Metallic glass flux-vapor growth of SiC single crystal films

金属玻璃熔剂-SiC单晶薄膜的气相生长

• 批准号: 23656028
• 负责人: MATSUMOTO Yuji
• 金额: $ 2.41万
• 依托单位: Tokyo Institute of Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
• 财政年份: 2011
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2011 至 2012
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-23656028/
• 关键词: 薄膜; 金属ガラスSiC; SiC; フラックス成長; 金属ガラス; エピタキシー

In this project, first of all we developed a new laser microscope operated in vacuum, where a laser-heating system was first employed to attain extremely high temperatures up to 1600oC. This new laser microscope, combined with in situ SEM analyses, allowed us to investigate the thermal behavior of metallic glass on a SiC single crystal. Furthermore, in order to verify the potentiality of flux-vapor growth of SiC films, we demonstrated a successful improvement of the film quality in grain size and surface flatness of SiC by using Si-Ni flux. This is a promising result that encourages us to go further in the development of this growth technique for high-quality SiC single crystal films.

在这个项目中，我们首先开发了一种在真空中工作的新型激光显微镜，其中首次使用了激光加热系统来获得高达1600摄氏度的极高温度。这种新的激光显微镜，结合原位扫描电子显微镜分析，使我们能够研究金属玻璃在碳化硅单晶上的热行为。此外，为了验证熔剂气相生长碳化硅薄膜的潜力，我们成功地证明了使用硅镍熔剂可以改善碳化硅薄膜的晶粒度和表面平整度。这是一个很有希望的结果，鼓励我们进一步发展这种高质量的碳化硅单晶薄膜的生长技术。

项目成果

High-throughput Screening of Metal Flux for SiC Solution Growth Using a High-Temperature Laser Microscope Observation and SIMS Depth Profiling

使用高温激光显微镜观察和 SIMS 深度分析对用于 SiC 溶液生长的金属熔剂进行高通量筛选

• 发表时间: 2012
• 作者: 小沼碧海;丸山伸伍;松本祐司;Shingo Maruyama
• 通讯作者: Shingo Maruyama

PLD法によるSi-Ni系フラックス薄膜を介した SiCホモエピタキシャル成長

使用 PLD 方法通过 Si-Ni 助熔剂薄膜进行 SiC 同质外延生长

• 作者: S. Maruyama;Y. Matsumoto;小沼碧海
• 通讯作者: 小沼碧海

高温真空レーザ顕微鏡によるSiC 溶液成長に向けたSi-Cr 系フラックス薄膜の熱挙動観察

使用高温真空激光显微镜观察 SiC 溶液生长的 Si-Cr 熔剂薄膜的热行为

• 发表时间: 2012
• 作者: 小沼碧海;丸山伸伍;松本祐司
• 通讯作者: 松本祐司

High-throughput Screening of Metal Flux for SiC Solution Growth Using a High-Temperature Laser Microscope Observation and SIMS Depth Profiling

使用高温激光显微镜观察和 SIMS 深度分析对用于 SiC 溶液生长的金属熔剂进行高通量筛选

• 发表时间: 2012
• 作者: 小沼碧海;丸山伸伍;松本祐司;Shingo Maruyama;小沼碧海;丸山伸伍
• 通讯作者: 丸山伸伍

高温真空レーザ顕微鏡によるSiC溶液成長に向けたSi-Ni系フラックス薄膜の熱挙動観察

使用高温真空激光显微镜观察 SiC 溶液生长的 Si-Ni 熔剂薄膜的热行为

• 发表时间: 2011
• 作者: 丸山伸伍;松本祐司
• 通讯作者: 松本祐司