课题基金 / 基金详情

Deposition of diamond films at low substrate temperature using nanopulse plasma

Deposition of diamond films at low substrate temperature using nanopulse plasma
使用纳脉冲等离子体在低基底温度下沉积金刚石薄膜
批准号：
19360331
负责人：
OHTAKE Naoto
金额：
$11.56万
依托单位：
Nagoya University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
财政年份：
2007
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2007 至 2009
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-19360331/
关键词：
プラズマ加工ダイヤモンド薄膜トライボロジーナノパルス

项目摘要

项目成果

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中文摘要
翻译
低基板温度でダイヤモンド薄膜を合成する方法を開発した.パルス幅1μs未満のナノパルス電圧をフィラメント重畳させて,メタン+水素のプラズマからダイヤモンド膜合成を試みた結果,-5kV程度の高出力ナノパルスを援用することにより,フィラメント温度1500℃,基板温度はおよそ400℃でのダイヤモンドの合成に成功した.さらに,プラズマの発光の時間変化を計測し,フィラメントの低温化とともにパルス同士の相互作用が弱くなること,低温合成においては,ナノパルスによる結晶終端の水素引き抜き反応が結晶成長に大きな影響を与えていることを明らかにした.
英文摘要
低基板温度でダイヤモンド薄膜を合成する方法を開発した.パルス幅1μs未満のナノパルス電圧をフィラメント重畳させて,メタン+水素のプラズマからダイヤモンド膜合成を試みた結果,-5kV程度の高出力ナノパルスを援用することにより,フィラメント温度1500℃,基板温度はおよそ400℃でのダイヤモンドの合成に成功した.さらに,プラズマの発光の時間変化を計測し,フィラメントの低温化とともにパルス同士の相互作用が弱くなること,低温合成においては,ナノパルスによる結晶終端の水素引き抜き反応が結晶成長に大きな影響を与えていることを明らかにした.
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会议论文
ナノパルスプラズマと熱フィラメントを併用したダイヤモンド膜の合成
使用纳脉冲等离子体和热灯丝合成金刚石薄膜
DOI： --
发表时间： 2008
期刊： 第22回ダイヤモンドシンポジウム講演要旨集
影响因子： --
作者： [望月佳彦, 齊藤雅典, 会田敏之, 村上碩哉, 大竹尚登]
通讯作者： 大竹尚登
Preparation of DLC films at atmospheric pressure by nanopulse plasma CVD
常压纳脉冲等离子体CVD制备DLC薄膜
DOI： --
发表时间： 2007
期刊： Proc. 18th Int. Symp. Plasma Chemistry (CD-ROM)
影响因子： --
作者： [Naoto Ohtake, 近藤好正, T. Saito, Masanori Saito, T. Terazawa]
通讯作者： T. Terazawa
DLCの応用技術
DLC应用技术
DOI： --
发表时间： 2007
期刊：
影响因子： --
作者： [Masanori Saito, Takao Saito, Yoshimasa Kondo, Hiroya Murakami, Naoto Ohtake, N. Ohtake, 大竹尚登]
通讯作者： 大竹尚登
Effect of High-Voltage Positive Nano-Pulse Assist on the Hot-Filament CVD Diamond Growth
高压正纳米脉冲辅助对热丝CVD金刚石生长的影响
DOI： --
发表时间： 2008
期刊： Abstracts of Int. Conf. IUMRS-ICA2008
影响因子： --
作者： [Yoshihiko Mochiduki, Masanori Saito, T. Aida, Hiroya Murakami, Naoto Ohtake]
通讯作者： Naoto Ohtake
High performance microbial fuel cells utilizing nanocarbon as an electrode
  • 批准号：
    24656437
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
  • 资助金额：
    $2.5万
  • 财政年份：
    2012
  • 负责人：
    OHTAKE Naoto
  • 依托单位：
    Tokyo Institute of Technology
Fabrication of photovoltaic cells using amorphous carbon films
  • 批准号：
    22360302
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
  • 资助金额：
    $10.48万
  • 财政年份：
    2010
  • 负责人：
    OHTAKE Naoto
  • 依托单位：
    Tokyo Institute of Technology
Development of dry precision punting process utilizing rapid surface coating
  • 批准号：
    22656163
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
  • 资助金额：
    $2.22万
  • 财政年份：
    2010
  • 负责人：
    OHTAKE Naoto
  • 依托单位：
    Tokyo Institute of Technology
Mechanical and Electrical Properties of Injection Molded Polymer Matrix Carbon Nanotube Composites
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