Ionenstrahlgestütztes Direktbonden herterogener Materialien

异质材料的离子束辅助直接键合

• 批准号: 5394128
• 负责人: Dr. Volker Gottschalch
• 金额: --
• 依托单位: Institut für Anorganische Chemie
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Units
• 财政年份: 2002
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2001-12-31 至 2006-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5394128?language=en
• 关键词: Ionenstrahlgest; tztes; Direktbonden; herterogener; Materialien

Das Wafer-Direkt-Bonden ist ein modernes Hochtechnologieverfahren zur Herstellung von Strukturverbunden. Die Arbeiten im Teilprojekt 8 zielen sowohl auf grundlagen- als auch applikationsorientierte Aspekte: Untersuchungen zur Beeinflussung der Ionenstrahl-Oberflächenmodifizierung auf den Bondvorgang, die Bondfähigkeit bzw. -stärke unterschiedlicher Substratmaterialen sowie Studien zum Einfluss der Oberflächenwelligkeit und -mikrorauhigkeit auf die Bondfähigkeit sind dem Grundlagenverständnis gewidmet. Des weiteren zielen die Arbeiten auf die Untersuchung auftretender Bindungsstrukturen sowie auf die Nutzung gezielter Oberflächenstrukturierungen zur Verbesserung der Materialverbunde und den Einfluss von prozessbedingten bzw. von gezielten Adsorbat- oder Monolagen-Schichtbedeckungen. Nach erfolgreichen Bondversuchen an unstrukturierten Materialien (AIII-BV-Verbindungshalbleiter und Silizium) richten sich die Fortsetzungsarbeiten auf das Wafer-Direkt-Bonden von Halbleiterheterostrukturen für optoelektronische Spezialbauelemente, den applikativ orientierten Teil des Projektes. Die erfolgreiche Realisierung der Ziele des Projektes baut auf den gewachsenen Verbundarbeiten zwischen den Teilprojekten 1, 2.1, 2.2, und 7 der Forschergruppe auf und zielt auf die weitere interaktive Kopplung der Projekte.

这是一种现代化的技术手段，它是一种技术手段。这是一个很重要的问题，因为这是一个很重要的问题，因为这是一件很重要的事情。从材料和材料的角度来看，这是一项非常重要的工程。一种非结构的材料(AIII-BV-Verbindungshalbleiter and Silizium)是一种非结构的材料，它丰富了FortsetzungSarbeiten auf das Wafer-Direkt-Bonden von HalbleiterHeterostrukturen für Protoktronische Spezialbauelement e，den Applikativ Orientierten teil des Projektes。1，2.1，2.2，和7 der Forschergruppe auf and zielt auf die weitere Interakative Kopplung der Projekte。