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Molding multi-layered precise structures widely and seamlessly

Molding multi-layered precise structures widely and seamlessly
广泛无缝地成型多层精密结构
批准号：
19106003
负责人：
NAKAO Masayuki
金额：
$70.72万
依托单位：
The University of Tokyo
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (S)
财政年份：
2007
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2007 至 2011
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-19106003/
关键词：
ナノ・マイクロ加工機械工作・生産工学精密部品加工超精密金型転写マイクロ・ナノデバイスナノインプリント高速プレスロール加工

项目摘要

项目成果

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中文摘要
翻译
开发了大面积多层微/纳米结构的新复制方法。我们提出并论证了两种方法：迭代压印法，其中薄膜反复成型和粘合，高速剪切法，其中多层薄膜初步沉积剪切在一起。我们还开发了连续复制微/纳米结构的辊压印。
英文摘要
New replication methods of large-area multi-layered micro/nanostructures were developed. We proposed and demonstrated two methods ; iterative imprint method in which thin films are molded and bonded repeatedly and high-speed shearing method in which multilayered thin films preliminarily deposited are sheared together. We also developed roller-imprinting that continuously replicates micro/nanostructures.
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会议论文
Single-pass forming for three-dimensional microstructures by high-speed shearing of multilayer thin films
通过多层薄膜的高速剪切实现三维微结构的单道成形
DOI： --
发表时间： 2008
期刊： J. Vac. Sci. Technol B
影响因子： --
作者： [T. Hamaguchi, H. Yonemoto, K. Nagato, K. Tsuchiya, M. Nakao]
通讯作者： M. Nakao
Slurry mixing device with microchannels for gelcasting
凝胶注模用微通道浆料混合装置
DOI： --
发表时间： 2010
期刊：
影响因子： --
作者： [Hiroaki Hoshino, Keisuke Nagato, Tetsuya Hamaguchi, Masayuki Nakao]
通讯作者： Masayuki Nakao
Injection compression molding of high-aspect-ratio nanostructures
DOI： 10.1116/1.3662405
发表时间： 2011-11-01
期刊： JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B
影响因子： 1.4
作者： [Nagato, Keisuke, Hamaguchi, Tetsuya, Nakao, Masayuki]
通讯作者： Nakao, Masayuki
Copper oxide nanowire arrays synthesized from sputtered Cu thin film
溅射铜薄膜合成氧化铜纳米线阵列
DOI： --
发表时间： 2011
期刊：
影响因子： --
作者： [K.Nagato, T.Hamaguchi, M.Nakao]
通讯作者： M.Nakao
共 30 条
    A Diachronic Approach to Representation of Consciousness in English Novels: Historical Development of Free Indirect Thought
    • 批准号：
      17K13408
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
    • 资助金额：
      $1.83万
    • 财政年份：
      2017
    • 负责人：
      NAKAO Masayuki
    • 依托单位：
      Tottori University
    Mold making process to reproduce nano-structures without lithography technology
    • 批准号：
      24246027
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
    • 资助金额：
      $29.79万
    • 财政年份：
      2012
    • 负责人：
      NAKAO Masayuki
    • 依托单位：
      The University of Tokyo
    Development of molding process to reproduce micro-structures of 100 nm pitch at a wide area of 100 mm - side square
    • 批准号：
      17206012
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
    • 资助金额：
      $32.61万
    • 财政年份：
      2005
    • 负责人：
      NAKAO Masayuki
    • 依托单位：
      The University of Tokyo
    Establishment of the design guidelines of laminated microdiagnostics chip using micro needle, sphere, and groove structures
    • 批准号：
      15360079
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $9.41万
    • 财政年份：
      2003
    • 负责人：
      NAKAO Masayuki
    • 依托单位：
      The University of Tokyo