Development of High-Quality and High-Throughput Micro-HoleProcessing Using Hollow Microneedle Array

利用空心微针阵列开发高质量和高通量的微孔加工

• 批准号: 23656103
• 负责人: SHIBATA Takayuki
• 金额: $ 2.5万
• 依托单位: Toyohashi University of Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
• 财政年份: 2011
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2011 至 2012
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-23656103/
• 关键词: ナノ・マイクロ加工; マイクロ穴加工; 熱インプリント; マイクロニードルアレイ; MEMS

）：A novel thermal imprinting technique has been developed to enable　the high-throughput fabrication of through holes with a minimum feature of a few tens of　micrometers in a wide variety of polymers with high quality and precision by using an　array of out-of-plane, hollow microneedles as an imprint tool. This technique can also be　applicable to the formation of through holes with almost any non-circular cross-sections　(triangle, square, star-shaped holes, etc.) as well as circular ones.

)：开发了一种新的热压印技术，通过使用平面外的中空微针阵列作为压印工具，能够在各种聚合物中以高质量和高精度高通量地制造具有最小特征几十微米的通孔。该技术也适用于形成几乎任何非圆形截面的通孔(三角形、正方形、星形孔等)。也有圆形的。

项目成果

マイクロニードルアレイを用いた高品位・高能率マイクロ穴加工技術の開発(第3 報)-樹脂フィルムへの貫通穴加工過程の評価-

利用微针阵列开发高质量、高效率的微孔加工技术（第3次报告） - 树脂薄膜通孔加工工艺的评价 -

• 发表时间: 2011
• 作者: T. Shibata;S. Yukizono;T. Kawashima;M. Nagai;T. Kubota;M. Mita;三苫祐輝,永井萌土,川島貴弘,柴田隆行,久保田俊夫,御田 護,西川忠寛;三苫祐輝，永井萌土，川島貴弘，柴田隆行，久保田俊夫，御田 護，西川忠寛;柴田隆行(招待講演);柴田隆行;吉田隼兵,永井萌土,川島貴弘,柴田隆行,久保田俊夫,御田 護
• 通讯作者: 吉田隼兵,永井萌土,川島貴弘,柴田隆行,久保田俊夫,御田 護

マスクレス微細加工技術と細胞機能解析用MEMSプラットフォーム

用于细胞功能分析的无掩模微加工技术和MEMS平台

• 发表时间: 2012
• 作者: T. Shibata;S. Yukizono;T. Kawashima;M. Nagai;T. Kubota;M. Mita;三苫祐輝,永井萌土,川島貴弘,柴田隆行,久保田俊夫,御田 護,西川忠寛;三苫祐輝，永井萌土，川島貴弘，柴田隆行，久保田俊夫，御田 護，西川忠寛;柴田隆行(招待講演);柴田隆行
• 通讯作者: 柴田隆行

マスクレス微細加工技術と細胞機能解析用MEMS プラットフォーム

用于细胞功能分析的无掩模微加工技术和MEMS平台

• 发表时间: 2012
• 作者: T. Shibata;S. Yukizono;T. Kawashima;M. Nagai;T. Kubota;M. Mita;三苫祐輝,永井萌土,川島貴弘,柴田隆行,久保田俊夫,御田 護,西川忠寛;三苫祐輝，永井萌土，川島貴弘，柴田隆行，久保田俊夫，御田 護，西川忠寛;柴田隆行(招待講演)
• 通讯作者: 柴田隆行(招待講演)

マイクロニードルアレイを用いた高品位・高能率マイクロ穴加工技術の開発(第4 報)-穴加工時の振動援用効果検討-

利用微针阵列开发高质量、高效率的微孔加工技术（第4次报告） - 孔加工时振动辅助效果的研究 -

• 发表时间: 2013
• 作者: T. Shibata;S. Yukizono;T. Kawashima;M. Nagai;T. Kubota;M. Mita;三苫祐輝,永井萌土,川島貴弘,柴田隆行,久保田俊夫,御田 護,西川忠寛
• 通讯作者: 三苫祐輝,永井萌土,川島貴弘,柴田隆行,久保田俊夫,御田 護,西川忠寛

マイクロニードルアレイを用いた高品位・高能率マイクロ穴加工技術の開発（第3報）－樹脂フィルムへの貫通穴加工過程の評価－

利用微针阵列开发高质量、高效率的微孔加工技术（第3次报告） - 树脂薄膜通孔加工工艺的评价 -

• 发表时间: 2013
• 作者: T. Shibata;S. Yukizono;T. Kawashima;M. Nagai;T. Kubota;M. Mita;三苫祐輝,永井萌土,川島貴弘,柴田隆行,久保田俊夫,御田 護,西川忠寛;三苫祐輝，永井萌土，川島貴弘，柴田隆行，久保田俊夫，御田 護，西川忠寛
• 通讯作者: 三苫祐輝，永井萌土，川島貴弘，柴田隆行，久保田俊夫，御田 護，西川忠寛