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Commercially adaptable technology on shallow junction of silicon by ultra-low energy ion implantation

Commercially adaptable technology on shallow junction of silicon by ultra-low energy ion implantation
通过超低能量离子注入实现硅浅结的商业化技术
批准号：
21560381
负责人：
YAMAMOTO Kazuhiro
金额：
$2.5万
依托单位：
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2009
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2009 至 2011
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-21560381/
关键词：
イオン注入シリコンボロン超低エネルギー極浅接合超低エネルギーイオン

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The ultra-low energy mass-separated boron ion implantation technique under the ion energy of 500 eV of silicon in the vacuum of 10^<-5> Pa, which is commercially adaptable, was developed in order to form the shallow doping layer. The implantation depth less than 15 nm was achieved by the ion with the energy less than 300 eV.
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会议论文
X-TEM of shallow doping layer of Si by ultra-low energy boron ion implantation
超低能硼离子注入硅浅掺杂层的 X-TEM
DOI： --
发表时间： 2011
期刊： Abstracts of the Microscopy Conference
影响因子： --
作者： [岸本慎平、伊藤國雄, 他, K. Yamamoto]
通讯作者： K. Yamamoto
超低エネルギーボロンイオン注入層のTEM観察
超低能硼离子注入层的TEM观察
DOI： --
发表时间： 2011
期刊：
影响因子： --
作者： [立花和也、伊藤國雄、財部健一, 他, 山本和弘]
通讯作者： 山本和弘
低エネルギーイオン注入によるボロン極浅接合層のTEM観察
低能离子注入超浅硼结层的TEM观察
DOI： --
发表时间： 2011
期刊：
影响因子： --
作者： [山本和弘]
通讯作者： 山本和弘
Practical use of the muon profile monitor using diamond for the high-intensity neutrino experiment
  • 批准号：
    24540307
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
  • 资助金额：
    $3.24万
  • 财政年份：
    2012
  • 负责人：
    YAMAMOTO Kazuhiro
  • 依托单位：
    Osaka City University
A Study of turbulent flame structure and extinction mechanism by laser diagnostics
  • 批准号：
    23560223
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
  • 资助金额：
    $3.33万
  • 财政年份：
    2011
  • 负责人：
    YAMAMOTO Kazuhiro
  • 依托单位：
    Nagoya University
Testing gravity theory on the cosmological scales using the next generation dark energy surveys
  • 批准号：
    21540270
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
  • 资助金额：
    $2.83万
  • 财政年份：
    2009
  • 负责人：
    YAMAMOTO Kazuhiro
  • 依托单位：
    Hiroshima University
Simulation on Gas-Solid Heat Transfer in Diesel Combustion
  • 批准号：
    20560188
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
  • 资助金额：
    $3.0万
  • 财政年份：
    2008
  • 负责人：
    YAMAMOTO Kazuhiro
  • 依托单位：
    Nagoya University
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