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個体の生体分子や細胞を評価するバイオMEMS

评估单个生物分子和细胞的 BioMEMS

基本信息

批准号：
07F07729
负责人：
藤田博之
金额：
$ 1.41万
依托单位：
The University of Tokyo
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
财政年份：
2007
资助国家：
日本
起止时间：
2007 至 2008
项目状态：
已结题

项目摘要

SOIウェハを用いて深堀エッチングを行い、微小サイズのシリコンマイクロカンチレバーを作製した。そのサイズは、長さが400ミクロン、幅が200ミクロン、厚さが11ミクロンである。またカンチレバーはTbFe/FeCo構造を25回繰り返したナノ構造磁歪膜で覆われており、最後にPDMSチップによりパッケージされている。このカンチレバーは液体環境下で高い共振周波数とQ値を示し、カンチレバー上方のみで水の負荷が存在する。カンチレバーは溶液中の細胞濃度を素早く適正に計数する装置として使用する。同様の原理により、更に微小なカンチレバー(50×10×1.5ミクロン)を作製、パッケージした。これは極少インスリン濃度の正確なモニタリングを目的とする。カンチレバーはSiO2層で覆われ、更に機能化されている。機能化化学溶液により、APTESとグルタルアルデヒドの架橋結合を用いて抗インスリン抗体の共有結合を可能にする。レーザドップラー速度測定計により、カンチレバーの共振周波数を測定し、またカンチレバーは光熱効果により動作する。今までバイオセンサ上のインスリンは機能化段階と異なり、再生産が確認されていなかった。直径が5から20ミクロンのTi/Pt電極をガラス基板上にパターニングし、SiO2層で絶縁し、最後にRTVベースにカルシウムイオノフォアと添加物を加えた、イオン感受性のポリマー膜で覆う。作製したデバイスはガラス基板と接合したPDMSチャネルを持つマイクロ流路環境下で試験する。結果、電極付近での局所カルシウム濃度が10-9まで良感度を示した。その測定信号は理論によりコヒーレント性を示し、カルシウム濃度で10-1ごとに30mVを示した。チップ上のベータ細胞の培養を可能とするマイクロ流路環境下で、イオン感受性の電極をパッケージする。ポリマーの生体適合性についても検証を続ける予定である。

SOI has a lot of trouble in the middle of the day, and you can do it in a small way. The length of the frame is 400 yuan, the width is 200 yuan, and the thickness is 11 percent. This is the first time that the TbFe/FeCo has been made 25 times. The magnetic distortion film has been made to cover the magnetic field, and finally the PDMS film has been made. In the liquid environment, the number of resonant waves in the liquid environment shows that the number of high-temperature resonance waves is Q, and the water load is high above the liquid environment. The temperature of the cell in the solution has been measured in the early days, and the device has been used. It is the same as that of the principle, the principle and the principle. Please make sure that the accuracy is correct. Make sure that the SiO2 is overwritten, and that the function is more effective. There is a common combination of functional chemical solution antibody and APTES anti-virus antibody in the combination of functional chemical solution and APTESs. The speed meter is measured, the resonant wave number is measured, and the light is measured. Today, you will be able to make sure that you can make sure that you are in a better position to make sure that you are in a better position. The diameter is less than 5%. The diameter of the Ti/Pt cathode is much higher than that of the substrate, the SiO2 film is used on the substrate, and the additive is added to the substrate. The sensitivity is sensitive to the film. Make sure that the substrate is connected to the substrate and the PDMS is connected to the substrate. The results show that the sensitivity is close to 10-9%, which is close to that of the bureau. The theory of measuring the signal, the 30mV. It is possible to treat the flow in the flow environment. The sensitivity of the battery is very high. I don't know if I have sex. I don't know. I don't know.