マイクロマニシングによるナノ構造生成とその極限センシング

通过微加工生成纳米结构及其极限传感

• 批准号: 14702023
• 负责人: 小野 崇人
• 金额: $ 19.47万
• 依托单位: Tohoku University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Young Scientists (A)
• 财政年份: 2002
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2002 至 2003
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-14702023/
• 关键词: カーボンナノチューブ; マイクロマシニング; ナノマシニング; 質量センサ; マイクロプローブ; ナノ構造; マニピュレーター; ナニピュレーター

近年、カーボンナノチューブのようなナノ構造を有する物質は様々な特性を有し、将来、電子デバイス、エネルギー変換素子、機能性材料など多くの分野での応用が期待されている。本研究では、マイクロマシニング技術を利用してナノ構造合成装置を開発する。このナノ物質合成装置は、In-Situ観察しながら成長させることで、狙った構璋を作製することを目的とする。マイクロマシニングで作製したナノ物質合成装置は、電界等を制御することで、所望の位置にナノ構造を生成できると期待される。作製したナノ構造をもつ物質を一つだけ取り出してその電気特定や物性を測定する。この測定のために、これまで開発してきたマイクロマシニング技術を応用して作製した高感度センサを利用すると同時にこのセンシング技術を発展させる。また、ナノの世界を見て操るための様々なツールを開発する。電子顕微鏡内でナノマニピュレーターを利用してこの振動子の上にナノ構造体を載せ、外部から様々な刺激(ガス暴露、光、磁場、電場等)をナノ構造体に与えて、その相互作用を測り単ナノ構造体の物性を調べる。例えば、この高感度センサを利用すれば、カーボンナノチューブなどのように様々な構造を持つナノ構造体を微量取りだし、その特性・物性を調べることができると期待できる。ナノ材料はその広い応用への期待から盛んに研究がなされているが、様々な構造・形態をとるため、これまで測られた物性は平均的なものでしかない。本年度は、ナノ構造の成長を制御するためのマイクロデバイスを更に高感度化するための研究を行った。微細加工技術により、ナノメートルの最小寸法にまで小型化したナノ振動子の特性を評価した。ナノ振動子を利用したセンシングでは、そのQ値が高いことが必要であるが、単結晶シリコン材料で、Q値に構造の方位性があることを見出した。具体的には振動子の長手方向を<110>の結晶方位にすることで、機械損朱が小さく大きなQ値が得られる。得られた振動子をナノ材料の昇温脱離スペクトルの測定に利用した。2本の振動子の共振を同時に測定し、一方の振動子の上にはピコグラムの質量をもつ試料を乗せて実験を行った。以上の研究は、微小空間でナノ構造を創成し、それを評価するマイクロシステムの基礎となる。

In recent years, カ ー ボ ン ナ ノ チ ュ ー ブ の よ う な ナ ノ a す を construction る material は others 々 な features を し, in the future, electronic デ バ イ ス, エ ネ ル ギ ー variations in grain, and functional materials な ど more く の eset で の 応 with が expect さ れ て い る. In this study, the で する and ロ ロ ロ ロ シニ グ グ techniques を were used to construct a synthetic device を for development する. こ の ナ ノ は material synthesis device, the In - Situ 観 examine し な が ら growth さ せ る こ と で, previously っ た constitutive Zhang を cropping す る こ と を purpose と す る. マ イ ク ロ マ シ ニ ン グ で cropping し た ナ ノ は material synthesis device, the electric industry and so on を suppression す る こ と で, hoped の position に ナ ノ tectonic を generated で き る と expect さ れ る. To prepare <s:1> たナノ, construct を, を, を, and determine the specific や physical properties を and する. こ の determination の た め に, こ れ ま で open 発 し て き た マ イ ク ロ マ シ ニ ン グ technology を 応 with し て cropping し た Gao Gan degrees セ ン サ を using す る と simultaneously に こ の セ ン シ ン グ technology を 発 exhibition さ せ る. Youdaoplaceholder0, ナノ また the world を can be found in て, るため, 々な, るため, を, を and する. Electronic 顕 micro mirror inside で ナ ノ マ ニ ピ ュ レ ー タ ー を using し て こ の vibration son の に ナ ノ constructs を せ, external か ら others 々 な stimulus (ガ ス exposure, light, magnetic field, electric field, etc.) を ナ ノ constructs に and え て, そ の interaction を measuring り 単 ナ ノ constructs の property を adjustable べ る. Example え ば, こ の Gao Gan degrees セ ン サ を using す れ ば, カ ー ボ ン ナ ノ チ ュ ー ブ な ど の よ う に others 々 な tectonic を hold つ ナ ノ constructs を trace take り だ し, そ の を adjustable べ properties, physical properties る こ と が で き る と expect で き る. ナ ノ material は そ の hiroo い 応 with へ の expect か ら sheng ん に research が な さ れ て い る が, others 々 な, structure form, を と る た め, こ れ ま で measuring ら れ た property は average な も の で し か な い. This year は, ナ ノ tectonic の growth を suppression す る た め の マ イ ク ロ デ バ イ ス を more に Gao Gan degree melts す る た め の を line っ た. Microfabrication technology によ によ, ナノメ ナノメ ト ト, <s:1> the method of smallest size of <s:1> miniaturized <s:1> たナノ vibrator <e:1> characteristics を review 価 た た. ナ ノ vibrator を using し た セ ン シ ン グ で は, そ の high Q numerical が い こ と が necessary で あ る が, 単 crystallization シ リ コ で ン materials, Q numerical に tectonic の azimuth が あ る こ と を shows し た. Specific に は vibrator の long hand direction を < 110 > の crystal orientation に す る こ と で, small mechanical damage of zhu が さ く big き な Q numerical が must ら れ る. To obtain the られた vibrator をナノ, the material <s:1> is heated and released from the スペ ト, the <s:1> is determined に using the <s:1> た. 2 this の vibrator の resonance を に simultaneously determine し, one party の vibration on の に は ピ コ グ ラ ム の quality を も つ sample を 乗 せ て be 験 を line っ た. The above research on でナノ, the structure of でナノ in tiny Spaces, を is created, それを is evaluated, 価する is conducted, となる is evaluated, and ロシステム is based on となる.

项目成果

T.Ono, E.Oesterschlze et al.: "Field-assisted assembly and alignment of carbon nanofibers"Nanotechnology. 14. 37-41 (2003)

T.Ono、E.Oesterschlze 等人：“碳纳米纤维的场辅助组装和排列”纳米技术。

X.Li, T.Ono, R.Lin, M.Esashi: "Resonance Enhancement of Micromachined Resonators with Strong Mechanical-coupling between two Degrees of Freedom"Microelectronic Engineering. 65. 1-12 (2003)

X.Li、T.Ono、R.Lin、M.Esashi：“两个自由度之间具有强机械耦合的微机械谐振器的谐振增强”微电子工程。

H.Miyashita, T.Ono, M.Esashi: "Freestanding Carbon Nanotube Bridge grown by Hot-filament Chemical vapor deposition"International Microprocess and Nanotechnology Conference. 36-37 (2002)

H.Miyashita、T.Ono、M.Esashi：“通过热丝化学气相沉积生长的独立式碳纳米管桥”国际微加工和纳米技术会议。

Takahito Ono, Dong F.Wang, Masayoshi Esashi: "Time dependence of energy dissipation in resonating silicon cantilevers in ultrahigh vacuum"Applied Physics Letters. 83. 1950-1952 (2003)

Takahito Ono、Dong F.Wang、Masayoshi Esashi：“超高真空中谐振硅悬臂梁能量耗散的时间依赖性”应用物理快报。

P.N.Minh, L.T.T.Tuyen, T.Ono, et al.: "Selective growth of carbon nanotubes on Si microfabricated tips and application for electron field emitters"Journal of Vacuum Science and Technology B. 21. 1705-1709 (2003)

P.N.Minh、L.T.T.Tuyen、T.Ono 等人：“Si 微加工尖端上碳纳米管的选择性生长及其在电子场发射器中的应用”真空科学与技术杂志 B.21.1705-1709 (2003)