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Lab-scale EUV microscope for wide-field and multi-scale observation

Lab-scale EUV microscope for wide-field and multi-scale observation
用于宽视野和多尺度观察的实验室规模 EUV 显微镜
批准号：
16H03877
负责人：
TOYODA Mitsunori
金额：
$10.57万
依托单位：
Tokyo Polytechnic University (2017-2019)Tohoku University (2016)
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
财政年份：
2016
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2016-04-01 至 2019-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-16H03877/
关键词：
EUVmulti layer mirror多層膜ミラー高分子ポリマーブレンドEUV顕微鏡応用光学・量子光工学対物鏡高倍率CCD検出器極紫外線階層構造

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軸外物体を考慮したＥＵＶ多層膜ミラーの光学設計
考虑离轴物体的EUV多层镜光学设计
DOI： --
发表时间： 2020
期刊：
影响因子： --
作者： [脇俊太郎, 陳軍, 豊田光紀, 相澤駿介,豊田光紀]
通讯作者： 相澤駿介,豊田光紀
30nm分解能を実現する実験室EUV顕微鏡の開発
开发出分辨率达到 30nm 的实验室 EUV 显微镜
DOI： --
发表时间： 2017
期刊：
影响因子： --
作者： [相澤駿介, 角館俊行, 権代詩織, 豊田光紀, 豊田光紀, Mitsunori Kurahashi, 豊田光紀]
通讯作者： 豊田光紀
Global optimization of two-multilayer mirror objective for focusing soft X-ray high harmonics
用于聚焦软X射线高次谐波的两层多层镜物镜的全局优化
DOI： 10.1117/12.2520543
发表时间： 2019
期刊： Proc. SPIE
影响因子： --
作者： [Toyoda Mitsunori, Yamashita Shota, Chen Jun]
通讯作者： Chen Jun
Multilayer Mirrors for Focusing Objective in 40-nm Wavelength Region
用于 40 nm 波长区域聚焦物镜的多层反射镜
DOI： --
发表时间： 2017
期刊： Proceedings of the 15th International Conference on X-Ray Lasers
影响因子： --
作者： [M. Toyoda, Y. Tamaru, S. Mori, K. Sawada, Y. Fu, E. J. Takahashi, A. Suda, F. Kannari, K. Midorikawa, and M. Yanagihara]
通讯作者： and M. Yanagihara
共 15 条
    Imaging Properties of High Magnification Soft X-ray Objective with Reduced Fresnel Number
    • 批准号：
      25390088
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $3.24万
    • 财政年份：
      2013
    • 负责人：
      TOYODA Mitsunori
    • 依托单位：
      Tohoku University
    Novel high magnification imaging objective for soft X-ray video microscopy with sub-100nm spatial resolution
    • 批准号：
      22760020
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
    • 资助金额：
      $2.75万
    • 财政年份：
      2010
    • 负责人：
      TOYODA Mitsunori
    • 依托单位：
      Tohoku University
    Development of a practical two-mirror objective with sub-100 nm spatial resolution for soft-X-ray microscopy
    • 批准号：
      20760018
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
    • 资助金额：
      $2.83万
    • 财政年份：
      2008
    • 负责人：
      TOYODA Mitsunori
    • 依托单位：
      Tohoku University