超高信頼性バイオ・分子センサー応用に向けたダイヤモンド/有機系材料複合化

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前年度明らかとなったUV光照射による光化学反応を利用して,本年度は,アルキル化を行ったダイヤモンド表面を用いた高信頼性バイオ・分子センサーデバイス構造の作製,ならびに評価実験へと研究の中心を進めて行った.実際にデバイス構造を作製,評価実験を展開していく中で,必要な設備の充実,ならびに装置の改良を行った.当初想定していた以上に,現有設備の不備・問題点に直面したため,本研究が目標とする超高信頼性バイオ・分子センサーデバイスを実現するために,本年度は大きく次に示す2点についてその設備の充実に力を注いだ.すなわち,1.バイオ・分子センサーデバイス構造作製のための微細加工設備の新規導入(他プロジェクトと共同研究),2.高精度ガス・ニオイセンサー評価装置の開発である.1.については,改質されたダイヤモンド表面の機能性を保持した状態でデバイスプロセスを進めるために,新規に,ヒュームフードを内蔵した,クリーン(クラス1000以下)化されたイエロールーム,ならびにLEDバックライト付き特注仕様マスクアライナーの導入を行った.これにより本研究が目標とするデバイス構造の作製が可能となった.2.については,ガスセンサー評価装置として,特殊材料ガス(B_2H_6)クラスの特性評価が可能なように,除害装置を有した測定系の新規設計・開発を行った.ダイヤモンド表面への吸着分子の振舞いを明らかにするために温度を可変しながら測定できるシステムの開発を進めた.