Micromaching for freeform generation by atmospheric pressure plasma jet and precision positioning
Micromaching for freeform generation by atmospheric pressure plasma jet and precision positioning
通过大气压等离子射流和精密定位实现自由曲面生成的微机械加工
批准号：
19K15419
负责人：
Nakazawa Kenta
金额：
$2.75万
依托单位：
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Early-Career Scientists
财政年份：
2019
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2019-04-01 至 2021-03-31
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走査型プローブ顕微鏡を援用した酸素添加大気圧プラズマジェットによるPMMA膜のサブマイクロ加工
使用扫描探针显微镜通过含氧大气压等离子体射流亚微加工 PMMA 膜
使用扫描探针显微镜通过含氧大气压等离子体射流亚微加工 PMMA 膜
DOI：
--
发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
--
作者：
[Kyojiro Morikawa, Chih-Chang Chang, Yutaka Kazoe, Kazuma Mawatari and Takehiko Kitamori, 中澤謙太，山本 将，中川 英，荻野明久，下村 勝，岩田 太]
通讯作者：
中澤謙太，山本 将，中川 英，荻野明久，下村 勝，岩田 太
大気圧誘導結合型プラズマを局所照射可能な走査型ナノピペットプローブ顕微鏡の開発と表面微細エッチングへの応用
局部照射大气压感应耦合等离子体的扫描纳米移液探针显微镜的研制及其在表面微刻蚀中的应用
局部照射大气压感应耦合等离子体的扫描纳米移液探针显微镜的研制及其在表面微刻蚀中的应用
DOI：
--
发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
--
作者：
[Riku Kawasaki, Kosuke Kondo, Risako Miura, Keita Yamana, Hinata Isozaki, Shogo Kawamura, Tomoki Nisihimura, Naoki Tarutani, Kiyofumi Katagiri, Shin-ichi Sawada, Yoshihiro Sasaki, Kazunari Akiyoshi, Atsushi Ikeda, 戸田 竣，中澤 謙太，荻野 明久，下村 勝，岩田 太]
通讯作者：
戸田 竣，中澤 謙太，荻野 明久，下村 勝，岩田 太
Evaluation of displacement and surface potential of a micro-piezoresistor by a Kelvin probe force microscope
用开尔文探针力显微镜评估微压敏电阻的位移和表面电位
用开尔文探针力显微镜评估微压敏电阻的位移和表面电位
DOI：
--
发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
--
作者：
[Kenta Nakazawa, Takumi Tanaka, Takeshi Uruma, and Futoshi Iwata]
通讯作者：
and Futoshi Iwata
DOI：
10.1063/5.0017952
发表时间：
2020-09
期刊：
AIP Advances
影响因子：
1.6
作者：
[K. Nakazawa;Shotaro Yamamoto;E. Nakagawa;A. Ogino;M. Shimomura;F. Iwata]
通讯作者：
K. Nakazawa;Shotaro Yamamoto;E. Nakagawa;A. Ogino;M. Shimomura;F. Iwata
DOI：
10.1088/1361-6439/abf845
发表时间：
2021-04
期刊：
Journal of Micromechanics and Microengineering
影响因子：
2.3
作者：
[Shuntaro Toda;K. Nakazawa;A. Ogino;M. Shimomura;F. Iwata]
通讯作者：
Shuntaro Toda;K. Nakazawa;A. Ogino;M. Shimomura;F. Iwata
共 7 条
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