Nanooptische Strukturen auf weit durchstimmbaren MEMS Fabry-Perot Filtern

可广泛调谐 MEMS 法布里-珀罗滤波器上的纳米光学结构

• 批准号: 74913311
• 负责人: Professor Dr. Hartmut Hillmer
• 金额: --
• 依托单位: Institut für Nanostrukturtechnologie und Analytik (INA)
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Priority Programmes
• 财政年份: 2008
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2007-12-31 至 2011-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/74913311?language=en
• 关键词: Nanooptische; Strukturen; auf; weit; durchstimmbaren

Mikromechanisch durchstimmbare, auf InP basierende Fabry-Perot Filter sind im Wellenlängenbereich ab 1μm einsetzbar und können somit im Bereich der Nahinfrarotsensorik, insbesondere für spektroskopische Anwendungen, die Leistungsfähigkeit optischer Detektionsysteme erweitern. Werden die Filterflächen mit nanooptischen Strukturen, wie Photonischen Kristallen oder Subwellenlängen Gittern versehen, können die optischen Eigenschaften der Filter maßgeschneidert werden. Die Kontrolle von Polarisationseigenschaften, durch Ausnutzung der photonischen Bandstrukturen und Symmetriebetrachtungen, ist hierbei der interessanteste Parameter, mit denen die Bauelemente für neue Anwendungen (z.B. polarisationsselektive Spektroskopie) angepasst werden können. Die Kavitätswellenlänge der Filter wird elektrostatisch durchgestimmt. Da die Eigenschaften nanooptischer Strukturen, wie etwa die strukturbedingte Doppelbrechung, von der Wellenlänge abhängen, ist es möglich diese ebenfalls im gewünschten Maße innerhalb des Durchstimmbereichs zu verändern. Durch Modellrechnungen werden die Eigenschaften der Strukturen einzeln und als Bestandteil der Filter bestimmt. Die Nanostrukturen liegen im Bereich von 100 nm und werden mit einer Focused Ion Beam Anlage (FIB) direkt oder mit Hilfe von Elektronenstrahllithographie und anschließendem Trockenätzschritt hergestellt. Für eine spätere, kostengünstige Herstellung können parallel arbeitende Verfahren wie die Nanoimprint-Lithographie verwendet werden.

基于InP的法布里-珀罗滤波器的微机械结构在1μm波长的光纤传感器中具有良好的应用前景，可用于光谱分析，光学检测系统。韦尔登过滤器与纳米光学结构，如光子晶体或亚微米级Gittern versehen，können过滤器的光学本征值maßgeschneidert韦尔登。利用光子带结构和对称性对偏振态进行控制，是一种感兴趣的参数，它与新的偏振态（z.B.偏振选择性Spektroskopie）angepasst韦尔登können.过滤器的Kavitätswellenlänge将通过电测量。Da die Eigenschaften nanooptischer Strukturen，wie etwa die strukturbedingte Doppelbrechung，von der Wellenlänge abhängen，ist es möglich diese ebenfalls im gewünschten Maße innerhalb des Durchstimberemichs zu verändern。该模型的特点是结构简单，滤波器性能好。该纳米结构位于100 nm波长范围内，并通过聚焦离子束（FIB）直接或通过电子束成像和辅助测量方法获得韦尔登。对于一个spätere，kostengünstige Herstellung können parallel arbeitende Verfahren wie die Nanoimprint-Lithographie verwendet韦尔登.