Stabilized Temperature Characteristics, High-Speed Response, and Low-Voltage Driving of Micromirror

微镜温度特性稳定、高速响应、低电压驱动

• 批准号: 19016003
• 负责人: SASAKI Minoru
• 金额: $ 5.44万
• 依托单位: Toyota Technological Institute
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
• 财政年份: 2007
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2007 至 2008
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-19016003/
• 关键词: マイクロマシン; マイクロ・ナノデバイス; MEMSアクチュエータ; マイクロミラー; 静電駆動; 温度補償; 低電圧駆動

薄膜トーションバーにより、静電駆動型マイクロミラーの低電圧駆動を実現していたが、温度特性安定化と高速化が課題であった。これらに対し、以下の成果を得た。(1)SiNに代わり、引張応力の大きい多結晶Siを得た。(2)太鼓の革のような薄膜ミラーを作製し、平坦さと温度安定性を確認した。(3)多結晶Siトーションバーを持つマイクロミラーが製作できた。(4)低電圧駆動特性が温度に対し安定した。(5)微弱な磁場を用いた無線駆動の展開を示した。

The problem of realizing low voltage operation, temperature characteristic stabilization and high speed of thin film is discussed. The following results were obtained. (1)SiN generation, tensile strength and large number of polycrystalline Si. (2)The temperature stability of the film was confirmed. (3)Polycrystalline silicon is produced in a variety of ways. (4)Low voltage dynamic characteristics are temperature sensitive and stable (5)Weak magnetic fields can be used to detect wireless motion.

项目成果

Micromirror realized by combined surface and bulk micromachining using isotropic and anisotropic Si etching

使用各向同性和各向异性硅蚀刻结合表面和体微加工实现微镜

• 发表时间: 2009
• 作者: MINORU SASAKI;SHINYA KUMAGAI;KAZUHIRO HANE
• 通讯作者: KAZUHIRO HANE

Stabilization of Temperature Characteristics of Micromirror for Low-Voltage Driving Using Thin Film Torsion Bar of Tensile Poly-Si

利用拉伸多晶硅薄膜扭杆稳定低压驱动微镜的温度特性

• 发表时间: 2008
• 作者: Minoru Sasaki;Masayuki Fujishima;Kazuhiro Hane;Hideo Miura
• 通讯作者: Hideo Miura

"DRIVING OF MICROMIRROR AND SIMULTANEOUS DETECTION OF ROTATION ANGLE USING INTEGRATED PIEZORESISTIVE SENSOR", Digest of Technical Papers of Transducers' 07

“使用集成压阻传感器驱动微镜并同时检测旋转角度”，传感器技术论文摘要第07期

• 发表时间: 2007
• 作者: Minoru Sasaki;Motoki Tabata;Kazuhiro Hane
• 通讯作者: Kazuhiro Hane

An Optically flat micromirror using stretched membrane with crystallization-induced stress

使用具有结晶诱导应力的拉伸膜的光学平面微镜

• 发表时间: 2008
• 期刊: Journal of Optics A : Pure and Applied Optics Vol.10
• 作者: Minoru Sasaki;Takashi Sasaki;Kazuhiro Hane;Hideo Miura
• 通讯作者: Hideo Miura

Conditions of Micromirror Lifted by Buckled Bridges Using Film Stress

利用薄膜应力通过屈曲桥提升微镜的条件

• 发表时间: 2008
• 作者: M. Sasaki;K. Hane;D. Briand;W. Noell;N. de Rooij
• 通讯作者: N. de Rooij