Diagnostik von kompakten Funktions- und Konstruktionswerkstoffen mittels multifunktionaler Mikrobeugung

在拉赫曼的愤怒解决了这个更难解决的问题，“verdrehten Netzebenen”一个是geklärt韦尔登。Hierzu韦尔登首先采用伪KOSSEL技术（Pseudo-KOSSEL-Technik）和高精度定向测量（EBSP），测量特征值和验证值（在REM中测量特征值和完成方法）。这一研究是一种有效的项目分析方法。对妇女格拉德的错误定位影响了移民和扩散的进程。EBSP-Technik技术的核心部分并不需要梅尔。伪KOSSEL-技术集成电路系统中的一个重要应用是对微电子器件的测量信号进行快速量化的大规模测量。获得了GaAs衬底和外延层的实型结构。一个重要的研究问题是如何利用传统的衍射仪对高本征梯度进行分析，并对FeSi_3-Trafoblechen在Schnittkanten bzw中的应用进行本征梯度分析和/或新的本征梯度分析。Gradientenwerkstoffen。

Im Rahmen dieses Antrages soll das bisher ungelöste Problem der "verdrehten Netzebenen" an Be geklärt werden. Hierzu werden erstmalig tiefenaufgelöste Defektuntersuchungen (Pseudo-KOSSEL-Technik) mit hochortsaufgelöster Orientierungsbestimmung (EBSP) bei gleichzeitiger Messung der Eigenspannung und der Versetzungsdichte (wechselseitiger Einsatz beider komplementärer Methoden in einem REM) kombiniert. Diese Verzahnung ist ein wesentliches methodisches Ziel des Projektes und ist analytisch überfällig. Mißorientierungen von wenigen zehntel Grad beeinflussen entscheidend die Migrations- und Diffusionsprozesse. Die Nutzung der EBSP-Technik allein reicht deshalb hierbei aus Genauigkeitsgründen nicht mehr aus. Mit Hilfe der im beantragten System integrierbaren Pseudo-KOSSEL-Technik läßt sich der großflächige Nachweis richtungsabhängiger Änderungen der Defektstruktur bei gleichzeitiger Quantifizierung des Meßsignals an Wafern der Mikroelektronik (z.B. getrennte Bestimmung der Realstruktur von Substrat und Epitaxieschicht an GaAs) realisieren. Ein weiteres Untersuchungsproblem, wo konventionelle Diffraktometerverfahren infolge des hohen Eigenspannungsgradienten bisher versagten, ist die Analyse der Eigenspannungsverteilung und/oder die Ermittlung des spannungsfreien Zustandes (neu) von beidseitig beschichteten FeSi3-Trafoblechen im Querschliff in der Umgebung von Schnittkanten bzw. Gradientenwerkstoffen.