Micro Multi-DOF Magnetic Actuators Using Micro Magnetization Technology

采用微磁化技术的微型多自由度磁致动器

• 批准号: 16H04254
• 负责人: SHINSHI Tadahiko
• 金额: $ 11.07万
• 依托单位: Tokyo Institute of Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• 财政年份: 2016
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2016-04-01 至 2019-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-16H04254/
• 关键词: 磁石; 微細加工; 微細着磁; パルスレーザ堆積法; 放電加工; レーザ局所加熱; マイクロアクチュエータ; 位置制御; MEMS; アクチュエータ; 着磁; 多自由度化; マイクロ・ナノデバイス

项目成果

A Two-DOF MEMS Actuator Utilizing a Multi-pole Magnetized Permanent Magnet

采用多极磁化永磁体的二自由度 MEMS 致动器

• 发表时间: 2017
• 作者: Noriei AZUMA;Shunya TANAKA;Ryogen FUJIWARA;Tadahiko SHINSHI;Kenichi Suzuki
• 通讯作者: Kenichi Suzuki

2 自由度シリコン案内で支持された多極磁石を用いた 低周波振動マイクロ発電デバイス

2自由度硅导支撑多极磁体低频振动微发电装置

• 发表时间: 2018
• 作者: 木根 諒;韓 冬;進士 忠彦;門田 祥悟
• 通讯作者: 門田 祥悟

酸化シリコン膜上にPDLで堆積された厚膜永久磁石のレーザ局所加熱による微細着磁

使用局部激光加热通过 PDL 沉积在氧化硅薄膜上的厚膜永磁体的精细磁化

• 发表时间: 2017
• 作者: 吾妻 範栄;田中 駿也;藤原 良元;進士 忠彦;清水 大;近藤 秀俊;山口 雄太;山下 昂洋;柳井 武志;福永 博俊;中野 正基
• 通讯作者: 中野 正基

レーザ蒸着法による硬磁性膜の作成

激光蒸镀法制备硬磁薄膜

• 发表时间: 2017
• 期刊: まぐね
• 作者: 中野 正基;山下 昂洋;柳井 武志;板倉 賢;藤原 良元;進士 忠彦;福永 博俊.
• 通讯作者: 福永 博俊.

微細ピッチ・多極着磁リング磁石を用いた高トルクマイクロフラットモータ

采用细间距、多极磁化环形磁铁的高扭矩微型扁平电机

• 发表时间: 2018
• 作者: 永井 慧大;韓 冬;進士 忠彦
• 通讯作者: 進士 忠彦