バイオインスパイアード手法によって合成した酸化亜鉛パターン薄膜の光機能化

仿生法合成氧化锌图案薄膜的光功能化

• 批准号: 15760507
• 负责人: 齋藤 紀子
• 金额: $ 1.98万
• 依托单位: National Institute for Materials Science
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
• 财政年份: 2003
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2003 至 2004
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-15760507/
• 关键词: 酸化亜鉛; バイオインスパイアード; ルミネッセンス; パターニング; 自己組織化膜

デバイスの高機能化・高集積化が進む現在、次世代を担うマイクロ・ナノサイズデバイスが求められている一方、従来のプロセスに代わる環境負荷の小さいデバイス作製プロセスが要求されている。そこで自己組織膜分子集合体の表面局所場をテンプレートとしたバイオインスパイアードセラミック合成化学研究が進められてきたが、電気・光学物性等の機能を引き出し、実用化への検討を行う研究はこれからの課題であった。本研究では、バイオインスパイアード手法によって作製した酸化亜鉛パターン膜の光機能性デバイス化のための検討を行った。酸化亜鉛のルミネッセンス特性は、結晶中の欠陥に大きく依存している。そこで、プロセス中で結晶析出中に取り込まれると考えられる、OH^-、H^+等の水溶液法特有の欠陥を制御することで、高輝度化、紫外光発光体などの高機能材料化を目指した。触媒を付けた自己組織膜テンプレートを用いて、酸化亜鉛を任意の位置に選択析出させた。まず、基板上に自己組織化膜を作製した後、フォトマスクを介してUV照射し、疎水基と親水基にパターン化したテンプレートを用意する。この基板をパラジウム触媒液に浸し、疎水基部分にのみに触媒粒子を付着させる。触媒を付着した箇所でのみ、酸化亜鉛の無電解析出反応を局所的に進行させてパターン析出させる。これら析出中に生成される欠陥の種類、量を制御するために、酸化亜鉛析出の水溶液条件を探索した。OH^-、H^+等の混入量、形態の評価には、昇温脱離ガス質量分析装置を用いた。合成した試料のフォトルミネッセンス、カソードルミネッセンスを測定し、水溶液プロセスにおいて結晶析出中に取り込まれた欠陥との関係について検討した。バイオインスパイアードセラミック合成プロセスによって得られる物質の実用化を目指し、欠陥と発光物性との関係を検討・総括した。

At present, the next generation will be responsible for the development of high-level aircraft. at present, the next generation will be responsible for the development of high-level aircraft. at present, the next generation will be responsible for the development of high-level aircraft. at present, the next generation will be responsible for the development of environmental protection. We have organized our own membrane molecular assemblies, which are located in the field of membrane molecular assemblages. They are used in the study of synthetic chemistry in the field of chemical engineering, such as the study of optical and physical properties of electronics. they can be used in the field of chemical engineering, such as the study of chemical engineering. In this study, the method of acidification was used in this study. the photochemical properties of the membrane were studied. The acidizing effect on the properties and the dependence on the properties of the crystals. In the process of crystallization, the method of aqueous solution such as OH ^ -, H ^ + and so on has special advantages in controlling the temperature, high temperature, and UV phosphor for high-energy materials. The catalyst is responsible for setting up its own membrane, acidizing and acidizing devices to select the precipitates in any location. After the preparation of the tissue film on the substrate and the preparation of the tissue film on the substrate, the tissue film on the substrate was used to introduce UV irradiation, water-based radiation, and so on. The base plate, the catalyst liquid, the water-based part, the catalyst particles, the catalyst particles. The catalyst is responsible for the treatment, acidizing and analysis of the reaction system. In the process of precipitation, it is necessary to study the conditions for the precipitation of aqueous solution. OH^ -, H^ + and so on, "mixing quantity", "shape", "temperature separation" and "temperature separation" are used in the quantitative analysis device. The synthetic material is used to determine the temperature, the temperature and the temperature. This is due to the use of physical properties, optical properties, physical properties, physical properties, physical

项目成果

Pattern-deposition of light-emitting ZnO particulate film through biomimetic process using self-assembled monolayer template

• DOI: 10.1016/s0026-2692(03)00243-x
• 发表时间: 2004-04
• 期刊: Microelectron. J.
• 作者: N. Saito;H. Haneda;K. Koumoto

自己組織化膜テンプレートを用いた酸化亜鉛パターンの合成と発光特性

使用自组装薄膜模板合成氧化锌图案及其发光性能

• 发表时间: 2004
• 期刊: 材料の科学と工学 41(4)
• 作者: 齋藤紀子;河本邦仁
• 通讯作者: 河本邦仁

Site-Selective Deposition of Ceramic Thin Films Using Self-Assembled Monolayers

• DOI: 10.14852/jcersjsuppl.112.0.s1495.0
• 发表时间: 2004
• 期刊: Journal of the Ceramic Society of Japan
• 影响因子: 1.1
• 作者: Y. Masuda;Yanfeng Gao;P. Zhu;N. Shirahata;N. Saito;K. Koumoto

Effect of post-deposition annealing on luminescence from zinc oxide patterns prepared by electroless deposition process

沉积后退火对化学沉积工艺制备的氧化锌图案发光的影响

• 发表时间: 2004
• 期刊: J.Electrochem.Soc. 151(8)
• 作者: Noriko Saito;Hajime Haneda;Kunihito Koumoto;他2名
• 通讯作者: 他2名

Noriko Saito, Hajime Haneda, Kunihito Koumoto: "Pattern-deposition of light-emitting ZnO particulate film through biomimetic process using self-assembled monolayer template"Microelectronics Journal. 35(In press). (2003)

Noriko Saito、Hajime Haneda、Kunihito Koumoto：“使用自组装单层模板通过仿生工艺图案沉积发光 ZnO 颗粒薄膜”微电子杂志。