FABMAS - ein System zur Steuerung des Waferfertigungsprozesses auf der Grundlage autonomer und kooperativer Softwareagenten

FABMAS - 基于自主和协作软件代理的晶圆制造过程控制系统

基本信息

项目摘要

In den letzten Jahren wurden Produktionsfortschritte in der Halbleiterindustrie hauptsächlich durch eine Vergrößerung der Wafer (Silizium-Scheiben zur Aufnahme der Chips), durch eine Verkleinerung der Chipgröße sowie durch eine verbesserte Beherrschung der technologischen Prozesse erreicht. Das Verbesserungspotential dieser Faktoren ist weitestgehend erschöpft, Produktionsfortschritte werden heute überwiegend durch eine Verbesserung der operationalen und logistischen Abläufe innerhalb der Halbleiterfabriken und des zur Herstellung von integrierten Schaltkreisen notwendigen weltweiten Produktionsnetzwerkes erwartet. Bei der Konzeption und Realisierung von neuartigen operationalen und logistischen Verfahren für die Waferfertigung müssen die erweiterten software- und hardwaretechnischen Möglichkeiten berücksichtigt werden. Techniken der Verteilten Künstlichen Intelligenz (VKI) und hier insbesondere der Multi-Agenten-Systeme bieten Ansätze, um dezentralisierte Softwaresysteme ("Agenten") zur Lösung übergeordneter Aufgabenstellungen flexibel zusammenarbeiten zu lassen. Das führt zu der Frage, welche Steuerungsfähigkeiten durch die Zusammenarbeit verteilt arbeitender Agenten insgesamt erzielt werden können. Weiterhin ist es von Interesse, ob derartige dezentrale Systeme, ausgestattet mit kooperativen Fähigkeiten, herkömmlichen Systemen überlegen sind. Vor diesem Hintergrund bestehen die Ziele des Vorhabens darin, (1) eine Methodik, die eine formale Modellierung und Beschreibung von Multi-Agenten-Systemen zum Bau von Fertigungssteuerungssystemen (für die Waferfertigung) gestattet, zu entwickeln, (2) Verfahren, die ein Zusammenwirken von Agenten auf unterschiedlichen Hierarchieebenen ermöglichen, zu entwickeln und zu evaluieren, (3) ein Konzept für eine Koordinationssprache für Fertigungssteuerungsprobleme (der Waferfertigung) zu entwerfen, (4) durch die Entwicklung von Fuzzy-Regelsystemen Möglichkeiten zu schaffen, um situationsabhängige Entscheidungen treffen zu können, (5) die Ergebnisse durch Implementierung einer Steuerungsanwendung (Waferfertigung) zu überprüfen.
在过去的几年里,半导体工业的主要产品是通过晶圆(硅芯片)的生产来实现的,通过芯片的生产来实现技术进步。Das Verbesserungspotential dieser Faktoren ist weitestgethend erschöpft,Produktionsfortschritte韦尔登heute überwiegend durch eine Verbesserung der operationalen and logistischen schuufe innerhalb der Halbleiterfabriken and des zur Herstellung von integrierten Schaltkreisen notwendigen Weltweiten Produktionsnetzwerkes erwartet. Bei der Konzeption und Realisierung von neuartigen operationalen und logistischen Verfahren für die Waferfertigung müssen die erweiterten software- und hardwaretechnischen Möglichkeiten berücksichtigt韦尔登. Verteilten Künstlichen Intelligenz(VKI)技术和多任务系统的并行响应,是一种集中式软件系统(“任务”),可灵活地进行任务分配。Das führt zu der Frage,welche Steuerungsfähigkeiten durch die Zusammenarbeit vertiilt arbeitender incidenten insgesamt erzielt韦尔登können. Weiterhin ist es von Interesse,ob derartige fundentrale Systeme,ausgestattet mit kooperativen Fähigkeiten,herkömmlichen Systemen überlegen sind.本文的主要内容如下:(1)多学科体系的数学方法、数学模型和数学模型(2)Verfahren,die Zusammenetken von Berten auf unteriedlichen Hierarchieebenen ermöglichen,zu entwickeln und zu evaluieren,(3)ein Konzept für eine Coordinationssprache für Fertigungssteuerungsprobleme(4)通过对模糊规则系统的开发,在实际应用中,(5)通过实施一个控制程序(Waferfertigung)来提高工作效率。

项目成果

期刊论文数量(0)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)

数据更新时间:{{ journalArticles.updateTime }}

{{ item.title }}
{{ item.translation_title }}
  • DOI:
    {{ item.doi }}
  • 发表时间:
    {{ item.publish_year }}
  • 期刊:
  • 影响因子:
    {{ item.factor }}
  • 作者:
    {{ item.authors }}
  • 通讯作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ journalArticles.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ monograph.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ sciAawards.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ conferencePapers.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ patent.updateTime }}

Professor Dr.-Ing. Peter Gmilkowsky (†)其他文献

Professor Dr.-Ing. Peter Gmilkowsky (†)的其他文献

{{ item.title }}
{{ item.translation_title }}
  • DOI:
    {{ item.doi }}
  • 发表时间:
    {{ item.publish_year }}
  • 期刊:
  • 影响因子:
    {{ item.factor }}
  • 作者:
    {{ item.authors }}
  • 通讯作者:
    {{ item.author }}

相似国自然基金

三叶青EIN3/EILs家族基因的成员鉴定及对冷胁迫的调控功能研究
  • 批准号:
    HZQN25C130003
  • 批准年份:
    2025
  • 资助金额:
    0.0 万元
  • 项目类别:
    省市级项目
转录调节因子ADA2b调控EIN3转录活性的分子机制研究
  • 批准号:
    32300275
  • 批准年份:
    2023
  • 资助金额:
    30 万元
  • 项目类别:
    青年科学基金项目
水稻中葡萄糖-TOR-EIN2信号转导的生物学功能研究
  • 批准号:
  • 批准年份:
    2022
  • 资助金额:
    30 万元
  • 项目类别:
    青年科学基金项目
CBL1/9-CIPK5-EIN3模块协同钙和乙烯信号调控下胚轴伸长和出土生长的分子机制研究
  • 批准号:
  • 批准年份:
    2022
  • 资助金额:
    54 万元
  • 项目类别:
    面上项目
长春花EIN3/EIL和bHLH转录因子互作介导乙烯和茉莉酸信号调控萜类吲哚生物碱合成的分子机理
  • 批准号:
    22ZR1431800
  • 批准年份:
    2022
  • 资助金额:
    0.0 万元
  • 项目类别:
    省市级项目
乙烯信号转导路径中正调节因子EIN2和EILs基因联合编辑促进大豆早花和改善结荚习性的机制
  • 批准号:
  • 批准年份:
    2021
  • 资助金额:
    58 万元
  • 项目类别:
    面上项目
NPR1与EIN3拮抗介导高温诱导叶片衰老褪绿的分子机理研究
  • 批准号:
  • 批准年份:
    2020
  • 资助金额:
    58 万元
  • 项目类别:
    面上项目
拟南芥EIN3/EIL1与FLD互作介导乙烯推迟开花的分子机制
  • 批准号:
    31970534
  • 批准年份:
    2019
  • 资助金额:
    58.0 万元
  • 项目类别:
    面上项目
黄瓜CsEIN2响应苗期低温胁迫的机制研究
  • 批准号:
    31902028
  • 批准年份:
    2019
  • 资助金额:
    25.0 万元
  • 项目类别:
    青年科学基金项目
EIN3互作蛋白EII6调控拟南芥叶片衰老启动的分子机理
  • 批准号:
    31970303
  • 批准年份:
    2019
  • 资助金额:
    58.0 万元
  • 项目类别:
    面上项目

相似海外基金

Miniaturisierte Endeffektoren mit integrierter Sensorik und Haptik für ein Single Port-System für die minimal invasive Chirurgie
具有集成传感器和触觉的微型末端执行器,适用于微创手术的单端口系统
  • 批准号:
    180323388
  • 财政年份:
    2011
  • 资助金额:
    --
  • 项目类别:
    Research Units
Ein modulares System optisch-aktiver Bisphospholan-Liganden
光学活性双磷烷配体的模块化系统
  • 批准号:
    27645824
  • 财政年份:
    2006
  • 资助金额:
    --
  • 项目类别:
    Research Grants
CoCoNUT: Ein Software-System zum multiplen Genomvergleich
CoCoNUT:多基因组比较软件系统
  • 批准号:
    16627878
  • 财政年份:
    2005
  • 资助金额:
    --
  • 项目类别:
    Research Grants
Integration von Kontextinformationen neuronaler Produktionsregelung in ein Case-based Reasoning System
将神经生产控制的上下文信息集成到基于案例的推理系统中
  • 批准号:
    5412997
  • 财政年份:
    2004
  • 资助金额:
    --
  • 项目类别:
    Research Grants
Franz Kafkas Oktavhefte. Ein Schreibprozess als "System des Teilbaues"
弗朗茨·卡夫卡的八度书。
  • 批准号:
    5386754
  • 财政年份:
    2002
  • 资助金额:
    --
  • 项目类别:
    Publication Grants
Integration von Lotsenstrategien in ein Medium Term Conflict Resolution System
将试点战略纳入中期冲突解决系统
  • 批准号:
    5380118
  • 财政年份:
    2002
  • 资助金额:
    --
  • 项目类别:
    Research Grants
Integration molekularer und physiologischer Aspekte der Blattseneszenz in ein "Virtual Crop Modelling System" (VCMS)
将叶子衰老的分子和生理方面整合到“虚拟作物建模系统”(VCMS)中
  • 批准号:
    5366169
  • 财政年份:
    2002
  • 资助金额:
    --
  • 项目类别:
    Research Units
Sr-Pb-Nd-O isotopengeochemische Untersuchungen von submarinen Tephralagen und Laven aus dem Izu-Bonin arc/backarc-System - ein Beitrag zur geochemischen, petrologischen und vulkanischen Entwicklung des miozänen bis quartären Izu-Bonin-arc backarc-Systems
对伊豆-小笠笠弧/弧后系统的海底火山灰层和熔岩进行 Sr-Pb-Nd-O 同位素地球化学研究——对中新世至第四纪伊豆-小笠宁弧后系统的地球化学、岩石学和火山发育的贡献
  • 批准号:
    5391703
  • 财政年份:
    1997
  • 资助金额:
    --
  • 项目类别:
    Infrastructure Priority Programmes
Ein eingebettetes System zum sakkadischen maschinellen Sehen
用于扫视计算机视觉的嵌入式系统
  • 批准号:
    5371455
  • 财政年份:
    1997
  • 资助金额:
    --
  • 项目类别:
    Priority Programmes
Ein System zur Charakterisierung von Transportschritten durch das perizentrioläre Recycling Endosom
用于表征通过中心粒周围回收内体的运输步骤的系统
  • 批准号:
    5083052
  • 财政年份:
    1997
  • 资助金额:
    --
  • 项目类别:
    Priority Programmes
{{ showInfoDetail.title }}

作者:{{ showInfoDetail.author }}

知道了