Nano-chemical modification of diamond surfaces by a probing method in controlled atmosphere

在受控气氛下通过探测方法对金刚石表面进行纳米化学改性

• 批准号: 18360348
• 负责人: MITSUDA Yoshitaka
• 金额: $ 11.23万
• 依托单位: The University of Tokyo
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• 财政年份: 2006
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2006 至 2009
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-18360348/
• 关键词: ダイヤモンド; 表面; ナノ化学修飾; 終端元素; 走査型プローブ顕微鏡; 化学修飾; 雰囲気制御; 走査型プローブ顕徽鏡; 雰気制御

Scanning probe microscopy was utilized for controlling the surface termination of diamond by current-induced chemical modification. Stabilities of hydrogen- and oxygentermination were analyzed in ultrahigh vacuum. Conditions for diamond nucleation and hydrogen termination were discussed on the basis of in-situ plasma analyses in microwave plasma chemical vapor deposition. Surface electric conduction layer caused by hydrogen termination was converted to insulating layer after treatment by tunneling current.

利用扫描探针显微镜研究了电流诱导化学修饰金刚石的表面终止。分析了氢封端和氧封端在高真空条件下的稳定性。通过对微波等离子体化学气相沉积过程中的原位等离子体分析，讨论了金刚石成核和氢终止的条件。氢终止引起的表面导电层经隧穿电流处理后转变为绝缘层。

项目成果

H2Sガスを用いたSドープ多結晶ダイヤモンド膜の作製

H2S气体制备S掺杂多晶金刚石薄膜

• 发表时间: 2009
• 作者: 藤田龍平;野瀬健二;光田好孝
• 通讯作者: 光田好孝

ダイヤモンド核生成環境における照射イオンのエネルギー及びフラックスの定量化

金刚石成核环境中辐照离子能量和通量的量化

• 发表时间: 2008
• 作者: 野瀬健二;諏訪剛史;光田好孝
• 通讯作者: 光田好孝

毎年5月末-6月初旬に開催される「駒場リサーチキャンパス公開」において、研究成果を公開した。

研究结果在每年5月底至6月初举行的“驹场研究园开放日”上公开。

A numerical simulation of ion acceleration to negatively-biased substrates in a microwave-plasma chemical vapor deposition of diamond

微波等离子体化学气相沉积金刚石中离子对负偏压基底加速的数值模拟

• 发表时间: 2008
• 作者: K. Nose;Y. Mitsuda;K,Nose and Y,Mitsuda
• 通讯作者: K,Nose and Y,Mitsuda

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