3-D micro-structure measurement method based on moire-topography using SEM

基于云纹形貌的 SEM 3D 微结构测量方法

• 批准号: 19360123
• 负责人: ARAI Yasuhiko
• 金额: $ 12.73万
• 依托单位: Kansai University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• 财政年份: 2007
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2007 至 2008
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-19360123/
• 关键词: SEM; モアレトポグラフィ; MEMS; 縞解析; 微小構造物; 三次元形状計測; モアレトポグラフィー; 格子; シリコンプロセス

ナノテクノロジーにおける定量的な三次元形状評価を実現し, 微小構造物の定量的三次元形状計測が困難な現状を打開することのできる新しい計測技術を開発した. 具体的には,モアレトポグラフィの光源を光から電子線へ改めることによって, 数μm の構造物を数10nm の測定精度で形状計測可能な非接触三次元形状計測技術を補助金申請書に記した計画どうりに開発した.

The quantitative three-dimensional shape evaluation has been realized, and the difficulties in quantitative three-dimensional shape measurement of micro-structures have been opened up. Specific information about the non-contact three-dimensional shape measurement technology for structures with a measurement accuracy of 10nm and a measurement accuracy of several μm can be found in the application for grants.

项目成果

SEMを用いたモアレトポグラフィーによる微小構造物の三次元形状計測

使用 SEM 进行莫尔形貌微结构的三维形状测量

• 发表时间: 2008
• 作者: 新井泰彦;小林一也
• 通讯作者: 小林一也

SEMを用いた格子投影技術による三次元形状計測法の開発

利用SEM的网格投影技术开发三维形状测量方法

• 发表时间: 2010
• 作者: 水野翔太;岡英夫;三浦健司;久保田賢二;浪崎安治;内藤廉二;新井泰彦
• 通讯作者: 新井泰彦

3-D measurement method based on Wavelet transform by using SEM

使用SEM的基于小波变换的3D测量方法

• 发表时间: 2008
• 作者: K.Takagi;T.Yanai;K.Takahashi;M.Nakano;Y.Yoshizawa;H.Fukunaga;古荘純次;野中壮平;Y.Arai
• 通讯作者: Y.Arai

バーチャルスペックルパターンを用いた高分解能ダイナミック面内計測

使用虚拟散斑图案进行高分辨率动态面内测量

• 发表时间: 2008
• 期刊: 光学 37
• 作者: F Yamashita;O Yamada;S Ohya;O Kobayashi;M Nakano;H Fukunaga;T. Yagai;大山 裕基;新井泰彦
• 通讯作者: 新井泰彦

3-D micro-structure measurement method based on shadow moire using scanning electron microscope

基于阴影云纹的扫描电镜3D微结构测量方法

• 发表时间: 2007
• 期刊: Experimental analysis of nano and engineering materials and strictures
• 作者: H.Fukunaga;H.Murata;T.Yanai;M.Nakano;F.Yamashita;Yasuhiko Arai
• 通讯作者: Yasuhiko Arai