スピン再配向遷移を利用する磁歪駆動マイクロアクチュエータ

使用自旋重定向转变的磁致伸缩微致动器

• 批准号: 04F02808
• 负责人: 藤田 博之
• 金额: $ 0.77万
• 依托单位: The University of Tokyo
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for JSPS Fellows
• 财政年份: 2004
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2004 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-04F02808/
• 关键词: マイクロアクチュエータ; マイクロマシニング; 磁気駆動; 磁歪材料; 2次元スキャナ; ミリ波アンテナ; シリコーンゴム

本研究の目的は駆動用として磁歪材料や強磁性材料の薄膜を用いたマイクロアクチュエータの研究開発を行うことである。マイクロマシニングで加工したシリコンの微細構造に磁歪材料や強磁性材料の薄膜を付加して、アクチュエータ構造とする。磁気的異方性を持つ材料を使ったり微細構造の形状を工夫すると、一方向の交番磁場を印可しただけで、アクチュエータに2方向の動きをさせられる。このような2次元アクチュエータの設計と製作、動作特性評価と解析を行った。また、マイクロミラーを2方向に振動させ、2次元光スキャナとして用いるなどの応用も研究した。この結果、特殊な永久磁石薄膜を用いた可動磁石型のアクチュエータを2次元光スキャナーに応用し、数ミリメートル程度の大きなミラーを直交する2軸の周りに、大偏向角で動かすことができた。本年度は、アクチュエータ性能向上のための新材料利用について、次の研究成果を得た。シリコンより柔かく、壊れにくい材料であるシリコーンゴムによってミラーを弾性支持することにより、簡単で丈夫なマイクロスキャナーを得ることができた。光の走査だけでなく、高周波無線ビームの走査に利用することを目指して、研究を行った。2次元光走査では、18Hzと164Hzの2つの周波数を重畳した2.5mTの交流磁界を加えることで、80°×5°の範囲に光ビームを走査できた。さらにシリコーンゴムの誘電体損失を避けるため空洞を含む膜構造上に60GHz帯の高周波アンテナを作り、それを可動のマイクロ走査デバイスに乗せて動かすことに成功した。

The purpose of this study is to conduct a comprehensive study on the use of magnetic skew materials, strong magnetic materials and thin films. In the process, the magnetic skew material, the strong magnetic material, the thin film, the thin film and the thin film are fabricated. The square nature of the magnet makes it possible to create the shape in a short time, the cross magnetic field in one direction can be printed in one direction, and the magnetic field in the second direction can be printed. This is an example of how to analyze the behavior and action properties of the two-dimensional data analysis system. In the direction of two-dimensional vibration, the second-order light is used to study the vibration of the equipment. The results show that the special permanent magnet thin film can be used as a movable magnet. The two-dimensional optical device is used, the number of light is high, the temperature is high, the temperature is low, and the temperature is very high. This year, the performance of the new materials has been improved by making use of the research results. Please tell me that the material is soft, soft The optical and high-frequency wireless communication systems are used to make use of the eyes to study the operation. Second-order light transmission, 18Hz 164Hz 2 cycle count, 2.5mT AC magnetic field plus frequency, 80 °× 5 °range. The cavities of the electronic system are not safe and safe. The cavities are covered with a thin film. The high-cycle cycle of the 60GHz is built. The high-cycle cycle is operated. The vehicle can be operated successfully.

项目成果

Application of a multi-layered magnetostrictive film to a micro-machined 2D optical scanner

多层磁致伸缩薄膜在微机械二维光学扫描仪中的应用

• 发表时间: 2004
• 期刊: Journal of Microelectromechanical Systems vol 13,(2)
• 作者: A.Debray;A.Ludwig;T.Bourouina;A.Asaoka;N.Tiercelin;G.Reyne;T.Oki;E.Quandt;H.Muro;H.Fujita
• 通讯作者: H.Fujita