Supwe-flat (411) A hetero.

Supwe-平 (411) 异性恋。

基本信息

  • 批准号:
    06402040
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 18.18万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    日本
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for General Scientific Research (A)
  • 财政年份:
    1994
  • 资助国家:
    日本
  • 起止时间:
    1994 至 1995
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

We have investigated properties of (411) A super-flat interfaces [atomically flat interfaces over a macroscopic area (1 cm x 1 cm)] not only in GaAs/AlGaAsheterostructures on GaAs substrates but also in other III-V systems such as pseudomorphic InGaAs/AlGaAs heterostructures on GaAs substrates and InGaAs/InAlAs heterostructurs lattice-matched to InP substrates grown by molecular beam epitaxy (MBE).We achieved the (411) A super-flat interfaces in GaAs/Al_xGa_<1-x>As quantum wells (QWs) with high Al content (x=0.3-1) by optimizing MBE growth conditions. Furthermore, GaAs/AlGaAs double barrier resonant tunneling (DBRT) structures were grown on (411) A GaAs substrate as an application of (411) A super-flat interfaces to quantum effect devices, and we obtained excellent device performance of much improved peak-to-valley current ratio compared with a conventional (100) GaAs/AlGaAs DBRT structure. Next, we realized the (411) A super-flat interfaces in pseudomorphic In_xGa_<1-x>As/Al_<0.3>Ga_<0.7>As QWs with In content of x=0-0.08 grown on (411) GaAs substrates. In the study of (411) A InGaAs/InAlAs QW structures lattice-matched to InP substrates, we obtained high crystal quality of In_<O.53>Ga_<0.47>As films grown on (411) A InP substrates, but we could not observeexcellent optical properties of (411) A In_<0.53>Ga_<0.47>As/In_<0.52>Al_<0.48>As QWs with the super-flat interfaces because of rather low crystal quality of In_<0.52>Al_<0.48>As barriers. By further optimizing MBE growth conditions for (411) A InGaAs/In AlAs QWs, we expect to obtain the (411) A super-flat interfaces in the InGaAs/InAlAs system lattice-matched InP substrates.In summary, we studied properties of the (411) A super-flat interfaces in III-V semiconductor heterostructures and showed their high potential for applications to quantum effect devices.
我们研究了(411)A超平坦界面[宏观区域(1 cm×1 cm)原子平坦界面]的性质,不仅在GaAs衬底上的GaAs/AlGaAs异质结中,而且在其他III-V系统中也进行了研究,例如在GaAs衬底上的赝形InGaAs/AlAs异质结以及与InP衬底晶格匹配的InGaAs/InAlAs异质结。通过优化分子束外延生长条件,我们在GaAs/Al_xGa_(?)此外,作为(411)A超平界面在量子效应器件中的应用,在(411)A衬底上生长了GaAs/AlGaAs双势垒共振隧穿(DBRT)结构,并获得了与传统的(100)GaAs/AlGaAsDBRT结构相比有较大改善的峰谷电流比的优异器件性能。接下来,我们在(411)In_xGa_&lt;1-x&gt;As/Al_&lt;0.3&gt;Ga_&lt;0.7&gt;As衬底上实现了In含量x=0-0.08的赝形GaAsQW中的(411)A超平界面。在与InP衬底晶格匹配的(411)A InGaAs/InAlAs量子阱结构的研究中,我们获得了高质量的In_&lt;0.53&Gt;Ga_&lt;0.47&gt;As薄膜,但没有观察到(411)A In_&lt;0.53&gt;Ga_&lt;0.47&gt;As/In_&lt;0.52&gt;Al_&lt;0.48&gt;良好的光学性能由于In_(0.52)Al_(0.48)作为势垒晶体质量较低,形成了具有超平坦界面的量子阱。通过进一步优化分子束外延生长(411)A InGaAs/In AlAs量子阱的条件,我们有望在InGaAs/InAlAs系统晶格匹配的InP衬底上获得(411)A超平界面。综上所述,我们研究了III-V半导体异质结中(411)A超平界面的性质,展示了它们在量子效应器件中的应用潜力。

项目成果

期刊论文数量(20)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
D.Marx: "Low temperature etching of GaAs substrates and improved morphology of GaAs grown by metalorganic molecular beam epitaxy" J.Cryst.Growth. 150. 551-556 (1995)
D.Marx:“GaAs 衬底的低温蚀刻和通过金属有机分子束外延生长的 GaAs 的改进形态”J.Cryst.Growth。
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    0
  • 作者:
  • 通讯作者:
D.Marx: "Metalorganic molecular beam epitaxy of GaSb on patterned GaSb substrates using triethylgallium and Sb_4" J.Cryst.Growth. 150. 874-878 (1995)
D.Marx:“使用三乙基镓和 Sb_4 在图案化 GaSb 基板上进行 GaSb 金属有机分子束外延”J.Cryst.Growth。
  • DOI:
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  • 影响因子:
    0
  • 作者:
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D.Marx: "Low temperature etching of GaAs substrates and improved morphology of GaAs grown by metalorganic molecular beam epitaxy using trisdimethy laminoarsenic and triethylgallium" J.Cryst.Growth. 150. 551-556 (1995)
D.Marx:“GaAs 衬底的低温蚀刻和使用三二甲基氨基砷和三乙基镓通过金属有机分子束外延生长的 GaAs 的形态改善”J.Cryst.Growth。
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    0
  • 作者:
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K.Shinohara: "Electrical properties of Si-doped GaAs layers grown on (411)A GaAs substrates by molecular beam epitaxy" Semicond.Sci.& Technol.11. 125 (1996)
K.Shinohara:“通过分子束外延在 (411)A GaAs 衬底上生长的 Si 掺杂 GaAs 层的电特性”Semicond.Sci。
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Y.Tsuda: "Characterzation on GaAs/AlAs interfacial atomic step structures on a (411)A oriented substrate by TEM" J.Crystal Growth. 150(to be published). (1995)
Y.Tsuda:“通过 TEM 对 (411)A 取向基底上的 GaAs/AlAs 界面原子阶梯结构进行表征”J.Crystal Growth。
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