Si integrated micro scale ultrasonic transducer using PZT thin films for an endoscope

使用用于内窥镜的 PZT 薄膜的硅集成微型超声波换能器

• 批准号: 23760311
• 负责人: AKAI Daisuke
• 金额: $ 2.83万
• 依托单位: Toyohashi University of Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
• 财政年份: 2011
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2011 至 2012
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-23760311/
• 关键词: 超音波; トランスデューサ; PZT; A1203; 圧電; MEMS; 超音波振動子; 強誘電体薄膜; 圧電薄膜; ダイアフラム

A micro size ultrasonic probe integrated with Si substrates and ferroelectric PZT thin films have been developed for endoscope applications. Ultrasonic transducers and their array have been successfully fabricated with 100 μm in diameter or less.

研制了一种硅基PZT铁电薄膜集成超声内窥镜探头。已成功地制备出直径小于100 μm的超声换能器及其阵列。

项目成果

Vibration Analysis and Transmission Characteristics Of Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducers Using Epitaxial Pb(Zr, Ti)O3 Thin Films on γ-Al2O3/Si Substrate

γ-Al2O3/Si 基片上外延 Pb(Zr, Ti)O3 薄膜压电微机械超声换能器的振动分析和传输特性

• DOI: 10.1143/jjap.51.11pa04
• 发表时间: 2012
• 期刊: Jpn. J. Appl. Phys
• 作者: D. Akai;K. Ozaki;Y. Numata;K. Suzuki,N. Nagaya and M. Ishida
• 通讯作者: K. Suzuki,N. Nagaya and M. Ishida

PZT薄膜を用いた超音波トランスデューサでの二次元音圧マッピングと受信感度測定

使用 PZT 薄膜的超声换能器二维声压映射和接收灵敏度测量

• 发表时间: 2012
• 作者: 西村将人;鈴木啓佑;尾崎勝弥;赤井大輔;石田 誠;岡田長也
• 通讯作者: 岡田長也

High Density Piezoelectric Micro-machined Ultrasonic Transducers Array Using Epitaxial PZT Thin Film on γ-Al2O3/Si Substrate

γ-Al2O3/Si 衬底上使用外延 PZT 薄膜的高密度压电微机械超声换能器阵列

• 发表时间: 2012
• 作者: K. Ozaki;K. Suzuki;Y. Numata;N. Okada;D. Akai;M. Ishida
• 通讯作者: M. Ishida

Si基板上 PZT 薄膜を用いた超音波トランスデューサアレイの送信特性

Si衬底上PZT薄膜超声换能器阵列的传输特性

• 发表时间: 2012
• 作者: H. Okuno;T. Fehervari;M. Matsuoka;S. Kameda and T. Yagi;沼田泰幸,鈴木啓佑,尾崎勝弥,岡田長也,赤井大輔,石田 誠
• 通讯作者: 沼田泰幸,鈴木啓佑,尾崎勝弥,岡田長也,赤井大輔,石田 誠

エピタキシャル PZT/SrRuO3/Pt/γ-Al2O3/Si 基板上への 2D 超音波センサアレイの製作とイメージング

外延 PZT/SrRuO3/Pt/γ-Al2O3/Si 衬底上二维超声传感器阵列的制作与成像

• 发表时间: 2011
• 作者: 赤井大輔 ;與木隆弘 ;沼田泰幸 ;尾崎勝弥 ;岡田長也;樋口一樹 ;石田誠
• 通讯作者: 石田誠