Development of 3-D measurement method based on projection moire for micro structure using SEM

使用 SEM 开发基于投影莫尔条纹的微结构 3D 测量方法

• 批准号: 21360121
• 负责人: ARAI Yasuhiko
• 金额: $ 7.57万
• 依托单位: Kansai University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• 财政年份: 2009
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2009 至 2011
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-21360121/
• 关键词: SEM; MEMS; 縞解析; 三次元形状計測; 微細構造物計測; 高分解能

3-D measurement method by SEM has already been proposed by using the principle of shadow moire. In the method, the image of original grid in shadow moire image must be clearly removed in fringe analysis process in order to perform high resolution analysis. A new method based on the principle of projection moire is proposed to solve the trouble concerning the grid. In this study, the mechanism of producing some shadows of grid on the surface of the object by back scattering electron beam in the new method is discussed. Fringe image as shadow of grid is analyzed by Fringe scanning technology. 3-D precise measurement is realized by using the phenomenon of shadows of grid. Furthermore, a 3-D micro structure is measured. From comparison with results by AFM, it is confirmed that the proposed method has high-resolution power(about 20nm).

利用阴影莫尔原理，已经提出了扫描电镜三维测量方法。该方法在条纹分析过程中必须清晰地去除阴影莫尔图像中原始网格的图像，以便进行高分辨率分析。提出了一种基于投影莫尔原理的新方法，解决了网格问题。本文讨论了这种新方法中后向散射电子束在物体表面产生栅网阴影的机理。利用条纹扫描技术对光栅阴影的条纹图像进行了分析。利用网格阴影现象实现了三维精密测量。此外，测量了三维微结构。通过与原子力显微镜（AFM）测量结果的比较，证实了该方法具有较高的分辨率（约20nm）。

项目成果

High resolution speckle interferometr by replacing temporal information with spatial information

用空间信息代替时间信息的高分辨率散斑干涉仪

• 发表时间: 2011
• 作者: 吉野寛康;積際徹;横川隆一;Yasuhiko Arai
• 通讯作者: Yasuhiko Arai

2枚のスペックルパターンのみを用いた高分解能電子スペックル計測法

仅使用两个散斑图案的高分辨率电子散斑测量方法

• 发表时间: 2012
• 期刊: 光学
• 作者: 森脇健、村山嘉延;ら;新井泰彦
• 通讯作者: 新井泰彦

Speckle interferometry by using virtual speckle pattern based on Carre algorithm

基于Carre算法的虚拟散斑图案散斑干涉测量

• 发表时间: 2011
• 期刊: Journal of metrology society of India
• 作者: Yasuhiko Arai;他3名
• 通讯作者: 他3名

Carre アルゴリズムを基礎とするバーチャルスペックルパターンを用いた動的面外変形計測

基于Carre算法的虚拟散斑图案动态面外变形测量

• 发表时间: 2009
• 期刊: 光学 38
• 作者: Yamanami M;Yamamoto A;Iida H;Watanabe T;Kanda K;Yaku H;Nakayama Y;新井泰彦
• 通讯作者: 新井泰彦

Shadow moireを基礎としたSEMによる微小構造物の三次元形状計測法の開発-マクロモデルを用いた測定原理の開発-

基于阴影云纹的使用SEM的微结构三维形状测量方法的开发 - 使用宏观模型的测量原理的开发 -

• 发表时间: 2012
• 作者: 新井泰彦;他2名
• 通讯作者: 他2名