren.由于Reihe der plasmaunterstützten Verfahren soll im Rahmend dieses Vorhabens das Glimmentladungsplasma als engfokussierbare Wärmequelle eingeszt韦尔登，um eine thermische Beeinträchtigung der Umgebung ausschließen zu können. In Mittelpunkt des Intereses sollen im Rahmen dieses Forschungsvorhabens allerdings zunächst努尔die Prozeßschritte“Reinigen”and flußmittelfreies“Hartlöten”stehen.