Study of AFM/nano-indenter system

AFM/纳米压头系统的研究

• 批准号: 07555050
• 负责人: KATO Takahisa
• 金额: $ 8.45万
• 依托单位: The University of Tokyo
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
• 财政年份: 1995
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1995 至 1997
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-07555050/
• 关键词: nano-indentation; Hard coating; Atomic force microscope; AFM; ナノインデンター; 表面評価

We developed a system in which Atomic force microscope and nano-indentationtester are connected effectively so that the hardness measurement is carried out quickly and systematically. Then the nanoindentation hardness of TiN coating substrate has been measured at room temperature using the indentation type tester for the surface property. The hardness of the coating was measured by atomic force microscope. From this experiment the following conclusions are drawn :1) As the load increased, the depth is also increased. For 5gf load, the depth is about 1 mum.2) The dynamic hardness tends to increase with the decrease of indentation load.3) When the indentation load is very high (in case of 100gf), cracks are observed into the indentation.

研制了一种原子力显微镜与纳米压痕仪有效结合的硬度测量系统，实现了硬度的快速、系统测量。然后，利用表面压痕型测试仪，在室温下测量了TiN涂层基板的纳米压痕硬度。采用原子力显微镜测定涂层的硬度。本试验得出以下结论：1)随着荷载的增加，深度也随之增加。5gf荷载下，深度约为1 μ m。2)动态硬度随压痕载荷的减小而增大。3)当压痕荷载很高（100gf）时，压痕内部出现裂纹。

项目成果

福田 勝己, 加藤 孝久: "TiN膜/鋼基材の超微小硬さに及ぼす膜厚さ影響" 日本機械学会創立100周年・九州支部創立50周年記念講演会講演論文集. 356-358 (1997)

Katsumi Fukuda、Takahisa Kato：“膜厚度对TiN膜/钢基体超显微硬度的影响”日本机械工程师学会成立100周年和九州分会50周年纪念讲座论文集356-358（1997年）。

K.Fukuda and T.Kato: "Nanoindentation Hardness of TiN Coating" Prepr.JSME.IMPT-100. 655-661 (1997)

K.Fukuda 和 T.Kato：“TiN 涂层的纳米压痕硬度”Prepr.JSME.IMPT-100。

福田勝己, 加藤孝久: "TiN膜の超微小硬さ" 日本機械学会機素潤滑設計部門100周年記念講演会講演論文集. 656-661 (1997)

Katsumi Fukuda、Takahisa Kato：“TiN 薄膜的超显微硬度”100 周年纪念讲座论文集，日本机械工程师学会元素润滑设计部门，656-661 (1997)。

福田勝己, 加藤孝久: "TiN膜/鋼基材の超微小硬さに及ぼす膜厚さの影響" 日本機械学会創立100周年・九州支部創立50周年記念講演会講演論文集. 356-358 (1997)

福田克己、加藤贵久：《膜厚对TiN膜/钢基体超显微硬度的影响》日本机械工程学会成立100周年暨九州分会成立50周年论文集356。 -358（1997）