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Stabilized Temperature Characteristics, High-Speed Response, and Low-Voltage Driving of Micromirror

Stabilized Temperature Characteristics, High-Speed Response, and Low-Voltage Driving of Micromirror
微镜温度特性稳定、高速响应、低电压驱动
批准号：
19016003
负责人：
SASAKI Minoru
金额：
$5.44万
依托单位：
Toyota Technological Institute
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
财政年份：
2007
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2007 至 2008
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-19016003/
关键词：
マイクロマシンマイクロ・ナノデバイスMEMSアクチュエータマイクロミラー静電駆動温度補償低電圧駆動

项目摘要

项目成果

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中文摘要
翻译
薄膜トーションバーにより、静電駆動型マイクロミラーの低電圧駆動を実現していたが、温度特性安定化と高速化が課題であった。これらに対し、以下の成果を得た。(1)SiNに代わり、引張応力の大きい多結晶Siを得た。(2)太鼓の革のような薄膜ミラーを作製し、平坦さと温度安定性を確認した。(3)多結晶Siトーションバーを持つマイクロミラーが製作できた。(4)低電圧駆動特性が温度に対し安定した。(5)微弱な磁場を用いた無線駆動の展開を示した。
英文摘要
薄膜トーションバーにより、静電駆動型マイクロミラーの低電圧駆動を実現していたが、温度特性安定化と高速化が課題であった。これらに対し、以下の成果を得た。(1)SiNに代わり、引張応力の大きい多結晶Siを得た。(2)太鼓の革のような薄膜ミラーを作製し、平坦さと温度安定性を確認した。(3)多結晶Siトーションバーを持つマイクロミラーが製作できた。(4)低電圧駆動特性が温度に対し安定した。(5)微弱な磁場を用いた無線駆動の展開を示した。
期刊论文(48)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
Micromirror realized by combined surface and bulk micromachining using isotropic and anisotropic Si etching
使用各向同性和各向异性硅蚀刻结合表面和体微加工实现微镜
DOI： --
发表时间： 2009
期刊：
影响因子： --
作者： [MINORU SASAKI, SHINYA KUMAGAI, KAZUHIRO HANE]
通讯作者： KAZUHIRO HANE
Stabilization of Temperature Characteristics of Micromirror for Low-Voltage Driving Using Thin Film Torsion Bar of Tensile Poly-Si
利用拉伸多晶硅薄膜扭杆稳定低压驱动微镜的温度特性
DOI： --
发表时间： 2008
期刊：
影响因子： --
作者： [Minoru Sasaki, Masayuki Fujishima, Kazuhiro Hane, Hideo Miura]
通讯作者： Hideo Miura
"DRIVING OF MICROMIRROR AND SIMULTANEOUS DETECTION OF ROTATION ANGLE USING INTEGRATED PIEZORESISTIVE SENSOR", Digest of Technical Papers of Transducers' 07
“使用集成压阻传感器驱动微镜并同时检测旋转角度”，传感器技术论文摘要第07期
DOI： --
发表时间： 2007
期刊：
影响因子： --
作者： [Minoru Sasaki, Motoki Tabata, Kazuhiro Hane]
通讯作者： Kazuhiro Hane
An Optically flat micromirror using stretched membrane with crystallization-induced stress
使用具有结晶诱导应力的拉伸膜的光学平面微镜
DOI： --
发表时间： 2008
期刊： Journal of Optics A : Pure and Applied Optics Vol.10
影响因子： --
作者： [Minoru Sasaki, Takashi Sasaki, Kazuhiro Hane, Hideo Miura]
通讯作者： Hideo Miura
共 30 条
    Research on method of extracting collocation for each word sense and its application for word sense disambiguation
    • 批准号：
      24700131
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
    • 资助金额：
      $1.33万
    • 财政年份：
      2012
    • 负责人：
      SASAKI Minoru
    • 依托单位：
      Ibaraki University
    Development of Wearable Respiratory Sensor and Practical Application
    • 批准号：
      24650397
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
    • 资助金额：
      $2.41万
    • 财政年份：
      2012
    • 负责人：
      SASAKI Minoru
    • 依托单位：
      Toyota Technological Institute
    The identification of cell surface antigen of oral streptococcus for development of vaccine for oral cancer
    • 批准号：
      22592046
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $3.24万
    • 财政年份：
      2010
    • 负责人：
      SASAKI Minoru
    • 依托单位：
      Iwate Medical University
    Highly sensitive infra-red sensor using non-linear vibration
    • 批准号：
      21656105
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
    • 资助金额：
      $1.72万
    • 财政年份：
      2009
    • 负责人：
      SASAKI Minoru
    • 依托单位：
      Toyota Technological Institute
    海外基金