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Low-temperature deposition of crystalline metal oxide film under reactive field using supercritical fluid

Low-temperature deposition of crystalline metal oxide film under reactive field using supercritical fluid
超临界流体反应场低温沉积结晶金属氧化物薄膜
批准号：
19760222
负责人：
HIROSHI Uchida
金额：
$2.07万
依托单位：
Sophia University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
财政年份：
2007
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2007 至 2008
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-19760222/
关键词：
超臨界流体薄膜酸化物二酸化炭素半導体デバイスシリコンウェハー有機金属化合物金属板

项目摘要

项目成果

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超臨界流体応用の技術を利用し、従来の手法よりも低温での無機材料薄膜合成プロセスの構築を検討した。超臨界二酸化炭素(CO2)流体中においてSi ウェハ、Pt, Cu, Al、SUS、ナイロン系高分子等の基板物質は約200℃程度まで変質せず安定に存在した。一方、有機金属化合物Ti(O・i-C3H7)2(C11H19O2)2等のβ-ジケトン錯体は約100℃付近から分解を開始し、薄膜状の結晶質酸化チタンTiO2(anatase)堆積物を形成した。
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会议论文
Low-TemperatureProcessing of Sol-Gel Derived Metal OxideThin Films using Supercritical Carbon Dioxide Fluid
使用超临界二氧化碳流体低温加工溶胶-凝胶衍生的金属氧化物薄膜
DOI： --
发表时间：
期刊： Meter. Res. Soc. Proc 1113E(in press)
影响因子： --
作者： [Hiroshi UCHIDA, Kaori FUJIOKA andSeiichiro KODA]
通讯作者： Kaori FUJIOKA andSeiichiro KODA
Low- Temperature Processing of Sol- Gel Derived Metal Oxide Thin Films using Supercritical Carbon Dioxide Fluid
使用超临界二氧化碳流体低温处理溶胶-凝胶衍生的金属氧化物薄膜
DOI： --
发表时间： 2008
期刊：
影响因子： --
作者： [Hiroshi UCHIDA, et.al.]
通讯作者： et.al.
Low-Temperature Processing of Sol-Gel Derived Metal Oxide Thin Films using Supercritical Carbon Dioxide Fluid
使用超临界二氧化碳流体低温加工溶胶-凝胶衍生的金属氧化物薄膜
DOI： --
发表时间： 2008
期刊：
影响因子： --
作者： [Hiroshi UCHIDA, Kaori FUJIOKA and Seiichiro KODA]
通讯作者： Kaori FUJIOKA and Seiichiro KODA
超臨界二酸化炭素流体中における有機金属化合物の分解および酸化物薄膜の堆積
超临界二氧化碳流体中有机金属化合物的分解和氧化物薄膜的沉积
DOI： --
发表时间： 2007
期刊：
影响因子： --
作者： [内田寛, 加納富由樹, 助川太一, 由井和子, 幸田清一郎]
通讯作者： 幸田清一郎
Analytical research on decomposition behavior of metal-organic compounds in supercritical fluids and its application for film-deposition process
  • 批准号：
    24760602
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
  • 资助金额：
    $2.5万
  • 财政年份：
    2012
  • 负责人：
    HIROSHI Uchida
  • 依托单位：
    Sophia University
国内基金
海外基金
CsₓWO₃/CeO₂异质结的构建及其自修复透明隔热薄膜研究
  • 批准号：
    2026JJ50456
  • 项目类别：
    省市级项目
  • 资助金额：
    --
  • 批准年份：
    2026
  • 负责人：
    谭彦妮
  • 依托单位：
    中南大学
高性能抗氧化BOPP薄膜加工关键技术研究
  • 批准号：
  • 项目类别：
    省市级项目
  • 资助金额：
    --
  • 批准年份：
    2026
  • 负责人：
    王晓丽
  • 依托单位：
    江苏海洋大学
汽车后视镜用高耐腐蚀银合金薄膜材料开发
  • 批准号：
  • 项目类别：
    省市级项目
  • 资助金额：
    --
  • 批准年份：
    2026
  • 负责人：
    林改
  • 依托单位：
    江苏城乡建设职业学院
基于稀疏天线阵列的薄膜铌酸锂光学相控阵
  • 批准号：
    JCZRMS202600414
  • 项目类别：
    省市级项目
  • 资助金额：
    --
  • 批准年份：
    2026
  • 负责人：
  • 依托单位：
    中国地质大学（武汉）