Study of Carbon Micro Structures on MEMS Chip

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オンチップで実現するパイロポリマーMEMSに関して研究を行い、技術展開および応用可能性の実証について着実に成果をあげることができた。パイロポリマーMEMSのもつ利点 : 1) カーボン材料としての特徴、2) 複雑なマイクロ・ナノ微細構造の特徴、を活かすことを目的として研究を進め、特にナノ細線アレイ(線幅450nm、線中心間距離15nm)の電気化学電極としての応用研究を重点的に進めた。ナノ細線アレイの高いS/N特性を得るに至っている。三次元メッシュ構造の応用についても研究成果をあげている。チパイロポリマーのカーボン材料としての可能性を拡げる研究として、パイロポリマーのヒーター構造による局所加熱手法を提案し成果をあげた。チップ上の炭素化温度をこれまでの1000度以下から1700度程度の高温域に広げることに成功している。