微型机械和超大规模集成电路静电放电保护措施的审查和实施-猫眼课题宝

微型机械和超大规模集成电路静电放电保护措施的审查和实施

批准号：

03F03793

负责人：

藤田博之

金额：

$0.77万

依托单位：

The University of Tokyo

依托单位国家：

日本

项目类别：

Grant-in-Aid for JSPS Fellows

财政年份：

2003

资助国家：

日本

项目状态：

已结题

起止时间：

2003 至 2004

来源：

https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-03F03793/

关键词：

MEMS Electrical OverStress(EOS)静電気破壊 ULSIとの統合保護回路故障の自動検出信頼性加速試験

中文摘要

翻译

本研究は、マイクロマシンとULSI回路を融合して高度な機能を実現する「集積化MEMS」の信頼性を向上させることを目的に、集積化MEMSを破壊する最も重要な原因である、静電気破壊ならびに静電気オーバーストレス(EOS)現象を理解し、一般化可能な保護回路設計指針を構築することを目的としている。実際のマイクロアクチュエータの信頼性を向上させるという実用的な方向と、得られた知識を一般化するという理論的な方向との両面から研究を遂行した。研究の結果、マイクロアクチュエータは、実用化が近くなればなるほど、その信頼性が向上するがために、かえって信頼性の評価に必要な時間が指数関数的に増加するという、本質的なジレンマを抱えている問題が明らかになった。同問題を解決するために、以下に示す二つのアプローチを試み成功した。1.短期間にアクチュエータの信頼性を実測・予測する加速試験手法の考案と実践2.静電マイクロアクチュエータのオーバーストレス故障を自動的に検出する自動化手法加速試験法においては、マイクロアクチュエータを通常使用する電圧よりも高い電圧を印加することで、オーバーストレス不良が起こるまでの時間を指数関数的に短くすることができることを見出し、理論的・実験的裏づけを得ることができた(ICMTS国際会議発表、学会誌投稿予定)。また、オーバーストレスの自動検出手法においては、静電マイクロアクチュエータが物理的に動くときに電荷の急激な移動が起こり、これを電流として検出できる原理を応用し、オーバーストレスにより動作しなくなったマイクロアクチュエータの数に比例して、スパイク状の電流ピークが減少することを見出し、自動化への道筋を示すことができた。(IEEE LATW発表、学会誌投稿予定)

英文摘要

期刊论文(2)

专著(0)

科研奖励(0)

会议论文

Accelerated life time estimation of electrostatic microactuators

静电微执行器的加速寿命估计

DOI： --

发表时间： 2005

期刊：

for IEEE Int.Conf.on Microelectronics Test Structures (ICMTS) (Accepted)

影响因子： --