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機能性無機微粒子の精密配列制御法の開発

功能性无机粒子精密排列控制方法的开发

基本信息

批准号：
13875122
负责人：
河本邦仁
金额：
$ 1.41万
依托单位：
Nagoya University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Exploratory Research
财政年份：
2001
资助国家：
日本
起止时间：
2001 至无数据
项目状态：
已结题

项目摘要

N_2雰囲気下でSi基板をPTCS(フェニルトリクロロシラン)溶液中に浸漬してPTCS自己組織膜を作製し、ここにフォトマスクを通してUV照射を行う事により、フェニル基とOH基のマイクロパターンを作製した。SiO_2粒子(500nmφ及び15nmφ)の表面にTCES(トリクロロシアノエチルシラン)を結合させて最表面をCN基とし、さらにt-BuOK(カリウムブトキシド)によりCOOH基へと変性した。このSiO_2粒子最表面のCOOH基と自己組織膜上のOH基をDCC(ジシクロヘキシルカルボジイミド)により縮合させてエステル結合を形成させることにより、自己組織膜上のOH基上に選択的にSiO_2粒子を配置させることを試みた。UV照射によりシラノール基へと変性した領域からは、SEM観察によりSiO_2粒子が確認され、フェニル基上からは粒子は観測されなかった。この手法により、マイクロメーターオーダーの2次元粒子配列パターンが形成された。また、ダイヤモンドチップで自己組織膜表面を走査する事により、機械的にフェニル基を取り去り、任意の箇所をシラノール基へと変性した自己組織膜上からも粒子の選択的配列が確認され、1次元の粒子細線が形成できた。また、AFMリソグラフにより変性した自己組織膜上からも選択的粒子配列が確認された。上記のエステル結合の形成に代えて、酸あるいは塩基により粒子表面のシラノール基と自己組織膜上のシラノール基との間でのシロキサン形成を利用して粒子配列を行った。UV照射によりパターン化した自己組織膜を塩酸、硫酸あるいは水酸化ナトリウム溶液中に浸して数分間保持した後、アセトンですすいでSEM等により観察した。いずれのケースに於いてもシラノール基上への粒子の選択的配列が確認された。また、塩酸を用いた反応においては、密に詰まった2次元粒子配列パターンが形成できた。

The solution of Si substrate (PTCS) was immersed in the solution of PTCS to prepare its own membrane, which was used to prepare UV radiation. After operation, the OH substrate was tested and the OH was used. The surface properties of SiO_2 particles (500nm φ and 15nm φ) are different from those of CN particles (COOH φ and t-BuOK φ). On the outermost surface of Sio _ 2 particles, COOH was used to set up the OH base DCC on the membrane, and the SiO_2 particles selected on the OH base were configured by the combination of the Sio _ 2 particles. The UV irradiates the particles in the field, the SEM examines the Sio _ 2 particles, confirms the particles, and the particles on the base. The two-dimensional particles are arranged to form the second-dimensional particles. On the surface of the membrane, the mechanical properties of the machine are removed, and the configuration of the selected particles on the membrane is confirmed, and the one-dimensional particle alignment is formed. The particles selected on the membrane are assigned to confirm the size of the particles that are selected on the membrane. The particles on the membrane are assigned to confirm the particles. In the last part of the experiment, we combined the two-dimensional method to form a new generation, acid and acid particles on the surface of the particles, and we made our own configuration of the particles on the membrane. After UV irradiation, the membrane acid, sulfuric acid, sulfuric acid, sulfur Please confirm the configuration of the particle selection on the basis of the particle selection. The two-dimensional particles are arranged in order to form the two-dimensional particles, such as the two-dimensional particles, the two-dimensional particles.