课题基金 / 基金详情

Development of Phase-Shifting Point Diffraction Interferometer Assisted by Fiber Optic Window : Highly-Reproducible Absolute Surface Figure Measurement of Large Aperture Aspherical Mirrors

Development of Phase-Shifting Point Diffraction Interferometer Assisted by Fiber Optic Window : Highly-Reproducible Absolute Surface Figure Measurement of Large Aperture Aspherical Mirrors
光纤窗口辅助移相点衍射干涉仪的研制：大口径非球面镜的高再现性绝对面形测量
批准号：
19360066
负责人：
KATAOKA Toshihiko
金额：
$13.06万
依托单位：
Osaka University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
财政年份：
2007
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2007 至 2008
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-19360066/
关键词：
点光源回折干渉計point diffraction interferometer位相シフト干渉計phase-shifting interferometerデジタルホログラフHelmholtz-Kirchhoffの積分定理シングルモード光ファイバ表面形状計測デジタルホログラフィーガラスレスCCDカメラ非球面形状計測放物面計測

项目摘要

项目成果

KATAOKA Toshihiko的其他基金

相似基金

相关文献

中文摘要
翻译
点击翻译按钮获取中文摘要
英文摘要
光ファイバが発する回折球面波を計測基準とする位相シフト点光源回折干渉計を開発し, 計測精度の向上に関する研究の結果,直径200mm, 曲率半径1500mmの凹面ミラーの形状計測の連続実施における再現性としてrms0.11nmを達成した。同ミラーの約90度の回転前後の計測結果もrms0.85nmで一致した。回転放物面ミラーの焦点から回折球面波を出射させて, ミラー形状の不完全性によって生じた非平面度を計測し, 非球面ミラーの絶対形状計測が本装置によって可能であることを実証した。
期刊论文(0)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
ファイバ型PS/PDI装置のためのHelmholtz-Kirchhoff積分を用いたデジタルホログラフィ解析シミュレーション
光纤型 PS/PDI 器件使用 Helmholtz-Kirchhoff 积分的数字全息分析模拟
DOI： --
发表时间： 2007
期刊：
影响因子： --
作者： [Keisuke Morishima, Yoshitake Akiyama,Hiroshi Horiguchi, Tomoji Ishisaka, andHiroshi Sato, 松浦敏晋]
通讯作者： 松浦敏晋
Numerical reconstruction of wavefront in phase-shifting point diffraction interferometer by digital holography
DOI： 10.1002/sia.2815
发表时间： 2008-06-01
期刊： SURFACE AND INTERFACE ANALYSIS
影响因子： 1.7
作者： [Matsuura, Toshiaki, Okagaki, Satoru, Kataoka, Toshihiko]
通讯作者： Kataoka, Toshihiko
大口径光学素子の絶対形状計測を目的としたファイバ型PS/PDIの開発-干渉結果の撮影におけるCCD撮像素子の保護ガラスの影響-
开发用于大直径光学元件绝对形状测量的光纤型PS/PDI - CCD图像传感器的保护玻璃对捕获干涉结果的影响 -
DOI： --
发表时间： 2008
期刊：
影响因子： --
作者： [T. Hoshino, K. Morishima, 松浦敏晋]
通讯作者： 松浦敏晋
ファイバ型PS/PDIによる大口径ミラーの計測精度
使用光纤型 PS/PDI 的大直径反射镜的测量精度
DOI： --
发表时间： 2009
期刊：
影响因子： --
作者： [Keisuke Morishima, Yuji Furukawa 他4名, 松浦敏晋]
通讯作者： 松浦敏晋
共 6 条
    Absolute surface figure measurement of aspherical surfaces with diffracted wavefronts as reference waves emitted from two optical fibers
    • 批准号：
      16360067
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $8.06万
    • 财政年份：
      2004
    • 负责人：
      KATAOKA Toshihiko
    • 依托单位：
      Osaka University
    Development of a superior PS-PDI(Phase-Shifting Point Diffraction Interferometer) for Absolute Shape Measurement of Large-Diameter Surfaces
    Application of optical near-field excited with ultra fast laser pulses to microfabrication
    • 批准号：
      11450030
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $9.73万
    • 财政年份：
      1999
    • 负责人：
      KATAOKA Toshihiko
    • 依托单位：
      Osaka University
    Spatiotemporal optical emission spectroscopy of atmospheric VHF plasma process
    • 批准号：
      08405014
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
    • 资助金额：
      $14.85万
    • 财政年份：
      1996
    • 负责人：
      KATAOKA Toshihiko
    • 依托单位：
      Osaka University
    海外基金