Micro multi-pole magnetization of NdFeB magnet and its application to MEMS devices

钕铁硼磁体的微多极磁化及其在MEMS器件中的应用

• 批准号: 23656117
• 负责人: SHINSHI Tadahiko
• 金额: $ 2.5万
• 依托单位: Tokyo Institute of Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
• 财政年份: 2011
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2011 至 2012
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-23656117/
• 关键词: ネオジム磁石; 薄膜; 微細着磁; リニアモータ; レーザ加熱; 着磁; 微細化; MEMS; 薄膜磁石; 減磁; 飽和; マイクロリニアモータ; ホールプローブ

Recently, a multilayered thin film Nd2Fe14B/Ta permanent magnet (TFPM), which not only has a high remnant flux density and a high coercive force similar to those of conventional sintered bulk neodymium magnets, but also has high heat tolerance, was developed. In this study, micro magnetization assisted by laser heating under an external DC magnetic field was proposed and tested. The laser beam conditions were determined using unsteady heat conduction analysis. Using a magnetic field analysis simulator, neodymium PM arrays are designed to apply the DC magnetic field to the TFPM. Magnetized strips of 0.1mm in width were patterned in the TFPM of 4.5micrometer in thickness Agreement between measured and simulated magnetic flux densities over the TFPM was obtained. Furthermore, a MEMS linear motor utilizing TFPM was also developed.

近来，开发了多层薄膜Nd 2Fe 14 B/Ta永磁体（TFPM），其不仅具有与常规烧结块体钕磁体类似的高剩余磁通密度和高矫顽力，而且具有高耐热性。在这项研究中，微磁化辅助激光加热下的外部直流磁场的建议和测试。采用非稳态热传导分析确定了激光束条件。使用磁场分析模拟器，钕PM阵列被设计成将直流磁场施加到TFPM。在厚度为4.5 μ m的薄膜永磁体上，对宽度为0.1mm的磁化带进行了图形化，得到了薄膜永磁体上磁通密度的测量值与模拟值的一致性。此外，还开发了利用TFPM的MEMS直线电机。

项目成果

Design and Analysis of a Thin Film Permanent Mgnet Actuated Micro Pump

薄膜永磁驱动微型泵的设计与分析

• 发表时间: 2013
• 期刊: International Journal of Automation Technology
• 影响因子: 1.1
• 作者: Chao Zhi;Tadahiko Shinshi;Minoru Uehara
• 通讯作者: Minoru Uehara

Nd-Fe-B/Ta 多層永久磁石薄膜の特徴と磁気デバイスへの応用

Nd-Fe-B/Ta多层永磁薄膜特性及其在磁性器件中的应用

• 发表时间: 2012
• 期刊: 日立金属技報, 日立金属
• 作者: 上原 稔;進士 忠彦
• 通讯作者: 進士 忠彦

薄膜ネオジム磁石の交番着磁とそれを用いた MEMS リニアモータの試作

薄膜钕磁体的交变磁化以及使用它的原型 MEMS 线性电机

• 发表时间: 2013
• 期刊: 精密工学会
• 作者: 藤原 良元;石橋 正登;進士 忠彦;上原 稔;堀 充孝;藤原 閲夫
• 通讯作者: 藤原 閲夫

薄膜ネオジム磁石のレーザアシスト微細着磁

薄膜钕磁体的激光辅助精细磁化

• 发表时间: 2013
• 作者: 藤原 良元;進士 忠彦;上原 稔
• 通讯作者: 上原 稔

薄膜ネオジム磁石を用いたマイクロリニアモータ

使用薄膜钕磁铁的微型直线电机

• 发表时间: 2012
• 作者: 藤原 良元;進士 忠彦;上原 稔;堀 充孝 藤原 閲夫
• 通讯作者: 堀 充孝 藤原 閲夫