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Development of a sub-nano positioning system with long stroke by minimizing error factors of the system

Development of a sub-nano positioning system with long stroke by minimizing error factors of the system
通过最小化系统误差因素开发长行程亚纳米定位系统
批准号：
20686011
负责人：
YOSHIOKA Hayato
金额：
$16.22万
依托单位：
Tokyo Institute of Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (A)
财政年份：
2008
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2008 至 2009
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-20686011/
关键词：
位置決め超精密レーザ干渉計リニアモータサブナノメートルレーザ計測誤差要因熱変形抑制

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In this study, to realize a sub-nano positioning system with a long stroke the ideal structure of the positioning system was investigated. All components of the positioning system were designed and determined to eliminate their error factors. Actual experimental results confirmed that the newly developed positioning table system has a sub-nano meter positioning resolution in a wide travel range.
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A Newly Developed X-Y Planar Nano-Motion Table System with Large Travel Ranges
DOI： 10.1299/jamdsm.4.976
发表时间： 2010
期刊： Journal of Advanced Mechanical Design Systems and Manufacturing
影响因子： 0.9
作者： [Y. Kurisaki;H. Sawano;Hayato Yoshioka;H. Shinno]
通讯作者： Y. Kurisaki;H. Sawano;Hayato Yoshioka;H. Shinno
A Newly Developed Long Stroke Vertical Nano-Motion Platform with Gravity Compensation
新开发的长行程重力补偿垂直纳米运动平台
DOI： --
发表时间： 2008
期刊： Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing Vol.2
影响因子： --
作者： [M. Takahashi, H. Yoshioka, H. Shinno]
通讯作者： H. Shinno
超精密加工機「ANGEL」の特徴と今後の展開
超精密加工机“ANGEL”的特点及未来发展
DOI： --
发表时间： 2009
期刊： 型技術 Vol.24
影响因子： --
作者： [吉岡勇人, 新野秀憲]
通讯作者： 新野秀憲
Ultraprecision Machining System for Fabricating Nano-Devices, (poster session)
用于制造纳米器件的超精密加工系统（海报会议）
DOI： --
发表时间： 2009
期刊：
影响因子： --
作者： [Takahashi, M., Yoshioka, H., Shinno, H.]
通讯作者： H.
共 7 条
    Development of fast tool servo system for milling process
    • 批准号：
      24360052
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $11.48万
    • 财政年份：
      2012
    • 负责人：
      YOSHIOKA Hayato
    • 依托单位：
      Tokyo Institute of Technology
    Direct monitoring of contact condition between tool and workpiecein ultraprecision cutting using evanescent light
    • 批准号：
      23656098
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
    • 资助金额：
      $2.5万
    • 财政年份：
      2011
    • 负责人：
      YOSHIOKA Hayato
    • 依托单位：
      Tokyo Institute of Technology
    Hybrid actuator-driven ultraprecision 2-DOF rotary table system
    • 批准号：
      22686016
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Young Scientists (A)
    • 资助金额：
      $16.31万
    • 财政年份：
      2010
    • 负责人：
      YOSHIOKA Hayato
    • 依托单位：
      Tokyo Institute of Technology
    国内基金
    海外基金
    硬脆基准级齿轮渐开线样板超精密磨削关键技术及基础研究
    • 批准号：
      2026JJ30107
    • 项目类别：
      省市级项目
    • 资助金额：
      --
    • 批准年份：
      2026
    • 负责人：
      张晓红
    • 依托单位：
      湖南理工学院
    基于磁粒研磨的超精密加工技术及其工艺开发
    • 批准号：
    • 项目类别：
      省市级项目
    • 资助金额：
      --
    • 批准年份：
      2026
    • 负责人：
      陈晓明
    • 依托单位：
      江苏海事职业技术学院
    长寿命超精密微型轴承关键技术及产业化
    超精密微纳制造及应用
    • 批准号：
      2026JJ10003
    • 项目类别：
      省市级项目
    • 资助金额：
      --
    • 批准年份：
      2026
    • 负责人：
      段辉高
    • 依托单位：
      湖南大学