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励振とトンネル検出用のナノ位置決めアクチュエータを組み込んだRFナノ電気機械システム

励振とトンネル検出用のナノ位置決めアクチュエータを組み込んだRFナノ電気機械システム
射频纳米机电系统采用纳米定位执行器进行激励和隧道检测
批准号：
03F03792
负责人：
藤田 博之
金额：
$1.15万
依托单位：
The University of Tokyo
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
财政年份：
2003
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2003 至 2005
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-03F03792/
关键词：
トンネル電流半導体マイクロマシーニングナノ加工電子ビームリソグラフィーAFMプローブリソグラフィー静電アクチュエータ

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项目成果

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本研究は、近年急速な発展を遂げているマイクロマシーニング技術を用いて10〜100ナノメートル級寸法のシリコン振動子を作り、高性能無線送信機に必要なGHz帯の共振周波数の実現を目的に行った。(1)マイクロマシーニング技術は、10nmを切る立体微細加工ができるため、高い共振周波数を持つ微小共振子を作ることができる。また、静電駆動用のギャップを数10nm程度に縮めることで、高周波回路の低電圧を加えただけで励振を行えるようにできる。刃形の共振子を作り、静電駆動とヘテロダイン検出を用いて、基本共振周波数1.1GHz、第2次共振周波数2.5GHzを実測した。(2)一方、振動子を小型化すると振動振幅も小さくなり、検出方法が問題となる。まず、非接触モードのAFM(原子間力顕微鏡)を用いた振動検出を試みた。やや低い共振周波数(〜6.35MHz)を持つ共振子を用い、振動振幅対周波数特性や、振動振幅対駆動電圧特性を感度良く評価できることを示した。(3)次に、真空トンネル電流が0.1nm程度のギャップ変化に応じて一桁増減する現象に着目し、既に実証済みのマイクロマシン応用トンネル電流センサを適用することで、超高感度の振動検出の実現を試みた。SOI基板に電子ビーム露光と光露光を組み合わせたパターニングを行い、振動子構造、静電駆動電極、トンネル電流検出用探針およびトンネルギャップ制御用マイクロアクチュエータを1チップに集積したデバイスを作製した。本デバイスを超高真空の透過電子顕微鏡に入れ、動作をビデオ画像として捕えて解析したところ、nm級の変位制御が可能であることが分かった。
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会议论文
1.1 GHz Silicon blade nano-electromechanical resonator featuring 20 nm gap lateral transducers
1.1 GHz 硅片纳米机电谐振器，具有 20 nm 间隙横向换能器
DOI： --
发表时间： 2005
期刊： Proc. of the 18th International IEEE Micro Electro Mechanical Systems Conference, Miami, Jan.30- Feb.03, POSTER
影响因子： --
作者： [V.AGACHE, B.LEGRAND, D.COLLARD, H.FUJITA, L.BUCHAILLOT]
通讯作者： L.BUCHAILLOT
Fabrication and characterization of 1.1 GHz blade nano-electromechanical resonator
1.1 GHz 叶片纳米机电谐振器的制造和表征
DOI： --
发表时间： 2005
期刊： Applied Physics Letters Vol.86,No.21(論文番号)
影响因子： --
作者： [V.Agache, B.Legrand, D.Collard, H.Fujita, L.Buchaillot]
通讯作者： L.Buchaillot
Characterization of vertical vibration of electrostatically actuated resonators using Atomic Force Microscope in Non-Contact mode
使用原子力显微镜在非接触模式下表征静电驱动谐振器的垂直振动
DOI： --
发表时间： 2005
期刊： Transducers'05,Seoul,Korea,June 5-9,2005 Vol.1
影响因子： --
作者： [V.Agache, B.Legrand, K.nakamura, H.kawakatsu, L.Buchaillot, H.Toshiyoshi, D.Collard, H.Fujita]
通讯作者： H.Fujita
RF blade nano-electromechanical resonator with self-aligned process for definition of Lateral electrostatic transducers
具有自对准工艺的射频刀片纳米机电谐振器，用于定义横向静电换能器
DOI： --
发表时间： 2005
期刊： The 7th conference of the IEEE Design,Test,Integration and Packaging(DTIP)of MEMS and MOEMS,Montreux,1st-3rd June 2005
影响因子： --
作者： [V.Agache, B.Legrand, D.Collard, H.Fujita, L.Buchaillot]
通讯作者： L.Buchaillot
Basic research on living displays that show biological information through genetic modification of the skin
  • 批准号：
    22H00284
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
  • 资助金额：
    $27.29万
  • 财政年份：
    2022
  • 负责人：
    藤田 博之
  • 依托单位：
    Tokyo City University
細胞骨格の病変や化学物質が筋肉の機械特性に及ぼす効果の研究
  • 批准号：
    13F03799
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for JSPS Fellows
  • 资助金额：
    $1.47万
  • 财政年份：
    2013
  • 负责人：
    藤田 博之
  • 依托单位：
    The University of Tokyo
生体モータ分子の直接操作による細胞内搬送機構の再構成
  • 批准号：
    21241036
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
  • 资助金额：
    $11.4万
  • 财政年份：
    2009
  • 负责人：
    藤田 博之
  • 依托单位：
    The University of Tokyo
微小液滴の形成、移動、混合等をおこなうマイクロシステムの研究
  • 批准号：
    09F09802
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for JSPS Fellows
  • 资助金额：
    $1.34万
  • 财政年份：
    2009
  • 负责人：
    藤田 博之
  • 依托单位：
    The University of Tokyo