Development of a sub-nano positioning system with long stroke by minimizing error factors of the system

通过最小化系统误差因素开发长行程亚纳米定位系统

• 批准号: 20686011
• 负责人: YOSHIOKA Hayato
• 金额: $ 16.22万
• 依托单位: Tokyo Institute of Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Young Scientists (A)
• 财政年份: 2008
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2008 至 2009
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-20686011/
• 关键词: 位置決め; 超精密; レーザ干渉計; リニアモータ; サブナノメートル; レーザ計測; 誤差要因; 熱変形抑制

In this study, to realize a sub-nano positioning system with a long stroke the ideal structure of the positioning system was investigated. All components of the positioning system were designed and determined to eliminate their error factors. Actual experimental results confirmed that the newly developed positioning table system has a sub-nano meter positioning resolution in a wide travel range.

为了实现长行程的亚纳米定位系统，对定位系统的理想结构进行了研究。设计并确定了定位系统的各个组成部分，消除了它们的误差因素。实际实验结果证明，新研制的定位平台系统在大行程范围内具有亚纳米级的定位分辨率。

项目成果

A Newly Developed X-Y Planar Nano-Motion Table System with Large Travel Ranges

• DOI: 10.1299/jamdsm.4.976
• 发表时间: 2010
• 期刊: Journal of Advanced Mechanical Design Systems and Manufacturing
• 影响因子: 0.9
• 作者: Y. Kurisaki;H. Sawano;Hayato Yoshioka;H. Shinno

Ultraprecision Machining System for Fabricating Nano-Devices, (poster session)

用于制造纳米器件的超精密加工系统（海报会议）

• 发表时间: 2009
• 作者: Takahashi;M.;Yoshioka;H.;Shinno;H.
• 通讯作者: H.

超精密加工機「ANGEL」の特徴と今後の展開

超精密加工机“ANGEL”的特点及未来发展

• 发表时间: 2009
• 期刊: 型技術 Vol.24
• 作者: 吉岡勇人;新野秀憲
• 通讯作者: 新野秀憲

A Newly Developed Long Stroke Vertical Nano-Motion Platform with Gravity Compensation

新开发的长行程重力补偿垂直纳米运动平台

• 发表时间: 2008
• 期刊: Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing Vol.2
• 作者: M. Takahashi;H. Yoshioka;H. Shinno
• 通讯作者: H. Shinno

A Newly Developed Long-Stroke Vertical Nano-Motion Platform with Gravity Compensator, Journal of Advanced Mechanical Design

新开发的带重力补偿器的长行程垂直纳米运动平台，《先进机械设计》杂志

• 发表时间: 2008
• 期刊: Systems, and Manufacturing Vol.2,No.3
• 作者: Takahashi;M.;Yoshioka;H.;Shinno;H.
• 通讯作者: H.