マイクロマシンとULSI集積回路の静電気放電からの保護対策の検討と実現

微型机械和超大规模集成电路静电放电保护措施的审查和实施

• 批准号: 03F00793
• 负责人: 藤田 博之
• 金额: $ 0.19万
• 依托单位: The University of Tokyo
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for JSPS Fellows
• 财政年份: 2003
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2003 至 2005
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-03F00793/
• 关键词: MEMS; Electrical Over Stress (EOS); 静電気破壊; ULSIとの融合; 保護回路

本研究は、マイクロマシンとULSI回路を融合して高度な機能を実現する「集積化MEMS」の信頼性を向上させることを目的に、集積化MEMSを破壊する最も重要な原因である、静電気破壊ならびに静電気オーバーストレス(EOS)現象を理解し、一般化可能な保護回路設計指針を構築することを目的としている。実際のマイクロアクチュエータの信頼性を向上させるという実用的な方向と、得られた知識を一般化するという理論的な方向との両面から研究を遂行している。平成15年度の成果は以下に示すとおりである。・MEMSのEOS、静電気破壊に関する文献調査を行い、MEMSについては静電気破壊とその信頼性向上対策に関する発表がほとんど行なわれていないという事実を確認した。・並列マイクロエアバルブ型アクチュエータを例にとり、EOSに起因すると思われる破壊モードの観察に成功した。・上記観察の結果をもとに、EOSからMEMS構造を保護するためのマイクロ構造を考案し、プロセス用フォトマスクを作製し、マイクロアクチュエータの作製プロセスを開始した。・本研究費の補助により、EOS観察を容易に、システマティックに行なうことを可能とする、電気的・工学的測定テストベンチ環境を構築した。

This study aims to improve the reliability of integrated MEMS by integrating ULSI circuits with high performance, to understand the electrostatic breakdown (EOS) phenomenon, and to generalize the design guidelines for protection circuits. The information of the real world is upward, and the knowledge of the real world is generalized. The results of Heisei 15 are shown below. MEMS EOS, electrostatic discharge related literature survey, MEMS, electrostatic discharge related information upward response to the table to confirm the situation As an example of the parallel MAIKRO AIRBRUB type ACK switch, we have successfully observed the cause of EOS and the failure of the camera.·The results of the above investigation are as follows: This study was conducted to determine the cost of the project and to establish an environment for the project.