课题基金 / 基金详情

磁歪駆動アクチュエータ

磁歪駆動アクチュエータ
磁致伸缩驱动执行器
批准号：
00F00777
负责人：
藤田 博之
金额：
$0.7万
依托单位：
The University of Tokyo
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
财政年份：
2000
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2000 至 2003
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-00F00777/
关键词：
光スキャナマイクロマシーニング磁歪効果シリコンレーダ障害検知有限要素法ANSYS

项目摘要

项目成果

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本研究では、マイクロマシン技術を応用した、磁歪材料駆動の光スキヤナーに関して、計算機を用いた設計や、半導体微細加工を用いた実デバイスの作製を行い、新しい研究成果を得た。研究対象である磁歪材料駆動の光スキャナーは、将来自動車の衝突防止用赤外線レーザレーダに用いることを目的とするもので、6mm×8mmいう大きな鏡を水平に±10度以上、垂直に±2.5度以上偏向させる必要がある。また、共振周波数も水平方向で100Hz以上、垂直方向で500Hz以上とする必要がある。本研究では、計算機を用いた設計により、鏡を薄い片持ち梁で支えた構造もしくは鏡をジンバル型に支持した構造を、特別な磁歪材料薄膜で駆動することにより、このような要求仕様を満たせることを明らかにした。その設計に基づいて、半導体微細加工を援用したマイクロマシーニングプロセスにより、実際のデバイスを作製した。更に、ドイツのCAESAR研究センターに赴き、2種類の材料からなるナノメートルの薄膜を交互に成膜して、微小な磁界を加えただけできわめて大きな歪みを発生する磁歪膜を付加した。これを持ち帰って、磁界を加えて性能評価を行った。この結果、ジンバル型デバイスに対し、垂直方向に磁界を加えることで、所定の性能を満たすことができることを明らかにした。
期刊论文(2)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
A.Debray: "Optical scanner with magnetostrictive actuation for industrial applications"IEEE/LEOS International Conf. on Optical MEMS. 155 (2002)
A.Debray：“用于工业应用的具有磁致伸缩驱动的光学扫描仪”IEEE/LEOS 国际会议。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
T.Bourouina: "Integration of Two Degree-of-Freedom Magnetostrictive Actuation and Piezoregistive Detection : Application to a Two-Dimensional Scanner"IEEE/ASME Jour.on MEMS. 11巻4号. 355 (2002)
T. Bourouina：“二自由度磁致伸缩驱动和压阻检测的集成：在二维扫描仪中的应用”IEEE/ASME Jour.on MEMS，第 11 卷，第 4 期。355 (2002)
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
Basic research on living displays that show biological information through genetic modification of the skin
  • 批准号：
    22H00284
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
  • 资助金额：
    $27.29万
  • 财政年份：
    2022
  • 负责人：
    藤田 博之
  • 依托单位：
    Tokyo City University
細胞骨格の病変や化学物質が筋肉の機械特性に及ぼす効果の研究
  • 批准号：
    13F03799
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for JSPS Fellows
  • 资助金额：
    $1.47万
  • 财政年份：
    2013
  • 负责人：
    藤田 博之
  • 依托单位：
    The University of Tokyo
生体モータ分子の直接操作による細胞内搬送機構の再構成
  • 批准号：
    21241036
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
  • 资助金额：
    $11.4万
  • 财政年份：
    2009
  • 负责人：
    藤田 博之
  • 依托单位：
    The University of Tokyo
微小液滴の形成、移動、混合等をおこなうマイクロシステムの研究
  • 批准号：
    09F09802
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for JSPS Fellows
  • 资助金额：
    $1.34万
  • 财政年份：
    2009
  • 负责人：
    藤田 博之
  • 依托单位：
    The University of Tokyo
海外基金