Development of a practical two-mirror objective with sub-100 nm spatial resolution for soft-X-ray microscopy

开发用于软 X 射线显微镜的空间分辨率低于 100 nm 的实用双镜物镜

• 批准号: 20760018
• 负责人: TOYODA Mitsunori
• 金额: $ 2.83万
• 依托单位: Tohoku University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
• 财政年份: 2008
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2008 至 2009
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-20760018/
• 关键词: 軟X線; 顕微鏡; 対物鏡; 非球面; 多層膜; 光学設計; 収差論; 反射光学系; 反射結像系

A soft-X-ray microscope is expected as a novel tool to observe a high definition image of a living tissue with a spatial resolution better than 100 nm. In this study, we develop novel mirror optics for soft-X-ray microscopy. The optics consisted of two aspherical mirrors with a Mo/Si multilayer coating, which was optimized to have a maximum reflectivity at a wavelength of 13 nm. A wave aberration of the optics was corrected by adjusting the mirror misalignments, and we confirmed a minimum value of 10.6 nm rms.

软X射线显微镜有望成为观察活体组织高清晰度图像的新工具，其空间分辨率优于100 nm。在这项研究中，我们开发了新的反射镜光学软X射线显微镜。该光学系统由两个非球面反射镜与钼/硅多层涂层，这是优化，在13 nm的波长具有最大反射率。通过调整反射镜未对准校正了光学器件的波像差，并且我们确认了10.6 nm rms的最小值。

项目成果

EUV-FEL光と運動量イメージングを用いたクラスター解離ダイナミクスの研究:光強度依存性

使用 EUV-FEL 光和动量成像研究簇解离动力学：光强度依赖性

• 发表时间: 2009
• 作者: 永谷 清信;岩山洋士;八尾誠;福澤宏宣;X. -J. Liu;G. Pruemper;奥西みさき;嶋田浩三;上田潔;原田哲男;豊田光紀;柳原美広;山本正樹;本村浩治;齋藤則生;A. Rudenko;J. Ullrich;L. Foucar;A. Czasch;R. Doerner;永園充;東谷篤志;矢橋牧名;石川哲也;大橋治彦;木村洋昭
• 通讯作者: 木村洋昭

Multiple ionization of rare gas clusters using the EUV-FEL at SPring-8

在 SPring-8 上使用 EUV-FEL 对稀有气体团簇进行多重电离

• 发表时间: 2008
• 作者: G. Pruemper;H. Fukuzawa;X.J. Liu;M. Okunishi;K. Shimada;K. Ueda,T. Harada;M. Toyoda;M. Yanagihara;M. Yamamoto;N. Saito;K. Motomura;H. Iwayama;K. Nagaya;M. Yao;A. Rudenko;J. Ullrich;L. Foucar;A. Czasch;R. Doerner;M. Nagasono;A. Higashiy
• 通讯作者: A. Higashiy

Exact Period Thickness Control of Soft X-ray Multilayers on Curved Substrates

弯曲基底上软X射线多层膜的精确周期厚度控制

• 发表时间: 2008
• 作者: T. Harada;T. Jinno;M. Toyoda;T. Hatano;M. Yamamoto
• 通讯作者: M. Yamamoto

Frustration of direct photoionization of Ar clusters in intense extreme ultraviolet pulses from a free electron laser

• DOI: 10.1088/0953-4075/42/13/134019
• 发表时间: 2009-07-14
• 期刊: JOURNAL OF PHYSICS B-ATOMIC MOLECULAR AND OPTICAL PHYSICS
• 影响因子: 1.6
• 作者: Iwayama, H.;Nagaya, K.;Kimura, H.
• 通讯作者: Kimura, H.

LPP光源を用いた透過型X線反射多層膜顕微鏡TXM3

使用LPP光源的透射型X射线反射多层显微镜TXM3

• 发表时间: 2009
• 作者: 江島丈雄;中村芳雅;豊田光紀;原田哲男;津留俊英;羽多野忠;柳原美広;山本正樹
• 通讯作者: 山本正樹