Development of Phase-Shifting Point Diffraction Interferometer Assisted by Fiber Optic Window : Highly-Reproducible Absolute Surface Figure Measurement of Large Aperture Aspherical Mirrors

光纤窗口辅助移相点衍射干涉仪的研制：大口径非球面镜的高再现性绝对面形测量

• 批准号: 19360066
• 负责人: KATAOKA Toshihiko
• 金额: $ 13.06万
• 依托单位: Osaka University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• 财政年份: 2007
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2007 至 2008
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-19360066/
• 关键词: 点光源回折干渉計; point diffraction interferometer; 位相シフト干渉計; phase-shifting interferometer; デジタルホログラフ; Helmholtz-Kirchhoffの積分定理; シングルモード光ファイバ; 表面形状計測; デジタルホログラフィー; ガラスレスCCDカメラ; 非球面形状計測; 放物面計測

光ファイバが発する回折球面波を計測基準とする位相シフト点光源回折干渉計を開発し, 計測精度の向上に関する研究の結果,直径200mm, 曲率半径1500mmの凹面ミラーの形状計測の連続実施における再現性としてrms0.11nmを達成した。同ミラーの約90度の回転前後の計測結果もrms0.85nmで一致した。回転放物面ミラーの焦点から回折球面波を出射させて, ミラー形状の不完全性によって生じた非平面度を計測し, 非球面ミラーの絶対形状計測が本装置によって可能であることを実証した。

As a result of the research on the development of the optical fiber reflection spherical wave measurement standard and the measurement accuracy, the reproducibility of the measurement of the shape of the concave surface with a diameter of 200mm and a curvature radius of 1500mm was achieved to 0.11 nm. The measurement results before and after the 90-degree return of the same wavelength are consistent with 0.85 nm. The reflection of spherical waves from the focal point of the reflected object plane is realized by measuring the non-planarity of the non-spherical shape due to the imperfection of the reflected object plane.

项目成果

ファイバ型PS/PDI装置のためのHelmholtz-Kirchhoff積分を用いたデジタルホログラフィ解析シミュレーション

光纤型 PS/PDI 器件使用 Helmholtz-Kirchhoff 积分的数字全息分析模拟

• 发表时间: 2007
• 作者: Keisuke Morishima;Yoshitake Akiyama,Hiroshi Horiguchi;Tomoji Ishisaka;andHiroshi Sato;松浦敏晋
• 通讯作者: 松浦敏晋

Numerical reconstruction of wavefront in phase-shifting point diffraction interferometer by digital holography

• DOI: 10.1002/sia.2815
• 发表时间: 2008-06-01
• 期刊: SURFACE AND INTERFACE ANALYSIS
• 影响因子: 1.7
• 作者: Matsuura, Toshiaki;Okagaki, Satoru;Kataoka, Toshihiko
• 通讯作者: Kataoka, Toshihiko

大口径光学素子の絶対形状計測を目的としたファイバ型PS/PDIの開発-干渉結果の撮影におけるCCD撮像素子の保護ガラスの影響-

开发用于大直径光学元件绝对形状测量的光纤型PS/PDI - CCD图像传感器的保护玻璃对捕获干涉结果的影响 -

• 发表时间: 2008
• 作者: T. Hoshino;K. Morishima;松浦敏晋
• 通讯作者: 松浦敏晋

ファイバ型PS/PDIによる大口径ミラーの計測精度

使用光纤型 PS/PDI 的大直径反射镜的测量精度

• 发表时间: 2009
• 作者: Keisuke Morishima;Yuji Furukawa 他4名;松浦敏晋
• 通讯作者: 松浦敏晋

Absolute Surface Figure Measurement by Phase-Shifting Point Diffraction Interferometer with Two Optical Fibers

两光纤移相点衍射干涉仪的绝对面形测量

• 发表时间: 2009
• 作者: Takayuki Hoshino;Keisuke Morishima;Toshiaki MATSUURA
• 通讯作者: Toshiaki MATSUURA