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Imaging Properties of High Magnification Soft X-ray Objective with Reduced Fresnel Number

Imaging Properties of High Magnification Soft X-ray Objective with Reduced Fresnel Number
菲涅耳数降低的高倍软X射线物镜的成像特性
批准号：
25390088
负责人：
TOYODA Mitsunori
金额：
$3.24万
依托单位：
Tohoku University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2013
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2013-04-01 至 2016-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-25390088/
关键词：
極紫外軟X線顕微鏡フーリエ結像論多層膜ミラー結像論軟X線顕微鏡フレネル数

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多層膜ミラーによるEUV回折限界結像系の開発の現状と展開
多层反射镜EUV衍射极限成像系统的现状与发展
DOI： --
发表时间： 2014
期刊：
影响因子： --
作者： [T. Kaneko, Y. Hokari, S. Sasaki, M. Kanzaki, and T. Sato, 豊田光紀]
通讯作者： 豊田光紀
広視野を30nm解像するEUV顕微鏡の開発
开发出宽视场、30nm分辨率的EUV显微镜
DOI： --
发表时间： 2015
期刊：
影响因子： --
作者： [Y. Horio, Y. Takakuwa, S. Ogawa and K. Abe, 豊田光紀]
通讯作者： 豊田光紀
点回折干渉計による高倍率EUV顕微対物ミラーの１nm精度波面制御
使用点衍射干涉仪对高倍 EUV 显微镜物镜进行 1nm 精密波前控制
DOI： --
发表时间： 2015
期刊：
影响因子： --
作者： [堀尾吉已, 高桑雄二, 小川修一, Kyu Yoshimori and Masaki Obara, 津留俊英, 豊田光紀,砂山諒,柳原美広]
通讯作者： 豊田光紀,砂山諒,柳原美広
Design, fabrication, and test of an EUV mask imaging microscope for lithography generations with sub-16 nm half pitch
用于 16 nm 以下半节距光刻一代的 EUV 掩模成像显微镜的设计、制造和测试
DOI： --
发表时间： 2013
期刊：
影响因子： --
作者： [M. Toyoda, K. Yamasoe, M. Yanagihara, T. Amano, T. Terasawa, A. Tokimasa, T. Harada, T. Watanabe, H. Kinoshita]
通讯作者： H. Kinoshita
共 13 条
    Lab-scale EUV microscope for wide-field and multi-scale observation
    Novel high magnification imaging objective for soft X-ray video microscopy with sub-100nm spatial resolution
    • 批准号：
      22760020
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
    • 资助金额：
      $2.75万
    • 财政年份：
      2010
    • 负责人：
      TOYODA Mitsunori
    • 依托单位：
      Tohoku University
    Development of a practical two-mirror objective with sub-100 nm spatial resolution for soft-X-ray microscopy
    • 批准号：
      20760018
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
    • 资助金额：
      $2.83万
    • 财政年份：
      2008
    • 负责人：
      TOYODA Mitsunori
    • 依托单位：
      Tohoku University
    海外基金