Untersuchung der CVD-Reaktionen bei der Bildung von a-Al2O3 als Diffusionsbarriere auf Superlegierungen

研究 CVD 反应形成 a-Al2O3 作为高温合金扩散势垒的过程

基本信息

项目摘要

a-Al2O3 ist auf Grund seiner chemischen Stabilität und seiner geringen Anzahl an Fehlstellen im Kristallgitter besonders für die Verwendung als Diffusionsbarriere für Turbinenschaufeln geeignet. Allerdings ist eine direkte Abscheidung von a-Al2O3 auf Ni-, Co- oder Cr-haltigen Substraten nicht möglich; durch die Zusammenarbeit von Natur- und Ingenieurwissenschaften soll ein Konzept zur Vermeidung dieser Whiskerbildung entwickelt und erprobt werden. Dazu sollen die im CVD-Prozeß maßgeblichen Spezies bestimmt und die ablaufenden Reaktionsmechanismen entschlüsselt werden. Die Kenntnis der Reaktionskinetik in Verbindung mit der Strömungsmechanik soll anschließend zur Simulation des Abscheideprozesses und damit zur Übertragung der Ergebnisse auf technische Reaktoren und Substrate komplexer Geometrie genutzt werden.
a-Al2O3 ist auf Grund seiner chemischen Stabilität und seiner geringen Anzahl an Fehlstellen im Kristallgitter besonders für die Verwendung als Diffusionsbarriere für Turbinenschaufeln geeignet.所有这些都是直接从α-Al 2 O 3和Ni-、Co-或Cr-卤素基片上获得的;通过自然和工程科学的共同努力,只有一种方法可以使晶须生长和韦尔登失效。因此,必须对CVD-Prozeolite中的Spezies进行评估,并对反应机制进行韦尔登。在与Strömungsmechanik结合的过程中,反应动力学的知识可以用来模拟工艺过程,并对韦尔登复杂几何形状的反应机理进行描述。

项目成果

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知道了