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高効率近接場光源の開発と応用

高效近场光源的开发与应用

基本信息

批准号：
12131201
负责人：
小野崇人
金额：
$ 14.78万
依托单位：
Tohoku University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
财政年份：
2000
资助国家：
日本
起止时间：
2000 至 2003
项目状态：
已结题

项目摘要

近接場光学顕微鏡は、光の波動性による回折限界を越えて光の波長以下の分解能を得ることができる顕微鏡である。この近接場顕微鏡の技術は高分解能の顕微鏡としてだけではなく、ナノ加工技術や将来の高密度光メモリーへと発展する可能性を秘めていることから活発に研究が行われている。近接場光学顕微鏡では、先端に微小開口を形成した光ファイバープローブがよく用いられるが、光がそのプローブ先端で光の波長よりも狭い径の領域を通り抜け微小開口に達するまでにかなりの損失があり光の利用効率が低いという問題がある。特に高分解能を得るために微小開口の寸法を小さくするとその損失は大きくなり、近接場顕微鏡の感度やSN比の悪さが顕著になる。また近接場技術以外に、この技術を様々な技術に展開するための要素技術の開発も併せて行なった。これまで開発した近接場光プローブの効率を更に上げるとともに、個々のプローブ自体にアクチュエーターを内蔵し、光スイッチング機能を持たせた。作製した構造は近接場光の生成効率を上げるために、先端がBow-Tieアンテナの形状を持っている。この構造は、2枚の金属が対向して配置してある構造を持ち、ギャップを20nm以下に小さくすると、極端に近接場強度が大きくできることが予測されている。また、光スイッチング機能をプローブに持たせることで、よりプローブの集積化が容易になった。プローブのアレイを同時に動かして記録動作させるためには、面発光レーザーのアレイ構造のようなものと組み合わせる必要があるが、集積化は必ずしも容易ではなかった。光源の数を減らし個々のプローブで光をスイッチングすることで、より小型、集積化が可能になった。更に、光スイッチング機能は、将来の光回路などの超小型スイッチとしても応用が利用できると考えられる。本プローブを作製し評価を行うと共に、光顕微鏡としての性能を評価した。また、走査型プローブ顕微鏡を利用したリソグラフィーにより表面プラズモン導波路を形成し、光源と近接場プローブとのカップリング効率の向上を図った。

In the near field, the optical micrometer and the optical wave dynamic optical wave can be decomposed below the wavelength of the optical wave. In close proximity to micro-technology, the high decomposition of micro-technology can improve the performance of high-density optical technology in the future. in the future, the possibility of high-density optical technology exhibition will be improved. In the near field, the optical micrometer and the front-end micro-opening form the optical transmission equipment, the optical transmission device, the optical transmission wavelength, the narrow optical wavelength in the field, the micro-opening, the optical transmission, the optical utilization rate, the optical utilization rate, and the problem of optical utilization. Special high decomposition can improve the accuracy of the micro-opening method, small temperature, high sensitivity, high resolution, high resolution, high sensitivity, high sensitivity, In addition to the near-field technology, the development of technology and technology, the development of key technology, the development of technology, and the development of key technology. Do not open the proximity lighting system. You can use your own equipment to monitor the performance of your computer, and you will be able to use the light machine. Make a close connection with the light generation rate, and hold the shape of the Bow-Tie at the end. The equipment is made of metal, 2 pieces of metal is used to configure the device, the device is made under the 20nm, the strength of the near field is large, the strength of the near field is high. The equipment and optical equipment can be used to make sure that it is easy to improve the quality of the system. At the same time, it is necessary to make sure that the necessary information is available, and it is easy to make sure that the necessary information is available, and it is easy to do so. The light source can be used for several times, such as the number of light sources, and the number of light sources. In the future, the optical circuit will be used in the ultra-miniature system. This system is used to improve the performance of the system. The light source is close to the surface and the light source is close to each other.