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Development of a plasma diagnostic tool with Terahertz time-domain spectroscopy (THz-TDS)

Development of a plasma diagnostic tool with Terahertz time-domain spectroscopy (THz-TDS)
开发太赫兹时域光谱 (THz-TDS) 等离子体诊断工具
批准号：
20740322
负责人：
ANDO Ayumi
金额：
$1.5万
依托单位：
Osaka University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
财政年份：
2008
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2008 至 2009
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-20740322/
关键词：
プラズマ計測反応性プラズマラジカルプラズマ診断大気圧プラズマテラヘルツ時間領域分光法THz時間領域分光法

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A new plasma diagnostic tool of terahertz time-domain spectroscopy (THz-TDS) has been developed in this project. The experimental results have been demonstrated that THz-TDS may be used for electron density measurements of the steady-state discharges generated by inductively coupled plasma or capacitively coupled plasma systems. The electron density estimated by THz-TDS agrees well with that estimated by a Langmuir probe for inductively coupled argon plasma.
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テラヘルツ時間領域分光法による容量結合型放電プラズマの診断
使用太赫兹时域光谱诊断电容耦合放电等离子体
DOI： --
发表时间： 2009
期刊：
影响因子： --
作者： [安藤あゆみ, 北原英明, 北野勝久, 高野恵介, 谷正彦, 萩行正憲, 浜口智志]
通讯作者： 浜口智志
Terahertz time domain spectroscopy for the atmospheric pressure plasmas
大气压等离子体的太赫兹时域光谱
DOI： --
发表时间： 2009
期刊：
影响因子： --
作者： [K.Takahashi, C.Charles, R.Boswell, M.A.Lieberman, R.Hatakeyama, 北原英明]
通讯作者： 北原英明
テラヘルツ時間領域分光法による容量結合型反応性プラズマ診断
使用太赫兹时域光谱进行电容耦合反应等离子体诊断
DOI： --
发表时间： 2009
期刊：
影响因子： --
作者： [Marumo, K., Urabe, T., Goto, A., Takano, Y., Nakasheama, M., 安藤あゆみ]
通讯作者： 安藤あゆみ
Estimation of electron densities of plasmas by terahertz time-domain spectroscopy
通过太赫兹时域光谱估计等离子体的电子密度
DOI： --
发表时间： 2008
期刊：
影响因子： --
作者： [K., Kitano・T., Kurose・A., Ando・H., Kitahara・K., Takano・M., Tani・M., Hangyo・S., Hamaguchi]
通讯作者： Hamaguchi
共 8 条
    Development of the techniques for the protein patterning by atmospheric pressure plasmas
    • 批准号：
      22740365
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
    • 资助金额：
      $2.08万
    • 财政年份：
      2010
    • 负责人：
      ANDO Ayumi
    • 依托单位：
      Osaka University
    海外基金