Study of Ultra Low Resistance Thin Film of SnO2for Next Generation Display
Study of Ultra Low Resistance Thin Film of SnO2for Next Generation Display
下一代显示器用超低电阻SnO2薄膜的研究
批准号：
19360145
负责人：
SATOH Ryohei
金额：
$12.06万
依托单位：
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
财政年份：
2007
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2007 至 2008
中文摘要
翻译
次世代ディスプレイ用SnO_2系超低抵抗導電膜作成技術の構築を目指し、SnO2-Ta-Nb系高密度(95%以上)焼結ターゲットを実現し、(110)面、(200)面が基板面に垂直な方向での配向によりSnの5S軌道の重なりを確保しやすくし移動度の向上を達成し、高温アニール(873K)膜として最も低い6.5×10-^5Ω・mを達成した。また、Ta,Nbドープにより、3J/cm^2での低エネルギー加工ができることを世界で初めて明らかにした。
英文摘要
次世代ディスプレイ用SnO_2系超低抵抗導電膜作成技術の構築を目指し、SnO2-Ta-Nb系高密度(95%以上)焼結ターゲットを実現し、(110)面、(200)面が基板面に垂直な方向での配向によりSnの5S軌道の重なりを確保しやすくし移動度の向上を達成し、高温アニール(873K)膜として最も低い6.5×10-^5Ω・mを達成した。また、Ta,Nbドープにより、3J/cm^2での低エネルギー加工ができることを世界で初めて明らかにした。
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会议论文
YAGレーザを用いたSnO_2系薄膜の高速加工とその加工メカニズムに関する研究
YAG激光高速加工SnO_2基薄膜及其加工机理研究
YAG激光高速加工SnO_2基薄膜及其加工机理研究
DOI：
--
发表时间：
2009
期刊：
溶接学会論文集 Vol.27
影响因子：
--
作者：
[臼井玲大、 佐藤了平, 他]
通讯作者：
他
YAGレーザを用いたSnO_2系薄膜バターンの高速加工とその加工メカニズムに関する研究
YAG激光高速加工SnO_2基薄膜图案及其加工机理研究
YAG激光高速加工SnO_2基薄膜图案及其加工机理研究
DOI：
--
发表时间：
2009
期刊：
溶接学会論文集 27
影响因子：
--
作者：
[臼井 玲大, 佐藤 了平, 他]
通讯作者：
他
Mechanism and Advanced Application of Rapid Laser Processing on Sno_2 Thin Films for FPD Manufacture
用于FPD制造的Sno_2薄膜快速激光加工机理及先进应用
用于FPD制造的Sno_2薄膜快速激光加工机理及先进应用
DOI：
--
发表时间：
2008
期刊：
Society forInformation Display 2008 International Symposium Digest of Technical Papers Vol.39
影响因子：
--
作者：
[Reo Usui, Yu Mihara, Eiji Morinaga, Yoshiharu Iwata, Ryohei Setoh]
通讯作者：
Ryohei Setoh
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