Realization of transparent conducting TiO_2-based polycrystalline films

TiO_2基透明导电多晶薄膜的实现

• 批准号: 19760475
• 负责人: YAMADA Naoomi
• 金额: $ 2.37万
• 依托单位: Kanagawa Academy of Science and Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
• 财政年份: 2007
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2007 至 2008
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-19760475/
• 关键词: 薄膜プロセス; 二酸化チタン; 透明導電体; スパッタリング; シード層; アナターゼ; 多結晶薄膜; アモルファス; 結晶化; 透明導電膜; 2段階成膜

スパッタ法を用いて作製した、NbドープTiO_2多結晶薄膜で透明導電性を実現させることに取り組んだ。H19年度は、アモルファス薄膜をアニールで結晶化させることによって、高い導電性が得られることを示した。実用的な透明導電体に要求される抵抗率(ρ=5×10^<-4>Ωcm)に迫るρ=6.5×10^<-4>Ωcmを得ることに成功した。H21年度は、アニールを省略し、直接ガラス上に形成した多結晶薄膜で透明導電性を発現させることに取り組んだ。「セルフシード層法」という手法を開発し、ρ=1.1×10^<-3>Ωcmを得ることができた。本研究により、TiO_2系透明導電体の実用を視野に入れてもよい状況になってきた。

を ス パ ッ タ method with い て cropping し た, Nb ド ー プ TiO_2 crystal film で more transparent conductive を be presently さ せ る こ と に group take り ん だ. H19 annual は, ア モ ル フ ァ ス film を ア ニ ー ル で crystallization さ せ る こ と に よ っ て, high い conductive が ら れ る こ と を shown し た. Be with な transparent conductive に requirements さ れ る resistance (rho = 5 x 10 ^ < - > 4 Ω cm) forced に る rho = 6.5 * 10 ^ < - > 4 Ω cm を must る こ と に successful し た. H21 annual は, ア ニ ー ル を omit し, direct ガ ラ ス に formed on し た crystal film で more transparent conductive を 発 now さ せ る こ と に group take り ん だ. "セ ル フ シ ー ド layer method" と い う gimmick を open 発 し, rho = 1.1 * 10 ^ < - > 3 cm を Ω have る こ と が で き た. In this study, the <s:1> practical を field of view に of TiO_2 transparent conductors is used to investigate the れて よ よ よ た and になって た た.

项目成果

Low-temperature Fabrication of Transparent Conducting Anatase Nb-doped TiO_2 Films by Sputtering

低温溅射法制备锐钛矿型铌掺杂TiO_2透明导电薄膜

• 发表时间: 2008
• 期刊: Appl. Phys. Express 1
• 作者: N. L. H. Hoang;N. Yamada;T. Hitosugi;J. Kasai;S. Nakao;T. Shimada;and T. Hasegawa
• 通讯作者: and T. Hasegawa

Niobium-doped Anatase Titanium Oxide Transparent Conducting Films

铌掺杂锐钛矿型二氧化钛透明导电薄膜

• 发表时间: 2007
• 作者: N. Yamada;N. L. H. Hoang;J. Kasai;T. Hitosugi;T. Shimada;and T. Hasegawa
• 通讯作者: and T. Hasegawa

アナターゼ型TiO_2系透明導電体の透明導電メカニズム

锐钛矿型TiO_2基透明导体的透明导电机理

• 发表时间: 2007
• 作者: 一杉 太郎;神坂 英幸;山下 晃一;近松 彰;組頭 広志;尾嶋 正治;能川 玄之;鶴浜 哲一;ホァンゴクランフン;中尾 祥一郎;古林 寛;笠井 淳平;広瀬 靖;山田 直臣;島田 敏宏;長谷川 哲也
• 通讯作者: 長谷川 哲也

Transport properties of d-electron-based transparent conducting oxide:: Anatase Ti1-xNbxO2

• DOI: 10.1063/1.2721748
• 发表时间: 2007-05-01
• 期刊: JOURNAL OF APPLIED PHYSICS
• 影响因子: 3.2
• 作者: Furubayashi, Yutaka;Yamada, Naoomi;Hasegawa, Tetsuya
• 通讯作者: Hasegawa, Tetsuya

Transparent conductive Ti_<1-x>NbxO_2 polycrystalline films on glass substrates fabricated via crystallization of amorphous phase

非晶相晶化玻璃基板上透明导电Ti_<1-x>NbxO_2多晶薄膜

• 发表时间: 2007
• 作者: T. Hitosugi;A. Ueda;S. Nakao;N. Yamada;Y. Furubayashi;Y. Hirose;T. Shimada and T. Hasegawa
• 通讯作者: T. Shimada and T. Hasegawa