Optische Resonanzen in Mikro- und Nanozylindern mit Bragg-Reflektoren

Mikroskopische Resonatoren MIT Braggmänteln，D.H.等离子体增强化学气相沉积(PECVD)是一种新型的等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术。这是一种新材料，也是一种新材料，它是一种特殊的材料。一个Scheiben-，Pyramiden-and SäulenförMicen MikroResonatoren Soll das verhältius der Zahl der Axal Resonanten Optischen Moden Zur Zahl der Spontan Modierenen Modialen Moden Durch ein Lateralales Bragg-Reflektor-Konfinement gegenüber材料均质机Wandsteraltung erhöht en。在MikroResonator-Lichtemittern的自发辐射中，语言和语言的相互作用是不可忽视的。对这种材料进行了优化，并对氧化锌、三氧化二铝进行了研究。PECVD-Anlage für den einatz von金属组织Flüssigquellen，即三甲基铝和二乙基锌。在Verbindung MIT den erzielten optischen Daten ist Gegenok der Untersusugen gen中，Desitions De Ermittlung der Depostions参数。在一个项目中的Für arbeiten Sollen sowohl dielektrische Schichten für Unterlagen and Passivierungsschichten以及Anderen Projekten Sollen Sowohl Dielektrische Schichten and Passivierungsschichten以及Anderen Projekten Sollen Sowohl Dielektrische Schichten and Passivierungsschichten以及Optische Design Heregellt是。他说：“我的技术是最好的，最好的。”

Mikroskopische Resonatoren mit Braggmänteln, d.h. konzentrische Bragg-Reflektoren, sollen mittels plasma-unterstützter Gasphasenabscheidung (PECVD, plasma-enhanced chemical vapour deposition) hergestellt und bezüglich ihrer strukturellen und optischen Eigenschaften untersucht werden. Dabei konzentrieren sich die PECVD Aktivitäten, determiniert durch das Anwendungsgebiet, auf die Abscheidung amorpher Schichten bisher untersuchter sowie neuer Materialien und deren Einsatz in Übergittern. An scheiben-, pyramiden- und säulenförmigen Mikroresonatoren soll das Verhältnis der Zahl der axial resonanten optischen Moden zur Zahl der spontan emittierenden lateralen Moden durch ein laterales Bragg-Reflektor-Konfinement gegenüber materialhomogener Wandgestaltung erhöht werden. Anwendungen ergeben sich bei der verbesserten Steuerung des lateralen Lichteinschlusses und damit des Faktors der spontanen Emission in Mikroresonator-Lichtemittern. Der Spektralbereich der miniaturisierten Bragg-Reflektoren soll bis ins nahe UV durch Optimierung der bisher untersuchten Materialkombinationen und Erprobung weiterer Oxide (ZnO, Al2O3) ausgedehnt werden. Dazu erfolgt die Erweiterung der PECVD-Anlage für den Einsatz von metallorganischen Flüssigquellen, wie Trimethylaluminium und Diethylzink. Die Ermittlung der Depositionsparameter in Verbindung mit den erzielten optischen Daten ist Gegenstand der Untersuchungen. Für Arbeiten in anderen Projekten sollen sowohl dielektrische Schichten für Unterlagen und Passivierungsschichten als auch periodische Schichtsysteme für das optische Design hergestellt werden. Die Techniken der optischen mikroskopischen Reflexions-Spektroskopie und der mikroskopischen spektroskopischen Ellipsometrie sollen auf die Untersuchung der Braggmäntel und auf solche Strukturtypen ausgerichtet werden, die Gegenstand anderer Projekte der Forschergruppe sind, um sowohl einen Beitrag zur Darstellungsoptimierung innerhalb dieser Projekte als auch zur Modifizierung der mechanischen und optischen Eigenschaften dieser Strukturen zu leisten.