Untersuchung der CVD-Reaktionen bei der Bildung von a-Al2O3 als Diffusionsbarriere auf Superlegierungen

点击翻译按钮获取中文摘要

a-Al2O3 ist auf Grund seiner chemischen Stabilität und seiner geringen Anzahl an Fehlstellen im Kristallgitter besonders für die Verwendung als Diffusionsbarriere für Turbinenschaufeln geeignet. Allerdings ist eine direkte Abscheidung von a-Al2O3 auf Ni-, Co- oder Cr-haltigen Substraten nicht möglich; durch die Zusammenarbeit von Natur- und Ingenieurwissenschaften soll ein Konzept zur Vermeidung dieser Whiskerbildung entwickelt und erprobt werden. Dazu sollen die im CVD-Prozeß maßgeblichen Spezies bestimmt und die ablaufenden Reaktionsmechanismen entschlüsselt werden. Die Kenntnis der Reaktionskinetik in Verbindung mit der Strömungsmechanik soll anschließend zur Simulation des Abscheideprozesses und damit zur Übertragung der Ergebnisse auf technische Reaktoren und Substrate komplexer Geometrie genutzt werden.