Micromaching for freeform generation by atmospheric pressure plasma jet and precision positioning

通过大气压等离子射流和精密定位实现自由曲面生成的微机械加工

基本信息

  • 批准号：
    19K15419
  • 负责人：
    Nakazawa Kenta
  • 金额：
    $ 2.75万
  • 依托单位：
    Shizuoka University
  • 依托单位国家：
    日本
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Early-Career Scientists
  • 财政年份：
    2019
  • 资助国家：
    日本
  • 起止时间：
    2019-04-01 至 2021-03-31
  • 项目状态：
    已结题

项目摘要

项目成果

期刊论文数量（7）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
走査型プローブ顕微鏡を援用した酸素添加大気圧プラズマジェットによるPMMA膜のサブマイクロ加工
使用扫描探针显微镜通过含氧大气压等离子体射流亚微加工 PMMA 膜
  • DOI：
  • 发表时间：
    2020
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    Kyojiro Morikawa;Chih-Chang Chang;Yutaka Kazoe;Kazuma Mawatari and Takehiko Kitamori;中澤謙太，山本　将，中川　英，荻野明久，下村　勝，岩田　太
  • 通讯作者：
    中澤謙太，山本　将，中川　英，荻野明久，下村　勝，岩田　太
大気圧誘導結合型プラズマを局所照射可能な走査型ナノピペットプローブ顕微鏡の開発と表面微細エッチングへの応用
局部照射大气压感应耦合等离子体的扫描纳米移液探针显微镜的研制及其在表面微刻蚀中的应用
  • DOI：
  • 发表时间：
    2021
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    Riku Kawasaki;Kosuke Kondo;Risako Miura;Keita Yamana;Hinata Isozaki;Shogo Kawamura;Tomoki Nisihimura;Naoki Tarutani;Kiyofumi Katagiri;Shin-ichi Sawada;Yoshihiro Sasaki;Kazunari Akiyoshi;Atsushi Ikeda;戸田 竣，中澤 謙太，荻野 明久，下村 勝，岩田 太
  • 通讯作者：
    戸田 竣，中澤 謙太，荻野 明久，下村 勝，岩田 太
Evaluation of displacement and surface potential of a micro-piezoresistor by a Kelvin probe force microscope
用开尔文探针力显微镜评估微压敏电阻的位移和表面电位
  • DOI：
  • 发表时间：
    2020
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    Kenta Nakazawa;Takumi Tanaka;Takeshi Uruma;and Futoshi Iwata
  • 通讯作者：
    and Futoshi Iwata
Atmospheric He/O2 plasma jet fine etching with a scanning probe microscope
  • DOI：
    10.1063/5.0017952
  • 发表时间：
    2020-09
  • 期刊：
    AIP Advances
  • 影响因子：
    1.6
  • 作者：
    K. Nakazawa;Shotaro Yamamoto;E. Nakagawa;A. Ogino;M. Shimomura;F. Iwata
  • 通讯作者：
    K. Nakazawa;Shotaro Yamamoto;E. Nakagawa;A. Ogino;M. Shimomura;F. Iwata
Micromachining of polymers using atmospheric pressure inductively coupled helium plasma localized by a scanning nanopipette probe microscope
  • DOI：
    10.1088/1361-6439/abf845
  • 发表时间：
    2021-04
  • 期刊：
    Journal of Micromechanics and Microengineering
  • 影响因子：
    2.3
  • 作者：
    Shuntaro Toda;K. Nakazawa;A. Ogino;M. Shimomura;F. Iwata
  • 通讯作者：
    Shuntaro Toda;K. Nakazawa;A. Ogino;M. Shimomura;F. Iwata
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  • 作者：
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    2020
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    Kota Aoki;Kodama Keita;Hamada Sota;Nashimoto Kentaro;Okimasu Mitsuhiko;Ohara Kentaro;Nakazawa Kenta;Nurul Adibah Saadon;Yuko Ichiyanagi,
  • 通讯作者：
    Yuko Ichiyanagi,
Nanobiodevices, Quantum Technology, and AI for Future Healthcare
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  • DOI：
  • 发表时间：
    2022
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    Kodama Keita;Hamada Sota;Nashimoto Kentaro;Aoki Kota;Ohara Kentaro;Nakazawa Kenta;Ichiyanagi Yuko;Yoshinobu Baba
  • 通讯作者：
    Yoshinobu Baba
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  • DOI：
    10.1109/lmag.2022.3233222
  • 发表时间：
    2023
  • 期刊：
    IEEE Magnetics Letters
  • 影响因子：
    1.2
  • 作者：
    Liu Nan N.;Alekhina Yulia A.;Pyatakov Alexander P.;Perov Nikolai S.;Kovalev Boris B.;Sukhorukov Gleb B.;Tishin Alexander M.;Moriwaki Tomomasa;Nakazawa Kenta;Ichiyanagi Yuko
  • 通讯作者：
    Ichiyanagi Yuko
Development of atomic force microscopy combined with scanning electron microscopy for investigating electronic devices
开发原子力显微镜与扫描电子显微镜相结合用于研究电子设备
  • DOI：
    10.1063/1.5125163
  • 发表时间：
    2019
  • 期刊：
    AIP Advances
  • 影响因子：
    1.6
  • 作者：
    Uruma Takeshi;Tsunemitsu Chiaki;Terao Katsuki;Nakazawa Kenta;Satoh Nobuo;Yamamoto Hidekazu;Iwata Futoshi
  • 通讯作者：
    Iwata Futoshi

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  • 作者：
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