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超微粒子の光駆動原理を用いた新微細加工法に関する研究

利用超微粒光驱原理的微细加工新方法研究

基本信息

批准号：
06750111
负责人：
池野順一
金额：
$ 0.77万
依托单位：
Toyohashi University of Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
财政年份：
1994
资助国家：
日本
起止时间：
1994 至无数据
项目状态：
已结题

项目摘要

砥粒加工では、砥粒の運動は機械的な作用によって与えられる.この場合,研磨板や研削砥石といった工具が必要となる.しかし,これらの工具を微小化するのには限界があり,複雑な形状のナノレベル加工に対してはこれらの工具は実用不可能である.そこで,砥粒の運動を他の作用に委ねることが必要となる.本研究では、まず光の放射圧によって、非接触で砥粒の運動方向を制御することを試みる。次にこの砥粒制御法を用いて高精度微細加工法の実現を目指す.光の放射圧で砥粒を捕らえ、これら砥粒で加工を行うには高出力YAGレーザ発振器とレーザによる損傷を避けて集光できる光学顕微鏡が必要である。そこで、まず高出力YAGレーザ発振器と光学顕微鏡を購入し、顕微鏡内部ミラーの改良、ビーム走査装置の作成等を行い実験装置の構築を行った。YAGレーザ装置は連続発振器TEM_<00>18Wのものを選定した。一方、本レーザに対し従来のIR対応型顕微鏡は対応不能であった。そこで、内部ミラーに特殊コーティングを施し、対物レンズにYAGレーザ光線を透過しやすい材質を用いるなどして対処し使用可能な顕微鏡を構築した。また、顕微鏡外部の光学系では2次元の自由な走査パターンを創成するため、X軸,Y軸両方向に同時走査可能なビーム走査装置を作成した。これには2個のガルバノミラーをあて、ミラーには特殊コーティングを施した。さらに、これらをD/A変換ボードでパソコンに接続して制御システムを構築した。上述した装置の作成、特に光学系の設計、作成に多く時間を費やした。そのため基礎実験に不十分な時間が割けなかったが、砥粒がレーザ光線により走査可能であることが判明した。予定していた微細加工に関する実験まで行えなかったが、実験装置がほぼ完成しているため、今後は順調に研究計画を遂行できるものと考えている。

The role of machine tools and machines in processing machines and machines. Grinding board, grinding board The tools are miniaturized, and the shapes are copied, the shapes are processed, the tools are not possible. If you don't want to do anything, you will have to do something about the role of others. In this study, radiation radiation was used to determine the direction of movement of non-contact particles. In the second step, the high-precision micro-machining method is used to detect the target. Optical radiation, optical microprocessing, high output YAG, vibrator, light collector, optical micrometer, necessary light collector, optical microprocessor, optical microprocessor. The optical micro-vibrator, the micro-vibrator, the internal micro-vibrator, the micro-YAG vibrator, the micro-vibrator, the high-output vibrator, the optical vibrator, the micro-vibrator YAG equipment connection vibrator TEM_<00>18W device selection. On the other hand, the local information system is required to make sure that the IR information is not available. The system, the internal system, the equipment, the YAG, the light, the light. The two-dimensional free travel device of the Department of Optics and Microelectronics may be used in the same time in the Y-axis direction. Ask for the help of the two special tax companies and the special tax service companies. Please tell me that you need to make sure that you are in control of the system. The above-mentioned equipment is built, designed by the Department of Special Optics, and designed for multi-time training. In recent years, it is necessary to cut the equipment in a short period of time, and it is possible to determine whether it is possible to do so in a short period of time. It is determined that the micro-machining system will be completed, and the equipment will be completed. In the future, the research plan will be completed.