课题基金 / 基金详情

Research on shallow junction formation and isolation for Ge channel devices

Research on shallow junction formation and isolation for Ge channel devices
Ge沟道器件浅结形成与隔离研究
批准号：
19560344
负责人：
SHIBAHARA Kentaro
金额：
$2.83万
依托单位：
Hiroshima University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2007
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2007 至 2008
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-19560344/
关键词：
ゲルマニウムプレアモルファス化浅接合淺接合キセノンゲルマニュウム

项目摘要

项目成果

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中文摘要
翻译
Xe及びGeを用いたPAI(プレアモルファス化注入)をAs注入と併用し、Geの浅接合形成を行った。いずれの場合も、PAIの併用によりAs拡散を抑制することができたが、Asの活性化の悪化に伴うと思われるシート抵抗の上昇が見られた。Xeフラッシュランプを用いたミリ秒オーダの短パルスアニールを施すと、PAIを用いた場合は固相成長が大幅に遅くなることが見いだされた。一方、フラッシュランプによるミリ秒アニールは拡散抑制に有効であり、活性化も良好で、浅接合形成に適していた。
英文摘要
Xe及びGeを用いたPAI(プレアモルファス化注入)をAs注入と併用し、Geの浅接合形成を行った。いずれの場合も、PAIの併用によりAs拡散を抑制することができたが、Asの活性化の悪化に伴うと思われるシート抵抗の上昇が見られた。Xeフラッシュランプを用いたミリ秒オーダの短パルスアニールを施すと、PAIを用いた場合は固相成長が大幅に遅くなることが見いだされた。一方、フラッシュランプによるミリ秒アニールは拡散抑制に有効であり、活性化も良好で、浅接合形成に適していた。
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科研奖励(0)
会议论文
極淺接合形成のためのイオン注入によるGeアモルファス化プロセス
通过离子注入进行 Ge 非晶化工艺以形成极性结
DOI： --
发表时间： 2008
期刊：
影响因子： --
作者： [長田光生, 芝原健太郎]
通讯作者： 芝原健太郎
Anomalous Amorphization Resistance of Ge against (11)^B^+ Implantation
Ge对(11)^B^注入的反常非晶化抗性
DOI： --
发表时间： 2009
期刊：
影响因子： --
作者： [K. Shibahara, T. Eto and T. Fukunaga]
通讯作者： T. Eto and T. Fukunaga
Critical Amorphization Dose and Amorphization Mechanism for Ion Implantation into Germanium
锗离子注入的临界非晶化剂量和非晶化机理
DOI： --
发表时间： 2009
期刊：
影响因子： --
作者： [桑野、越本, 他(共著), K. Osada and K. Shibahara]
通讯作者： K. Osada and K. Shibahara
As, P, B注入によるGe基板のアモルファス化
As、P、B注入Ge衬底非晶化
DOI： --
发表时间： 2008
期刊：
影响因子： --
作者： [長田光生, 福永哲也, 芝原健太郎]
通讯作者： 芝原健太郎
共 8 条
    Evaluation of 2D Dopant Profile around source and drain of MOSFETs
    • 批准号：
      11650326
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $2.18万
    • 财政年份：
      1999
    • 负责人：
      SHIBAHARA Kentaro
    • 依托单位：
      Hiroshima University
    Investigation on Pileup of Arsenic and Antimony Ion-implanted into Silicon
    • 批准号：
      09650358
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $2.05万
    • 财政年份：
      1997
    • 负责人：
      SHIBAHARA Kentaro
    • 依托单位：
      HIROSHIMA UNIVERSITY