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Si integrated micro scale ultrasonic transducer using PZT thin films for an endoscope

Si integrated micro scale ultrasonic transducer using PZT thin films for an endoscope
使用用于内窥镜的 PZT 薄膜的硅集成微型超声波换能器
批准号：
23760311
负责人：
AKAI Daisuke
金额：
$2.83万
依托单位：
Toyohashi University of Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
财政年份：
2011
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2011 至 2012
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-23760311/
关键词：
超音波トランスデューサPZTA1203圧電MEMS超音波振動子強誘電体薄膜圧電薄膜ダイアフラム

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A micro size ultrasonic probe integrated with Si substrates and ferroelectric PZT thin films have been developed for endoscope applications. Ultrasonic transducers and their array have been successfully fabricated with 100 μm in diameter or less.
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Vibration Analysis and Transmission Characteristics Of Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducers Using Epitaxial Pb(Zr, Ti)O3 Thin Films on γ-Al2O3/Si Substrate
γ-Al2O3/Si 基片上外延 Pb(Zr, Ti)O3 薄膜压电微机械超声换能器的振动分析和传输特性
DOI： 10.1143/jjap.51.11pa04
发表时间： 2012
期刊： Jpn. J. Appl. Phys
影响因子： --
作者： [D. Akai, K. Ozaki, Y. Numata, K. Suzuki,N. Nagaya and M. Ishida]
通讯作者： K. Suzuki,N. Nagaya and M. Ishida
PZT薄膜を用いた超音波トランスデューサでの二次元音圧マッピングと受信感度測定
使用 PZT 薄膜的超声换能器二维声压映射和接收灵敏度测量
DOI： --
发表时间： 2012
期刊：
影响因子： --
作者： [西村将人, 鈴木啓佑, 尾崎勝弥, 赤井大輔, 石田 誠, 岡田長也]
通讯作者： 岡田長也
High Density Piezoelectric Micro-machined Ultrasonic Transducers Array Using Epitaxial PZT Thin Film on γ-Al2O3/Si Substrate
γ-Al2O3/Si 衬底上使用外延 PZT 薄膜的高密度压电微机械超声换能器阵列
DOI： --
发表时间： 2012
期刊：
影响因子： --
作者： [K. Ozaki, K. Suzuki, Y. Numata, N. Okada, D. Akai, M. Ishida]
通讯作者： M. Ishida
Si基板上 PZT 薄膜を用いた超音波トランスデューサアレイの送信特性
Si衬底上PZT薄膜超声换能器阵列的传输特性
DOI： --
发表时间： 2012
期刊：
影响因子： --
作者： [H. Okuno, T. Fehervari, M. Matsuoka, S. Kameda and T. Yagi, 沼田泰幸,鈴木啓佑,尾崎勝弥,岡田長也,赤井大輔,石田 誠]
通讯作者： 沼田泰幸,鈴木啓佑,尾崎勝弥,岡田長也,赤井大輔,石田 誠
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