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Analyses of chemical reaction producing carbonized-metal for ULSI plasma etching process

Analyses of chemical reaction producing carbonized-metal for ULSI plasma etching process
ULSI等离子刻蚀工艺碳化金属化学反应分析
批准号：
20760023
负责人：
TAKAHASHI Kazuo
金额：
$2.75万
依托单位：
Kyoto Institute of Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
财政年份：
2008
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2008 至 2009
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-20760023/
关键词：
プラズマプロセスプラズマ加工エッチングナノデバイス

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This study was for plasma etching technology in fabrication of ULSI MOSFET gate with a few ten nm size and hafnium oxide as an insulating material. In CF_4/Ar plasmas with addition of CO or H_2 resulting in making the gas phase carbon-rich, the etch rates of Si and SiO_2 were decreased. On the other hand, that of HfO_2 was increased, which implied that HfO_2 could be etched in the reaction of carbonized-hafnium formed as an etch product.
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会议论文
マイクロアレイ用基板及びその製造方法
微阵列基板及其制造方法
DOI： --
发表时间： 2008
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
高誘電率(High-k)材料のエッチング反応
高介电常数（High-k）材料的蚀刻反应
DOI： --
发表时间： 2010
期刊： Material Stage 5巻
影响因子： --
作者： [高橋和生, 高橋麗]
通讯作者： 高橋麗
COおよびH2添加CF4プラズマにおけるHfO2のエッチング特性
HfO2 在添加 CO 和 H2 的 CF4 等离子体中的蚀刻特性
DOI： --
发表时间： 2010
期刊：
影响因子： --
作者： [美山遼, 高橋和生]
通讯作者： 高橋和生
COおよびH_2添加CF_4プラズマにおけるHfO_2のエッチング特性
HfO_2在CO和H_2添加CF_4等离子体中的刻蚀性能
DOI： --
发表时间： 2010
期刊：
影响因子： --
作者： [美山遼, 高橋和生]
通讯作者： 高橋和生
共 9 条
    Theoretical and Empirical Study on Management Organization in Tourism Destination
    • 批准号：
      15K01973
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $2.83万
    • 财政年份：
      2015
    • 负责人：
      TAKAHASHI Kazuo
    • 依托单位：
      Kindai University
    CONSTRUCTION OF COMPREHENSIVE REACTION MODEL FOR PREDICTING TETRAFLUOROETHYLENE EXPLOSION BY HIGH-PRESSURE SHOCK TUBE
    • 批准号：
      15K01231
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $2.83万
    • 财政年份：
      2015
    • 负责人：
      TAKAHASHI Kazuo
    • 依托单位：
      Sophia University
    Role of Mesangial Tissue Transglutaminase in the Pathogenesis of IgA Nephropathy
    • 批准号：
      26860652
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
    • 资助金额：
      $2.41万
    • 财政年份：
      2014
    • 负责人：
      TAKAHASHI Kazuo
    • 依托单位：
      Fujita Health University
    CONSTRUCTION OF COMPREHENSIVE REACTION MODEL FOR PREDICTION OF HYDROGEN EXPLOSION AND ESTABLISHMENT OF EXPERIMENTAL TECHNIQUE FOR HIGH-PRESSURE CHEMICAL KINETICS
    • 批准号：
      24510232
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $3.41万
    • 财政年份：
      2012
    • 负责人：
      TAKAHASHI Kazuo
    • 依托单位：
      Sophia University
    海外基金