Study of Carbon Micro Structures on MEMS Chip
MEMS芯片上碳微结构的研究
基本信息
- 批准号:19510133
- 负责人:
- 金额:$ 3万
- 依托单位:
- 依托单位国家:日本
- 项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- 财政年份:2007
- 资助国家:日本
- 起止时间:2007 至 2008
- 项目状态:已结题
- 来源:
- 关键词:
项目摘要
オンチップで実現するパイロポリマーMEMSに関して研究を行い、技術展開および応用可能性の実証について着実に成果をあげることができた。パイロポリマーMEMSのもつ利点 : 1) カーボン材料としての特徴、2) 複雑なマイクロ・ナノ微細構造の特徴、を活かすことを目的として研究を進め、特にナノ細線アレイ(線幅450nm、線中心間距離15nm)の電気化学電極としての応用研究を重点的に進めた。ナノ細線アレイの高いS/N特性を得るに至っている。三次元メッシュ構造の応用についても研究成果をあげている。チパイロポリマーのカーボン材料としての可能性を拡げる研究として、パイロポリマーのヒーター構造による局所加熱手法を提案し成果をあげた。チップ上の炭素化温度をこれまでの1000度以下から1700度程度の高温域に広げることに成功している。
オ ン チ ッ プ で be presently す る パ イ ロ ポ リ マ ー MEMS に masato し て research を い, technology お よ び 応 possibility with の card be に つ い て in be に results を あ げ る こ と が で き た. Youdaoplaceholder0 パ ロポリ ロポリ ロポリ ロポリ パ MEMS パ パ パ advantage: 1) カ ー ボ ン material と し て の 徴, 2) complex 雑 な マ イ ク ロ · ナ ノ fine-structure の 徴, live を か す こ と を purpose と し を て research into め, に ナ ノ thread ア レ イ (450 nm line width, line 15 nm) distance between the center of the の electric chemical electrode と 気 し て の 応 を with research focus of に into め た. The ナノ thin line アレ <s:1> has a high ナノ S/N characteristic を to るに to って る る る. The three-dimensional メッシュ construction 応 uses the research results of に て て て をあげて る る る. チ パ イ ロ ポ リ マ ー の カ ー ボ ン material と し て の possibility を company げ る research と し て, パ イ ロ ポ リ マ ー の ヒ ー タ ー tectonic に よ る bureau heating technique proposed を し results を あ げ た. チ ッ プ の on carbon transition temperature を こ れ ま で の below 1000 degrees か ら の 1700 degrees degree high temperature domain に hiroo げ る こ と に successful し て い る.
项目成果
期刊论文数量(0)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
局所自己発熱によるMEMSチップ上高温生成パイロポリマーに関する研究
MEMS芯片局部自加热高温产生热聚合物的研究
- DOI:
- 发表时间:2008
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:岡本貫二;中圭介;小西聡
- 通讯作者:小西聡
EHD Micro Pump using Pyrolyzed Polymer 3-D Carbon Mesh Electrodes
使用热解聚合物 3-D 碳网电极的 EHD 微型泵
- DOI:
- 发表时间:2009
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:D. Wakui;N. Imai;Y. Nagaura;H. Sato;T. Sekiguchi;S. Konishi;S. Shoji;T. Homma
- 通讯作者:T. Homma
Nano Stripe Electrode of Pyrolyzed Polymer for HighSignal-to-Noise Ratio Electrochemical Detector
用于高信噪比电化学检测器的热解聚合物纳米条电极
- DOI:
- 发表时间:2009
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:K. Naka;H. Hayashi;M. Senda;H. Shiraishi and S. Konishi,
- 通讯作者:H. Shiraishi and S. Konishi,
Local Self-Heating of Pyrolyzed Polymer Microstructure for Further Carbonization at Higher Temperature on Silicon Chip
硅片上热解聚合物微观结构的局部自加热在高温下进一步碳化
- DOI:
- 发表时间:2008
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:K. Naka;K.Okamoto;and S. Konishi
- 通讯作者:and S. Konishi
パイロポリマー製ナノ細線アレイによる高S/N比電気化学電極
使用热聚合物纳米线阵列的高信噪比电化学电极
- DOI:
- 发表时间:2007
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:中 圭介;林 宏樹;千田 貢;白石 晴樹;小西 聡
- 通讯作者:小西 聡
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