Novel high magnification imaging objective for soft X-ray video microscopy with sub-100nm spatial resolution

用于软 X 射线视频显微镜的新型高放大倍率成像物镜，空间分辨率低于 100 纳米

• 批准号: 22760020
• 负责人: TOYODA Mitsunori
• 金额: $ 2.75万
• 依托单位: Tohoku University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
• 财政年份: 2010
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2010 至 2011
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-22760020/
• 关键词: 軟X線; 顕微鏡; 対物鏡; 非球面; 多層膜; 光学設計; 収差論; 多層膜ミラー; 反射光学系

A soft-X-ray microscope is expected as a novel tool to observe a high definition image of a living tissue with a spatial resolution better than 100 nm. In this study, we propose innovative solutions for high magnification soft X-ray microscopy, based on two-stage imaging optics for focal length reduction. Novel optics consisted of aspherical mirrors allow one to enhance a magnification of a laboratory based soft X-ray microscope over 1000x, where movies with diffraction limited resolution can be observed with an X-ray CCD. The design example having a numerical aperture of 0. 25 was successfully demonstrated both a high magnification and a large misalignment tolerance.

软X射线显微镜有望成为观察活体组织高清晰度图像的新工具，其空间分辨率优于100 nm。在这项研究中，我们提出了创新的解决方案，高放大倍率软X射线显微镜，基于两级成像光学焦距减少。由非球面镜组成的新型光学器件可以将实验室软X射线显微镜的放大倍数提高到1000倍以上，其中可以使用X射线CCD观察具有衍射极限分辨率的电影。该设计示例具有0. 25成功地证明了高放大率和大的未对准公差。

项目成果

軟X線用高倍率対物鏡の結像特性

软X射线高倍物镜成像特性

• 发表时间: 2010
• 作者: 豊田光紀;倉光康太;柳原美広
• 通讯作者: 柳原美広

フレネル数の小さい軟X線用顕微光学系の結像特性

小菲涅耳数软X射线显微光学系统成像特性

• 发表时间: 2010
• 作者: 豊田光紀;倉光康太;柳原美廣
• 通讯作者: 柳原美廣

Closed-Form Representations for Third-Order Aberrations of Two-Aspherical Mirror Aplanats with the Mirror Tilt and Decenter

具有镜倾斜和偏心的两个非球面镜消球差的三阶像差的闭式表示

• 发表时间: 2011
• 期刊: Opt. Rev
• 作者: Shigeaki Sbe;Kosuke Ishikawa;Atsushi Hyono;Hirohisa Kobayashi;Takayuki Kiba;Tsukawa Akasaka;Motohiro Uo;Yasutaka Yawaka;Shin-Ichiro Sato;Tetsu Yonezawa;Fumio Watari;K.Shibuya;M. Toyoda
• 通讯作者: M. Toyoda

Development of wide field of view EUV microscope using normal-incident multilayer optics with LPP light source

使用带有 LPP 光源的法向入射多层光学器件开发宽视场 EUV 显微镜

• 发表时间: 2010
• 作者: Ishida F;Ejima T;Toyoda M;Tsuru T;Hatano T;Yanagihara M;Mizutani H
• 通讯作者: Mizutani H

Super Hierarchical Microscope in EUV Region

EUV 区域的超分级显微镜

• 发表时间: 2010
• 作者: T.Ejima;M.Toyoda;T.Tsuru;T.Hatano;M.Yanagihara
• 通讯作者: M.Yanagihara