DEVELOPMENT OF MATHEMATICAL OPTIMIZATION IN NANO-MICRO ENGINEERING

纳微米工程数学优化的发展

• 批准号: 20710112
• 负责人: MIYASHIRO Ryuhei
• 金额: $ 2.66万
• 依托单位: Tokyo University of Agriculture and Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
• 财政年份: 2008
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2008 至 2010
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-20710112/
• 关键词: OR; 数理工学; 精密工学; 最適化; アルゴリズム; 数理計画; 組合せ最適化; マイクロエンジニアリング

In nano-micro engineering, observation and implementation errors strongly affects production process. With traditional optimization methods, it is difficult to obtain true optimum solutions due to such errors. In this study, we developed several optimization algorithms avoiding numerical difficulties. The obtained results are robust against observation and implementation errors, and are highly effective in practice.

在纳微工程中，观察和实施误差强烈影响生产过程。传统的优化方法由于存在这些误差，很难得到真正的最优解。在这项研究中，我们开发了几种优化算法，避免数值困难。所得到的结果是强大的对观察和实施错误，并在实践中是非常有效的。

项目成果

加法的実装誤差の不連続性を考慮したレンズ間隔調整のロバスト最適化

考虑附加安装误差的不连续性的透镜间距调整的鲁棒优化

• 发表时间: 2010
• 作者: Shinji Imahori;Tomomi Matsui;Ryuhei Miyashiro;Tomomi Matsui;宮代隆平;宮代隆平
• 通讯作者: 宮代隆平

混合整数計画法とその適用事例

混合整数规划及其应用实例

• 发表时间: 2008
• 作者: Daisuke Yamaguchi;Shinji Imahori;Ryuhei Miyashiro;Tomomi Matsui;Daisuke Yamaguchi;宮代隆平
• 通讯作者: 宮代隆平

制約2次計画法および2次錐計画法を用いた半導体露光装置用レンズの最適調整

利用约束二次规划和二次锥规划对半导体光刻设备透镜进行优化调整

• 发表时间: 2009
• 期刊: 日本機械学会論文集C編 75巻
• 作者: 品野勇治;吉原俊幸;宮代隆平;深川容三
• 通讯作者: 深川容三

交通ネットワークデザイン問題におけるBPR関数の近似について

关于交通网络设计问题中BPR函数的逼近

• 发表时间: 2011
• 作者: Ryuhei Miyashiro;Shinji Imahori;Tomomi Matsui;宮代隆平
• 通讯作者: 宮代隆平

Optimization of lens adjustment in semiconductor lithography equipment using quadratically constrained and second- order cone programming

使用二次约束和二阶锥编程优化半导体光刻设备中的透镜调整

• 发表时间: 2010
• 期刊: Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing Vol.4
• 作者: 山口大輔;今掘慎治;宮代隆平;松井知己;Yuji Shinano,Toshiyuki Yoshihara,Ryuhei Miyashiro,Youzou Fukagawa
• 通讯作者: Yuji Shinano,Toshiyuki Yoshihara,Ryuhei Miyashiro,Youzou Fukagawa