Development of a plasma diagnostic tool with Terahertz time-domain spectroscopy (THz-TDS)

开发太赫兹时域光谱 (THz-TDS) 等离子体诊断工具

• 批准号: 20740322
• 负责人: ANDO Ayumi
• 金额: $ 1.5万
• 依托单位: Osaka University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
• 财政年份: 2008
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2008 至 2009
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-20740322/
• 关键词: プラズマ計測; 反応性プラズマ; ラジカル; プラズマ診断; 大気圧プラズマ; テラヘルツ時間領域分光法; THz時間領域分光法

A new plasma diagnostic tool of terahertz time-domain spectroscopy (THz-TDS) has been developed in this project. The experimental results have been demonstrated that THz-TDS may be used for electron density measurements of the steady-state discharges generated by inductively coupled plasma or capacitively coupled plasma systems. The electron density estimated by THz-TDS agrees well with that estimated by a Langmuir probe for inductively coupled argon plasma.

本项目研制了一种新的太赫兹时域光谱等离子体诊断工具。实验结果表明，THz-TDS可用于电感耦合等离子体或电容耦合等离子体系统稳态放电的电子密度测量。太赫兹TDS估计的电子密度与电感耦合氩等离子体的朗缪尔探针估计的一致。

项目成果

テラヘルツ時間領域分光法による容量結合型放電プラズマの診断

使用太赫兹时域光谱诊断电容耦合放电等离子体

• 发表时间: 2009
• 作者: 安藤あゆみ;北原英明;北野勝久;高野恵介;谷正彦;萩行正憲;浜口智志
• 通讯作者: 浜口智志

Terahertz time domain spectroscopy for the atmospheric pressure plasmas

大气压等离子体的太赫兹时域光谱

• 发表时间: 2009
• 作者: K.Takahashi;C.Charles;R.Boswell;M.A.Lieberman;R.Hatakeyama;北原英明
• 通讯作者: 北原英明

テラヘルツ時間領域分光法による容量結合型反応性プラズマ診断

使用太赫兹时域光谱进行电容耦合反应等离子体诊断

• 发表时间: 2009
• 作者: Marumo;K.;Urabe;T.;Goto;A.;Takano;Y.;Nakasheama;M.;安藤あゆみ
• 通讯作者: 安藤あゆみ

Estimation of electron densities of plasmas by terahertz time-domain spectroscopy

通过太赫兹时域光谱估计等离子体的电子密度

• 发表时间: 2008
• 作者: K.;Kitano・T.;Kurose・A.;Ando・H.;Kitahara・K.;Takano・M.;Tani・M.;Hangyo・S.;Hamaguchi
• 通讯作者: Hamaguchi

Diagnosis of Atmospheric Pressure Plasmas by using Terahertz Time-Domain Spectroscopy

利用太赫兹时域光谱诊断大气压等离子体

• 发表时间: 2010
• 作者: 大嶋 孝志 ; 真島 和志 他 7名;川上隆輝;吉朝 朗;Hideaki Kitahara
• 通讯作者: Hideaki Kitahara