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Widely tunable, highly selective optical filter and receiver elements for WDM systems.

适用于 WDM 系统的广泛可调、高选择性光学滤波器和接收器元件。

基本信息

批准号：
5268062
负责人：
Professor Dr. Hartmut Hillmer
金额：
--
依托单位：
Institut für Nanostrukturtechnologie und Analytik (INA)
依托单位国家：
德国
项目类别：
Research Grants
财政年份：
2001
资助国家：
德国
起止时间：
2000-12-31 至 2007-12-31
项目状态：
已结题

来源：
https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5268062?language=en
关键词：
Widely tunable highly selective optical

项目摘要

Im Rahmen des Forschungsvorhabens sollen InP-basierende, mikromechanisch durchstimmbare Filter- und Detektor-Bauelemente modelliert, entwickelt, technologisch hergestellt und messtechnisch charakterisiert werden. Derartige Elemente stellen Schlüsselkomponenten zukünftiger glasfaserbasierender optischer Daten- und Telekommunikationssysteme höchster Übertragungskapazität dar. Diese Systeme basieren auf dem Frequenzmultiplexverfahren (WDM) im zweiten und dritten Telekommunikationsfenster (1.3 µm und 1.55 µm). Um stabil und mit geringem Gegensprechen der Kanäle (cross-talk) innerhalb des ITU Frequenzrasters operieren zu können ist eine Frequenzabstimmbarkeit der Systemkomponenten von entscheidendem Vorteil. Die Durchstimmbarkeit der optischen Bauelemente erfolgt mikromechanisch. Eine vertikale Luftspaltkavität wird kapazitiv aktuiert. Die Herstellung der mikromechanischen Strukturen basiert auf dem selektiven Ätzen von Opferschichten (`Surface micromaching`) und ist kompatibel mit den Herstellungsverfahren der modernen Mikroelektronik und damit der Massenfertigung. Aus der Kombination zwischen optoelektronischen und mikromechanischen Prozessen erwachsen vielfältige neue Möglichkeiten. Daher wird im Rahmen des vorliegenden Forschungsvorhabens eine deutliche Verbesserung der Leistungsfähigkeit und Funktionalität von Filter- und DetektorBauelementen erwartet: * Weite, kontinuierliche Durchstimmung (größer als 40nm) * Optische Halbwertsbreite (`Selektivität`) kleiner als 1nm * Spektrale Positioniergenauigkeit kleiner a

本文主要研究了过滤-探测-包元模型的微观力学特性、整体动力学特性、技术特性和工艺特性。Derartige element stelen schl<s:1> sselkomponenten zuk<s:1> nftiger glasfaserbaserender optischer Daten- und Telekommunikationssysteme höchster Übertragungskapazität dar。Diese系统基于WDM （frequenzmultiplexverren）的通信速率（1.3µm和1.55µm）。Um stabil und mit geringem Gegensprechen der Kanäle（串音）innerhalb des ITU Frequenzrasters operieren können ist eine frequenzabstimbarkeit der systemcomponenten von entscheidendm Vorteil。微观力学的光学特性分析。Eine vertikale Luftspaltkavität wind kapazitiv aktuiert。Die Herstellung der micromechanichen Strukturen basiert audem selektiven Ätzen von Opferschichten（‘表面微加工’）和ist comppatibel mitden Herstellungsverfahren der现代微电子和损伤dermassenfertigung。光电子与微力学结合研究[j] . vielfältige neue Möglichkeiten。*过滤，过滤，过滤，过滤，过滤，过滤，过滤，过滤，过滤，过滤，过滤，过滤，过滤，过滤，过滤，过滤，过滤，过滤，过滤，过滤，过滤，过滤，过滤，过滤，过滤，过滤，过滤