Lab-scale EUV microscope for wide-field and multi-scale observation

用于宽视野和多尺度观察的实验室规模 EUV 显微镜

基本信息

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30nm分解能を実現する実験室EUV顕微鏡の開発
开发出分辨率达到 30nm 的实验室 EUV 显微镜
  • DOI：
  • 发表时间：
    2017
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    相澤駿介;角館俊行;権代詩織;豊田光紀;豊田光紀;Mitsunori Kurahashi;豊田光紀
  • 通讯作者：
    豊田光紀
軸外物体を考慮したＥＵＶ多層膜ミラーの光学設計
考虑离轴物体的EUV多层镜光学设计
  • DOI：
  • 发表时间：
    2020
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    脇俊太郎;陳軍;豊田光紀;相澤駿介,豊田光紀
  • 通讯作者：
    相澤駿介,豊田光紀
Global optimization of two-multilayer mirror objective for focusing soft X-ray high harmonics
用于聚焦软X射线高次谐波的两层多层镜物镜的全局优化
  • DOI：
    10.1117/12.2520543
  • 发表时间：
    2019
  • 期刊：
    Proc. SPIE
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    Toyoda Mitsunori;Yamashita Shota;Chen Jun
  • 通讯作者：
    Chen Jun
Multilayer Mirrors for Focusing Objective in 40-nm Wavelength Region
用于 40 nm 波长区域聚焦物镜的多层反射镜
Observation of Polymer Blend Films on Transmission EUV Microscopy
通过透射 EUV 显微镜观察聚合物共混物薄膜
  • DOI：
  • 发表时间：
    2018
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    Syunsuke Aizawa;Toshiyuki kakudate;Shiori Gondai;Mitunori Toyoda
  • 通讯作者：
    Mitunori Toyoda
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Imaging Properties of High Magnification Soft X-ray Objective with Reduced Fresnel Number
菲涅耳数降低的高倍软X射线物镜的成像特性
  • 批准号：
    25390088
  • 财政年份：
    2013
  • 资助金额：
    $ 10.57万
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
Novel high magnification imaging objective for soft X-ray video microscopy with sub-100nm spatial resolution
用于软 X 射线视频显微镜的新型高放大倍率成像物镜，空间分辨率低于 100 纳米
  • 批准号：
    22760020
  • 财政年份：
    2010
  • 资助金额：
    $ 10.57万
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
Development of a practical two-mirror objective with sub-100 nm spatial resolution for soft-X-ray microscopy
开发用于软 X 射线显微镜的空间分辨率低于 100 nm 的实用双镜物镜
  • 批准号：
    20760018
  • 财政年份：
    2008
  • 资助金额：
    $ 10.57万
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
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