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3-D micro-structure measurement method based on moire-topography using SEM

3-D micro-structure measurement method based on moire-topography using SEM
基于云纹形貌的 SEM 3D 微结构测量方法
批准号：
19360123
负责人：
ARAI Yasuhiko
金额：
$12.73万
依托单位：
Kansai University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
财政年份：
2007
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2007 至 2008
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-19360123/
关键词：
SEMモアレトポグラフィMEMS縞解析微小構造物三次元形状計測モアレトポグラフィー格子シリコンプロセス

项目摘要

项目成果

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中文摘要
翻译
ナノテクノロジーにおける定量的な三次元形状評価を実現し, 微小構造物の定量的三次元形状計測が困難な現状を打開することのできる新しい計測技術を開発した. 具体的には,モアレトポグラフィの光源を光から電子線へ改めることによって, 数μm の構造物を数10nm の測定精度で形状計測可能な非接触三次元形状計測技術を補助金申請書に記した計画どうりに開発した.
英文摘要
ナノテクノロジーにおける定量的な三次元形状評価を実現し, 微小構造物の定量的三次元形状計測が困難な現状を打開することのできる新しい計測技術を開発した. 具体的には,モアレトポグラフィの光源を光から電子線へ改めることによって, 数μm の構造物を数10nm の測定精度で形状計測可能な非接触三次元形状計測技術を補助金申請書に記した計画どうりに開発した.
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会议论文
SEMを用いたモアレトポグラフィーによる微小構造物の三次元形状計測
使用 SEM 进行莫尔形貌微结构的三维形状测量
DOI： --
发表时间： 2008
期刊：
影响因子： --
作者： [新井泰彦, 小林一也]
通讯作者： 小林一也
SEMを用いた格子投影技術による三次元形状計測法の開発
利用SEM的网格投影技术开发三维形状测量方法
DOI： --
发表时间： 2010
期刊：
影响因子： --
作者： [水野翔太, 岡英夫, 三浦健司, 久保田賢二, 浪崎安治, 内藤廉二, 新井泰彦]
通讯作者： 新井泰彦
3-D measurement method based on Wavelet transform by using SEM
使用SEM的基于小波变换的3D测量方法
DOI： --
发表时间： 2008
期刊：
影响因子： --
作者： [K.Takagi, T.Yanai, K.Takahashi, M.Nakano, Y.Yoshizawa, H.Fukunaga, 古荘純次, 野中壮平, Y.Arai]
通讯作者： Y.Arai
バーチャルスペックルパターンを用いた高分解能ダイナミック面内計測
使用虚拟散斑图案进行高分辨率动态面内测量
DOI： --
发表时间： 2008
期刊： 光学 37
影响因子： --
作者： [F Yamashita, O Yamada, S Ohya, O Kobayashi, M Nakano, H Fukunaga, T. Yagai, 大山 裕基, 新井泰彦]
通讯作者： 新井泰彦
共 9 条
    Development of 3-D measurement method based on projection moire for micro structure using SEM
    • 批准号：
      21360121
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $7.57万
    • 财政年份：
      2009
    • 负责人：
      ARAI Yasuhiko
    • 依托单位：
      Kansai University
    Solubility enhancement in supercritical carbon dioxide by fluorination effect
    • 批准号：
      17360376
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $8.06万
    • 财政年份：
      2005
    • 负责人：
      ARAI Yasuhiko
    • 依托单位：
      KYUSHU UNIVERSITY
    Development of optical MEMS estimating system
    • 批准号：
      14550248
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $1.98万
    • 财政年份：
      2002
    • 负责人：
      ARAI Yasuhiko
    • 依托单位：
      Kansai University
    Anomalous Reaction Rate near the Critical Point
    • 批准号：
      08455358
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $4.54万
    • 财政年份：
      1996
    • 负责人：
      ARAI Yasuhiko
    • 依托单位：
      KYUSHU UNIVERSITY
    海外基金